ಸರಂಧ್ರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್
ಪೋರಸ್ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದಾದ ರಂಧ್ರ ರಚನೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದ್ದು, ಅತಿ-ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಉತ್ಪಾದನೆ ಮತ್ತು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ (SiC/GaN) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಂತಹ ಮುಂದುವರಿದ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯು ನಿಖರವಾದ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣವನ್ನು (0.05–100μm) ಸಾಧಿಸಲು ಸುಧಾರಿತ ಸಿಂಟರಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಪುಡಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಶೋಧನೆ, ಪ್ರಸರಣ, ವೇಗವರ್ಧನೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ನಿರ್ವಹಣೆಗೆ ವೈವಿಧ್ಯಮಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ. ಇಳುವರಿ ದರಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲು ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳಿಗೆ ಇದು ಸೂಕ್ತ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
ನಮ್ಮ ಪ್ರಮುಖ ಅನುಕೂಲಗಳು
✅ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ:
ಲೋಹದ ಕಲ್ಮಶಗಳು <0.5ppm, SEMI ಮಾನದಂಡಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ವೇಫರ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತವೆ;
✅ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ (1600℃ ನಲ್ಲಿ ನಿರಂತರ ಬಳಕೆ):
CVD, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಗಳು ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕರಗಿಸುವಿಕೆಯಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ;
✅ ಬಲವಾದ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ:
ತ್ವರಿತ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ, ಉಪಕರಣಗಳ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ
✅ ರಾಸಾಯನಿಕ ಜಡತ್ವ (ಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು ಮತ್ತು ಕರಗಿದ ಲೋಹಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ):
HF ಮತ್ತು Cl₂ ನಂತಹ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳಿಗೆ ನಿರೋಧಕ, ಲೋಹದ ಫಿಲ್ಟರ್ಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಜೀವಿತಾವಧಿಯೊಂದಿಗೆ;
✅ ನಿಯಂತ್ರಿತ ರಂಧ್ರ ರಚನೆ (0.05-100um):
ಶ್ರೇಣೀಕೃತ ಶೋಧನೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ದ್ರವ ಹರಿವಿನ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ;
ವಿಶಿಷ್ಟ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್
1. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆ: CVD/ALD ಅನಿಲ ಶೋಧನೆ, ಪ್ರಸರಣ ಕುಲುಮೆಯ ಹರಿವಿನ ವಿತರಣಾ ಫಲಕಗಳು, ಎಚಿಂಗ್ ಎಕ್ಸಾಸ್ಟ್ ಗ್ಯಾಸ್ ಟ್ರೀಟ್ಮೆಂಟ್, ಇತ್ಯಾದಿ.
2. ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಉದ್ಯಮ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತು ಕರಗುವ ಶೋಧನೆ, PERC ಕೋಶ ಲೇಪನ ಮುಖವಾಡಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ.
3. ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕಗಳು (SiC/GaN): ವೇಫರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪೂರ್ವ-ಚಿಕಿತ್ಸೆ.
| SiC ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು | ||
| ಐಟಂ | ಘಟಕ | SiC ಪೋರಸ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ |
| ರಂಧ್ರದ ವ್ಯಾಸ | um | 10~30 |
| ಸಾಂದ್ರತೆ | ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ³ | 1.2 ~ 1.3 |
| ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ | um | 2.5~3 |
| ಗಾಳಿಯ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯ ಮೌಲ್ಯ | ಕೆಪಿಎ | -45 |
| ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | ಎಂಪಿಎ | 30 |
| ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಿರಾಂಕ | 1 ಮೆಗಾಹರ್ಟ್ಝ್ | 33 |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ | W/(m.K) | 60~70 |
VET ಎನರ್ಜಿ ಒಂದು ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕರಾಗಿದ್ದು, ಇದು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಶಿಲೆಯಂತಹ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಸುಧಾರಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಸಂಶೋಧನೆ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮೇಲೆ ಕೇಂದ್ರೀಕರಿಸುತ್ತದೆ, ಜೊತೆಗೆ SiC ಲೇಪನ, TaC ಲೇಪನ, ಗಾಜಿನ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ, ಪೈರೋಲಿಟಿಕ್ ಕಾರ್ಬನ್ ಲೇಪನ ಮುಂತಾದ ವಸ್ತು ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಸಹ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ, ಅರೆವಾಹಕ, ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ, ಲೋಹಶಾಸ್ತ್ರ ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ತಾಂತ್ರಿಕ ತಂಡವು ಉನ್ನತ ದೇಶೀಯ ಸಂಶೋಧನಾ ಸಂಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಬಂದಿದೆ, ನಿಮಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು ವೃತ್ತಿಪರ ವಸ್ತು ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಬಹುದು.
VET ಶಕ್ತಿಯ ಅನುಕೂಲಗಳು ಸೇರಿವೆ:
• ಸ್ವಂತ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ವೃತ್ತಿಪರ ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ;
• ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮುಖ ಶುದ್ಧತೆಯ ಮಟ್ಟಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟ;
• ಸ್ಪರ್ಧಾತ್ಮಕ ಬೆಲೆ & ವೇಗದ ವಿತರಣಾ ಸಮಯ;
• ವಿಶ್ವಾದ್ಯಂತ ಬಹು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳು;
ನಮ್ಮ ಕಾರ್ಖಾನೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯವನ್ನು ಯಾವುದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಭೇಟಿ ನೀಡಲು ನಾವು ನಿಮ್ಮನ್ನು ಸ್ವಾಗತಿಸುತ್ತೇವೆ!
