Gözenekli Silisyum Karbür SiC Seramik

Gözenekli Silisyum Karbür SiC Seramik
Gözenekli SiC SeramikKontrol edilebilir gözenek yapısına sahip, yüksek performanslı bir seramik malzemedir; ultra yüksek saflık, yüksek sıcaklık dayanımı, termal şok direnci ve kimyasal inertlik özelliklerine sahiptir. Yarı iletken üretimi, fotovoltaik silikon gofret üretimi ve üçüncü nesil yarı iletken (SiC/GaN) epitaksiyel işlemleri gibi gelişmiş alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.

VET Energy, yüksek saflıkta SiC tozunu gelişmiş sinterleme teknolojisiyle birleştirerek, filtrasyon, difüzyon, kataliz ve termal yönetim gibi çeşitli uygulama gereksinimlerini karşılayan hassas gözenek boyutu kontrolü (0,05–100 μm) elde eder. Yarı iletken ve fotovoltaik endüstrileri için verim oranlarını artırmak, kirlenmeyi azaltmak ve süreçleri optimize etmek için ideal bir seçimdir.

Başlıca Avantajlarımız
✅ Ultra yüksek saflık:
Metal safsızlıkları <0,5 ppm, SEMI standartlarına uygun, gofret kirlenmesini önler;
✅ Yüksek sıcaklık dayanımı (1600℃'de sürekli kullanım):
CVD, difüzyon fırınları ve silikon eritme gibi yüksek sıcaklık ortamları için uygundur;
✅ Yüksek termal şok direnci:
Hızlı sıcaklık değişimlerine uyum sağlayarak ekipman arıza süresini azaltır.
✅ Kimyasal inertlik (asitlere, alkalilere ve erimiş metallere karşı dirençli):
HF ve Cl₂ gibi aşındırıcı gazlara karşı dayanıklı olup, metal filtrelere kıyasla çok daha uzun bir kullanım ömrüne sahiptir;
✅ Kontrollü gözenek yapısı (0,05-100 µm):
Kademeli filtrasyonu destekleyerek sıvı akış verimliliğini artırır;

Tipik Uygulama
1. Yarı İletken Üretimi: CVD/ALD gaz filtrasyonu, difüzyon fırını akış dağıtım plakaları, aşındırma egzoz gazı arıtımı vb.
2. Fotovoltaik Endüstrisi: Silikon malzeme eritme filtrasyonu, PERC hücre kaplama maskeleri vb.
3. Üçüncü Nesil Yarı İletkenler (SiC/GaN): Yonga levhası epitaksiyel ön işlemi.