Kauri ya Silikoni ya SiC yenye Vinyweleo

Kauri ya Silikoni ya SiC yenye Vinyweleo
Kauri ya SiC yenye Vinyweleoni nyenzo ya kauri yenye utendaji wa hali ya juu yenye muundo wa vinyweleo vinavyoweza kudhibitiwa, ikiwa na usafi wa hali ya juu sana, upinzani wa halijoto ya juu, upinzani wa mshtuko wa joto, na uimara wa kemikali. Hutumika sana katika nyanja za hali ya juu kama vile utengenezaji wa nusu-semiconductor, uzalishaji wa wafer wa silikoni ya photovoltaic, na michakato ya epitaxial ya kizazi cha tatu (SiC/GaN).

VET Energy hutumia unga wa SiC safi sana pamoja na teknolojia ya hali ya juu ya uchakataji ili kufikia udhibiti sahihi wa ukubwa wa vinyweleo (0.05–100μm), ikikidhi mahitaji mbalimbali ya matumizi ya kuchuja, kusambaza, kuchochea, na usimamizi wa joto. Ni chaguo bora kwa tasnia za semiconductor na photovoltaic ili kuongeza viwango vya mavuno, kupunguza uchafuzi, na kuboresha michakato.

Faida Zetu Kuu
✅ Usafi wa hali ya juu sana:
uchafu wa chuma <0.5ppm, unaozingatia viwango vya SEMI, kuzuia uchafuzi wa wafer;
✅ Upinzani wa halijoto ya juu (matumizi endelevu katika 1600℃):
yanafaa kwa mazingira ya halijoto ya juu kama vile CVD, tanuru za uenezaji, na uchenjuaji wa silikoni;
✅ Upinzani mkubwa wa mshtuko wa joto:
hubadilika kulingana na mabadiliko ya haraka ya halijoto, na kupunguza muda wa kutofanya kazi kwa vifaa
✅ Uchakavu wa kemikali (ukinzani na asidi, alkali, na metali zilizoyeyuka):
sugu kwa gesi babuzi kama vile HF na Cl₂, zenye muda wa kuishi unaozidi ule wa vichujio vya chuma;
✅ Muundo wa vinyweleo vilivyodhibitiwa (0.05-100um):
inasaidia uchujaji uliopangwa, na kuboresha ufanisi wa mtiririko wa maji;

Matumizi ya Kawaida
1. Utengenezaji wa Semiconductor: Uchujaji wa gesi ya CVD/ALD, sahani za usambazaji wa mtiririko wa tanuru, matibabu ya gesi ya kutolea moshi ya kutolea nje, n.k.
2. Sekta ya Photovoltaic: Uchujaji wa kuyeyusha nyenzo za silikoni, barakoa za mipako ya seli za PERC, n.k.
3. Semiconductors za Kizazi cha Tatu (SiC/GaN): Matibabu ya awali ya epitaxial ya kaki.