Вафли өңдеуге арналған жоғары тазалықтағы кварц қайығы

Кварц вафли қайығыжартылай өткізгіш өндірісінде, фотоэлектрлік ұяшықтарды өндіруде және озық материалдарды зерттеу мен әзірлеуде негізгі тасымалдаушы құрал болып табылады, жоғары температуралы процестерде пластиналарды тұрақты тасымалдау және орналастыру үшін жасалған. Бұл өнім өте жоғары тазалықтағы балқытылған кремний диоксидінен (SiO2) жасалған, температураға төзімділігі, химиялық тұрақтылығы және металлдың ластануының өте төмен сипаттамалары бар, диффузиялық пешке, тотығу пешіне, PECVD/LPCVD және басқа жабдықтарға жарамды, пластиналарды жабуда, иондық имплантацияда, жоғары температурада күйдіруде және басқа да негізгі процестерде кеңінен қолданылады.

VET Energy компаниясының кварц қайығының негізгі артықшылықтары:

• Өте жоғары тазалықтағы материал
  Тазалығы ≥99.99%: Қоспа мөлшері (Na, K, Fe және т.б.) <5ppm, пластинаның ластануын болдырмайды және жоңқаның шығуын қамтамасыз етеді.
  Жауын-шашын және адсорбция төмен: бөлшектердің адгезиясын және газ қалдықтарын азайту үшін беті аса жылтыратылған (Ra≤0,4 мкм).
• Жоғары температуралық тұрақтылық
  Температура шегі: Ұзақ мерзімді жұмыс температурасы 1100℃, қысқа мерзімді шыңы 1300℃, деформация жоқ, кристалды тұнба жоқ.
  Төмен термиялық кеңею коэффициенті (5.5x10-7/℃), тамаша термиялық соққыға төзімділік, температураның тез көтерілуі мен төмендеуіне бейімделу (мысалы, RTP жылдам күйдіру).
• Дәл құрылымдық дизайн
  Ұяшық дәлдігі ± 0,1 мм: 2 дюймнен 12 дюймге дейінгі пластиналарды сәйкестендіру, аралық біркелкілік қателігі <0,05 мм, пластиналардың ығысуының болмауын қамтамасыз ету.
  Жоғары жүк көтергіштігі: бір қайыққа 50 пластинаның максималды жүктемесі (12 дюймдік пластиналарға шаққанда), бұл жұқа пластиналардың (≥100 мкм) тұрақты тасымалдануын қамтамасыз етеді.
• Химиялық инерттілік
  Коррозияға төзімділік: Қышқылға (HF қоспағанда), сілтіге және органикалық еріткіштерге төзімді, CMP тазалау процесімен үйлесімді.
  Газ өткізбейтіндігі өте жақсы: Ағып кету жылдамдығы <5x10-10 Па м3/с, вакуумдық және қорғаныш газ орталарына жарамды.
• Ұзақ қызмет ету мерзімі және күтімге жарамдылығы
  Қызмет ету мерзімі ≥ 5000 цикл (қалыпты жұмыс жағдайлары), бетін бірнеше рет тазалап, пайдалануға болады, бұл жалпы шығынды азайтады.
  Модульдік дизайн: ішінара ауыстыруды қолдайды (мысалы, бір қайық тісі), тоқтап қалу уақытын азайтады.

Біз тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес мөлдір және күңгірт беттерді ұсынамыз:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd компаниясы жоғары сапалы озық материалдарды, графит, кремний карбиді, керамика, SiC жабыны, TaC жабыны, шыны көміртекті жабыны, пиролитикалық көміртекті жабыны және т.б. сияқты беттік өңдеуді қоса алғанда, материалдар мен технологияларды өндіру мен сатуға бағытталған жоғары технологиялық кәсіпорын болып табылады, бұл өнімдер фотоэлектрлік, жартылай өткізгіштік, жаңа энергетика, металлургия және т.б. салаларда кеңінен қолданылады.

Біздің техникалық командамыз отандық жетекші ғылыми-зерттеу институттарынан шыққан және өнімнің өнімділігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін бірнеше патенттелген технологияларды әзірледі, сонымен қатар тұтынушыларға кәсіби материалдық шешімдер ұсына алады.