සිදුරු සහිත සිලිකන් කාබයිඩ් SiC සෙරමික්
සිදුරු සහිත SiC සෙරමික්පාලනය කළ හැකි සිදුරු ව්යුහයක් සහිත ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත සෙරමික් ද්රව්යයක් වන අතර එය අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, තාප කම්පන ප්රතිරෝධය සහ රසායනික නිෂ්ක්රීය බව දක්වයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය, ප්රකාශ වෝල්ටීයතා සිලිකන් වේෆර් නිෂ්පාදනය සහ තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක (SiC/GaN) එපිටැක්සියල් ක්රියාවලීන් වැනි දියුණු ක්ෂේත්රවල ඒවා බහුලව භාවිතා වේ.
VET Energy, පෙරීම, විසරණය, උත්ප්රේරණය සහ තාප කළමනාකරණය සඳහා විවිධ යෙදුම් අවශ්යතා සපුරාලමින්, නිරවද්ය සිදුරු ප්රමාණය පාලනය (0.05–100μm) ලබා ගැනීම සඳහා උසස් සින්ටර් කිරීමේ තාක්ෂණය සමඟ ඒකාබද්ධව ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් SiC කුඩු භාවිතා කරයි. අස්වැන්න අනුපාත වැඩි දියුණු කිරීම, දූෂණය අඩු කිරීම සහ ක්රියාවලීන් ප්රශස්ත කිරීම සඳහා අර්ධ සන්නායක සහ ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්ත සඳහා එය කදිම තේරීමකි.
අපගේ මූලික වාසි
✅ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය:
ලෝහ අපද්රව්ය <0.5ppm, SEMI ප්රමිතීන්ට අනුකූල වීම, වේෆර් දූෂණය වැළැක්වීම;
✅ ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය (1600℃ දී අඛණ්ඩ භාවිතය):
CVD, විසරණ ඌෂ්මක සහ සිලිකන් උණු කිරීම වැනි ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයන් සඳහා සුදුසු ය;
✅ ශක්තිමත් තාප කම්පන ප්රතිරෝධය:
වේගවත් උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට අනුවර්තනය වන අතර, උපකරණ අක්රිය කාලය අඩු කරයි.
✅ රසායනික නිෂ්ක්රීයතාව (අම්ල, ක්ෂාර සහ උණු කළ ලෝහ වලට ප්රතිරෝධී):
HF සහ Cl₂ වැනි විඛාදන වායුවලට ප්රතිරෝධී, ආයු කාලය ලෝහ පෙරහන් වලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි ය;
✅ පාලිත සිදුරු ව්යුහය (0.05-100um):
ශ්රේණිගත පෙරීමට සහාය වීම, තරල ප්රවාහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම;
සාමාන්ය යෙදුම
1. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය: CVD/ALD වායු පෙරීම, විසරණ උදුන ප්රවාහ බෙදා හැරීමේ තහඩු, පිටාර වායු පිරියම් කිරීම කැටයම් කිරීම යනාදිය.
2. ප්රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය: සිලිකන් ද්රව්ය දියවන පෙරීම, PERC සෛල ආලේපන ආවරණ ආදිය.
3. තුන්වන පරම්පරාවේ අර්ධ සන්නායක (SiC/GaN): වේෆර් එපිටැක්සියල් පූර්ව ප්රතිකාරය.
| SiC සිදුරු සහිත සෙරමික් වල ගුණාංග | ||
| අයිතමය | ඒකකය | SiC සිදුරු සහිත සෙරමික් |
| සිදුරු විෂ්කම්භය | um | 10~30 |
| ඝනත්වය | උ/සෙ.මී³ | 1.2 ~ 1.3 |
| මතුපිට රළුබව | um | 2.5~3 |
| වායු අවශෝෂණ අගය | කේපීඒ | -45 |
| නම්යශීලී ශක්තිය | එම්පීඒ | 30 |
| ද්වි විද ත් නියතය | 1MHz (මෙගාහර්ට්ස්) | 33 |
| තාප සන්නායකතාවය | ප/(m.K) | 60~70 |
VET Energy යනු ග්රැෆයිට්, සිලිකන් කාබයිඩ්, ක්වාර්ට්ස් වැනි උසස් ද්රව්ය පර්යේෂණ සහ සංවර්ධන කටයුතු මෙන්ම SiC ආලේපනය, TaC ආලේපනය, වීදුරු කාබන් ආලේපනය, පයිරොලිටික් කාබන් ආලේපනය වැනි ද්රව්ය ප්රතිකාර කෙරෙහි අවධානය යොමු කරන වෘත්තීය නිෂ්පාදකයෙකි. නිෂ්පාදන ප්රකාශ වෝල්ටීයතා, අර්ධ සන්නායක, නව ශක්තිය, ලෝහ විද්යාව ආදියෙහි බහුලව භාවිතා වේ.
අපගේ තාක්ෂණික කණ්ඩායම ඉහළම දේශීය පර්යේෂණ ආයතනවලින් පැමිණෙන අතර, ඔබට වඩාත් වෘත්තීය ද්රව්යමය විසඳුම් ලබා දිය හැකිය.
VET බලශක්ති වාසි අතර:
• තමන්ගේම කර්මාන්ත ශාලාවක් සහ වෘත්තීය රසායනාගාරයක්;
• කර්මාන්තයේ ප්රමුඛ පිරිසිදු මට්ටම් සහ ගුණාත්මකභාවය;
• තරඟකාරී මිල සහ වේගවත් බෙදාහැරීමේ කාලය;
• ලොව පුරා බහු කර්මාන්ත හවුල්කාරිත්වයන්;
ඕනෑම වේලාවක අපගේ කර්මාන්ත ශාලාව සහ රසායනාගාරය නැරඹීමට අපි ඔබව සාදරයෙන් පිළිගනිමු!
