Gözenekli kremniý karbidi SiC keramika

Gözenekli kremniý karbidi SiC keramika
Gözenekli SiC keramikaýokary hilli arassalyk, ýokary temperatura garşylyk, termal şok garşylygy we himiki inertlik bilen tapawutlanýan, dolandyrylyp bilýän gözenek gurluşy bolan ýokary öndürijilikli keramiki materialdyr. Olar ýarymgeçiriji önümçilik, fotowoltaik kremniý lavha önümçiligi we üçünji nesil ýarymgeçiriji (SiC/GaN) epitaksial prosesleri ýaly ösen ugurlarda giňden ulanylýar.

“VET Energy” kompaniýasy ýokary arassalykly SiC poroşogyny öňdebaryjy sinterleme tehnologiýasy bilen utgaşdyryp, gözenekleriň ölçegini takyk gözegçilikde saklamaga (0,05–100μm) ýetýär we süzgüçleme, diffuziýa, kataliz we termal dolandyryş üçin dürli ulanylyş talaplaryny kanagatlandyrýar. Bu ýarymgeçiriji we fotowoltaik senagatlary üçin hasyl beriş derejesini ýokarlandyrmak, hapalanmany azaltmak we prosesleri optimizirlemek üçin ideal saýlawdyr.

Esasy artykmaçlyklarymyz
✅ Ultra ýokary arassalyk:
metal garyndylary <0.5ppm, SEMI standartlaryna laýyk gelýär, wafer hapalanmagynyň öňüni alýar;
✅ Ýokary temperatura çydamlylygy (1600℃-de yzygiderli ulanmak):
CVD, diffuziýa peçleri we kremniý erediji ýaly ýokary temperaturaly gurşawlar üçin amatly;
✅ Güýçli termal şoka garşylyk:
temperaturanyň çalt üýtgemegine uýgunlaşýar, enjamlaryň işden çykmagyny azaldýar
✅ Himiki inertlik (kislotalara, alkalilere we ereýän metallara çydamly):
HF we Cl₂ ýaly poslaýjy gazlara çydamly, metal süzgüçleriň ömri has uzak;
✅ Gözenek gurluşynyň gözegçiligi (0.05-100um):
suwuklyk akymynyň netijeliligini ýokarlandyrýan derejelenen süzgüçleme goldawyny goldaýar;

Adaty ulanylyş
1. Ýarymgeçirijileriň önümçiligi: CVD/ALD gaz süzgüçleme, diffuziýa peçleriniň akymyny paýlaýjy plitalar, işlenen gazlary gaýtadan işlemek we ş.m.
2. Fotowoltaik senagat: Kremniý materialyny eredip süzmek, PERC öýjük örtük maskalary we ş.m.
3. Üçünji nesil ýarymgeçirijiler (SiC/GaN): Wafer epitaksial öňünden işlenilýär.