Силикон карбиди сӯрохдор SiC керамикӣ

Силикон карбиди сӯрохдор SiC керамикӣ
Керамикаи SiC сӯрохдоряк маводи сафолии баландсифат бо сохтори сӯрохиҳои идорашаванда мебошад, ки дорои покии ултрабаланд, муқовимат ба ҳарорати баланд, муқовимат ба зарбаи гармӣ ва инерсияи кимиёвӣ мебошад. Онҳо дар соҳаҳои пешрафта, ба монанди истеҳсоли нимноқилҳо, истеҳсоли пластинаҳои кремнийи фотоэлектрикӣ ва равандҳои эпитаксиалии нимноқилҳои насли сеюм (SiC/GaN) васеъ истифода мешаванд.

Ширкати VET Energy хокаи SiC-и тозагии баландро дар якҷоягӣ бо технологияи пешрафтаи синтезкунӣ барои ноил шудан ба назорати дақиқи андозаи сӯрохиҳо (0.05-100μm) истифода мебарад ва ба талаботи гуногуни татбиқ барои филтратсия, диффузия, катализ ва идоракунии гармӣ ҷавобгӯ мебошад. Он интихоби беҳтарин барои саноати нимноқилҳо ва фотоэлектрикӣ барои баланд бардоштани сатҳи ҳосилнокӣ, кам кардани ифлосшавӣ ва беҳсозии равандҳо мебошад.

Афзалиятҳои асосии мо
✅ Покӣ ва тозагии ниҳоят баланд:
ифлосшавии металлӣ <0.5ppm, мутобиқи стандартҳои SEMI, пешгирии ифлосшавии вафлӣ;
✅ Муқовимат ба ҳарорати баланд (истифодаи пайваста дар 1600℃):
мувофиқ барои муҳитҳои ҳарорати баланд ба монанди CVD, кӯраҳои диффузионӣ ва гудозиши кремний;
✅ Муқовимати қавии зарбаи гармӣ:
ба тағйироти босуръати ҳарорат мутобиқ мешавад ва вақти бекористии таҷҳизотро кам мекунад
✅ Ноустувории кимиёвӣ (тобовар ба кислотаҳо, ишқорҳо ва металлҳои гудохта):
ба газҳои зангзананда ба монанди HF ва Cl₂ тобовар буда, мӯҳлати хизматашон аз мӯҳлати хизмати филтрҳои металлӣ хеле зиёдтар аст;
✅ Сохтори сӯрохиҳои назоратшаванда (0.05-100 мкм):
филтратсияи зина ба зинаро дастгирӣ мекунад, ки самаранокии ҷараёни моеъро беҳтар мекунад;

Аризаи маъмулӣ
1. Истеҳсоли нимноқилҳо: филтратсияи гази CVD/ALD, лавҳаҳои тақсимоти ҷараёни кӯраи диффузионӣ, коркарди гази ихроҷ ва ғайра.
2. Саноати фотоэлектрикӣ: Филтратсияи обшавии маводи кремний, ниқобҳои пӯшиши ҳуҷайраҳои PERC ва ғайра.
3. Нимноқилҳои насли сеюм (SiC/GaN): Пешакӣ коркарди эпитаксиалии ваферӣ.