நுண்துளை சிலிக்கான் கார்பைடு SiC செராமிக்

நுண்துளை சிலிக்கான் கார்பைடு SiC செராமிக்
நுண்துளை SiC பீங்கான்கட்டுப்படுத்தக்கூடிய துளை அமைப்பைக் கொண்ட ஒரு உயர் செயல்திறன் பீங்கான் பொருளான இது, மிக உயர்ந்த தூய்மை, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு மற்றும் வேதியியல் மந்தத்தன்மை போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, ஒளிமின்னழுத்த சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தி மற்றும் மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி (SiC/GaN) எபிடெக்சியல் செயல்முறைகள் போன்ற மேம்பட்ட துறைகளில் இவை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

VET எனர்ஜி, உயர் தூய்மையான SiC தூளை மேம்பட்ட சின்டரிங் தொழில்நுட்பத்துடன் இணைத்து, துல்லியமான துளை அளவு கட்டுப்பாட்டை (0.05–100μm) அடைகிறது. இது வடிகட்டுதல், பரவல், வினையூக்கம் மற்றும் வெப்ப மேலாண்மை போன்ற பல்வேறு பயன்பாட்டுத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது. உற்பத்தி விகிதங்களை அதிகரிக்கவும், மாசுபாட்டைக் குறைக்கவும், செயல்முறைகளை மேம்படுத்தவும் குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்களுக்கு இது ஒரு சிறந்த தேர்வாகும்.

எங்கள் முக்கிய நன்மைகள்
✅ மிக உயர்ந்த தூய்மை:
உலோக அசுத்தங்கள் <0.5ppm, SEMI தரநிலைகளுக்கு இணங்குகிறது, வேஃபர் மாசுபடுவதைத் தடுக்கிறது;
✅ உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்புத்திறன் (1600℃ வெப்பநிலையில் தொடர்ச்சியான பயன்பாடு):
CVD, பரவல் உலைகள் மற்றும் சிலிக்கான் உருக்குதல் போன்ற உயர் வெப்பநிலை சூழல்களுக்கு ஏற்றது;
✅ வலுவான வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்புத் திறன்:
விரைவான வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு ஏற்பத் தகவமைத்துக் கொள்வதால், உபகரணங்களின் செயலிழப்பு நேரம் குறைகிறது.
✅ வேதியியல் மந்தத்தன்மை (அமிலங்கள், காரங்கள் மற்றும் உருகிய உலோகங்களை எதிர்க்கும் திறன்):
HF மற்றும் Cl₂ போன்ற அரிக்கும் வாயுக்களை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டதுடன், உலோக வடிகட்டிகளின் ஆயுட்காலத்தை விட மிக நீண்ட ஆயுட்காலத்தையும் கொண்டுள்ளது;
✅ கட்டுப்படுத்தப்பட்ட துளை அமைப்பு (0.05-100um):
படிநிலை வடிகட்டுதலை ஆதரித்து, திரவ ஓட்டத் திறனை மேம்படுத்துகிறது;

வழக்கமான பயன்பாடு
1. குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: CVD/ALD வாயு வடிகட்டுதல், பரவல் உலை பாய்வு விநியோகத் தகடுகள், அரித்தல் வெளியேற்ற வாயு சுத்திகரிப்பு போன்றவை.
2. ஒளிமின்னழுத்தத் தொழில்: சிலிக்கான் பொருள் உருகுதல் வடிகட்டுதல், PERC மின்கலப் பூச்சு முகமூடிகள் போன்றவை.
3. மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்திகள் (SiC/GaN): வேஃபர் எபிடெக்சியல் முன் பதப்படுத்தல்.