다공성 탄화규소(SiC) 세라믹

다공성 탄화규소(SiC) 세라믹
다공성 SiC 세라믹실리콘은 제어 가능한 기공 구조를 가진 고성능 세라믹 소재로, 초고순도, 고온 저항성, 열충격 저항성 및 화학적 불활성 등의 특징을 지닙니다. 반도체 제조, 태양광 실리콘 웨이퍼 생산, 3세대 반도체(SiC/GaN) 에피택시 공정 등 첨단 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

VET Energy는 고순도 SiC 분말과 첨단 소결 기술을 결합하여 정밀한 기공 크기 제어(0.05~100μm)를 구현함으로써 여과, 확산, 촉매 작용 및 열 관리 등 다양한 응용 분야의 요구 사항을 충족합니다. 반도체 및 태양광 산업에서 수율 향상, 오염 감소 및 공정 최적화를 위한 이상적인 선택입니다.

우리의 핵심 경쟁력
✅ 초고순도:
금속 불순물 함량 <0.5ppm으로 SEMI 표준을 준수하여 웨이퍼 오염을 방지합니다.
✅ 고온 내성 (1600℃에서 연속 사용 가능):
CVD, 확산로, 실리콘 제련과 같은 고온 환경에 적합합니다.
✅ 뛰어난 열충격 저항성:
급격한 온도 변화에 적응하여 장비 가동 중지 시간을 줄입니다.
✅ 화학적 불활성(산, 알칼리 및 용융 금속에 대한 내성):
HF 및 Cl₂와 같은 부식성 가스에 대한 내성이 뛰어나며, 금속 필터보다 훨씬 긴 수명을 자랑합니다.
✅ 정밀하게 제어된 기공 구조(0.05-100μm):
단계별 여과를 지원하여 유체 흐름 효율을 향상시킵니다.

일반적인 적용 사례
1. 반도체 제조: CVD/ALD 가스 여과, 확산로 유량 분배판, 에칭 배기가스 처리 등
2. 태양광 산업: 실리콘 소재 용융 여과, PERC 셀 코팅 마스크 등
3. 3세대 반도체(SiC/GaN): 웨이퍼 에피택셜 전처리.