Πορώδες κεραμικό SiC καρβιδίου πυριτίου

Πορώδες κεραμικό SiC καρβιδίου πυριτίου
Πορώδες κεραμικό SiCείναι ένα κεραμικό υλικό υψηλής απόδοσης με ελεγχόμενη δομή πόρων, που χαρακτηρίζεται από εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα, αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή σε θερμικά σοκ και χημική αδράνεια. Χρησιμοποιούνται ευρέως σε προηγμένους τομείς όπως η κατασκευή ημιαγωγών, η παραγωγή φωτοβολταϊκών πλακιδίων πυριτίου και οι επιταξιακές διεργασίες ημιαγωγών τρίτης γενιάς (SiC/GaN).

Η VET Energy χρησιμοποιεί σκόνη SiC υψηλής καθαρότητας σε συνδυασμό με προηγμένη τεχνολογία πυροσυσσωμάτωσης για την επίτευξη ακριβούς ελέγχου του μεγέθους των πόρων (0,05–100μm), καλύπτοντας ποικίλες απαιτήσεις εφαρμογών για διήθηση, διάχυση, κατάλυση και θερμική διαχείριση. Αποτελεί ιδανική επιλογή για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών για την ενίσχυση των ρυθμών απόδοσης, τη μείωση της μόλυνσης και τη βελτιστοποίηση των διαδικασιών.

Βασικά μας πλεονεκτήματα
✅ Εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα:
μεταλλικές ακαθαρσίες <0,5ppm, συμβατές με τα πρότυπα SEMI, αποτρέποντας τη μόλυνση των πλακιδίων.
✅ Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία (συνεχής χρήση στους 1600℃):
κατάλληλο για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας όπως CVD, φούρνοι διάχυσης και τήξη πυριτίου.
✅ Ισχυρή αντοχή σε θερμικό σοκ:
προσαρμόζεται στις γρήγορες αλλαγές θερμοκρασίας, μειώνοντας τον χρόνο διακοπής λειτουργίας του εξοπλισμού
✅ Χημική αδράνεια (ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια και τηγμένα μέταλλα):
ανθεκτικό σε διαβρωτικά αέρια όπως HF και Cl₂, με διάρκεια ζωής που υπερβαίνει κατά πολύ αυτή των μεταλλικών φίλτρων·
✅ Ελεγχόμενη δομή πόρων (0,05-100 μm):
υποστηρίζει διαβαθμισμένη διήθηση, βελτιώνοντας την απόδοση ροής υγρών.

Τυπική εφαρμογή
1. Κατασκευή ημιαγωγών: Διήθηση αερίου CVD/ALD, πλάκες διανομής ροής κλιβάνου διάχυσης, επεξεργασία καυσαερίων χάραξης, κ.λπ.
2. Φωτοβολταϊκή βιομηχανία: Διήθηση τήξης υλικού πυριτίου, μάσκες επικάλυψης κυψελών PERC, κ.λπ.
3. Ημιαγωγοί τρίτης γενιάς (SiC/GaN): Προεπεξεργασία επιταξιακής επεξεργασίας πλακιδίων.