Карбід крэмнію— гэта цвёрдае злучэнне, якое змяшчае крэмній і вуглярод, і сустракаецца ў прыродзе ў выглядзе надзвычай рэдкага мінерала муасаніту. Часціцы карбіду крэмнію можна злучаць разам шляхам спякання, утвараючы вельмі цвёрдую кераміку, якая шырока выкарыстоўваецца ў прымяненнях, якія патрабуюць высокай трываласці, асабліва ў вытворчасці паўправаднікоў.
Фізічная структура SiC
Што такое SiC-пакрыццё?
Пакрыццё SiC — гэта шчыльнае, зносаўстойлівае пакрыццё з карбіду крэмнію з высокай каразійнай і цеплавой устойлівасцю і выдатнай цеплаправоднасцю. Гэта высакаякаснае пакрыццё SiC у асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай і электроннай прамысловасці для абароны носьбітаў пласцін, асноў і награвальных элементаў ад каразійных і рэактыўных асяроддзяў. Пакрыццё SiC таксама падыходзіць для вакуумных печаў і нагрэву ўзораў у высокім вакууме, рэактыўным і кіслародным асяроддзі.
Паверхня пакрыцця SiC высокай чысціні
Што такое працэс нанясення пакрыцця SiC?
Тонкі пласт карбіду крэмнію наносіцца на паверхню падкладкі з дапамогайCVD (хімічнае асаджэнне з паравой фазы)Асаджэнне звычайна праводзіцца пры тэмпературах 1200-1300°C, і цеплавое пашырэнне матэрыялу падкладкі павінна быць сумяшчальным з пакрыццём з карбіду крэмнію, каб мінімізаваць цеплавое напружанне.
Крышталічная структура плёнкі CVD SIC
Фізічныя ўласцівасці пакрыцця SiC у асноўным адлюстроўваюцца ў яго ўстойлівасці да высокіх тэмператур, цвёрдасці, каразійнай устойлівасці і цеплаправоднасці.
Тыповыя фізічныя параметры звычайна наступныя:
ЦвёрдасцьПакрыцці з карбіду крэмнію звычайна маюць цвёрдасць па Вікерсу ў дыяпазоне 2000-2500 HV, што забяспечвае ім надзвычай высокую зносаўстойлівасць і ўдаратрываласць у прамысловым ужыванні.
ШчыльнасцьПакрыцці з карбіду крэмнію звычайна маюць шчыльнасць 3,1-3,2 г/см³. Высокая шчыльнасць спрыяе механічнай трываласці і даўгавечнасці пакрыцця.
ЦеплаправоднасцьПакрыцці з карбіду крэмнію маюць высокую цеплаправоднасць, звычайна ў дыяпазоне 120-200 Вт/мК (пры 20°C). Гэта забяспечвае ім добрую цеплаправоднасць у умовах высокіх тэмператур і робіць іх асабліва прыдатнымі для абсталявання для тэрмічнай апрацоўкі ў паўправадніковай прамысловасці.
Тэмпература плаўленняКарбід крэмнію мае тэмпературу плаўлення прыблізна 2730°C і валодае выдатнай тэрмічнай стабільнасцю пры экстрэмальных тэмпературах.
Каэфіцыент цеплавога пашырэнняПакрыцці з карбіду крэмнію маюць нізкі лінейны каэфіцыент цеплавога пашырэння (КТР), звычайна ў дыяпазоне 4,0-4,5 мкм/мК (пры 25-1000℃). Гэта азначае, што яны выдатна захоўваюць памеры пры вялікіх перападах тэмператур.
Устойлівасць да карозііПакрыцці з карбіду крэмнію надзвычай устойлівыя да карозіі ў моцных кіслотных, шчолачных і акісляльных асяроддзях, асабліва пры выкарыстанні моцных кіслот (такіх як HF або HCl), іх каразійная ўстойлівасць значна перавышае каразійную ўстойлівасць звычайных металічных матэрыялаў.
Падкладка для нанясення пакрыцця SiC
Пакрыццё SiC часта выкарыстоўваецца для паляпшэння каразійнай устойлівасці, устойлівасці да высокіх тэмператур і ўстойлівасці да плазменнай эрозіі падкладкі. Звычайныя падкладкі для прымянення ўключаюць наступнае:
| Тып субстрата | Прычына заяўкі | Тыповае выкарыстанне |
| Графіт | - Лёгкая структура, добрая цеплаправоднасць - Але лёгка падвяргаецца карозіі пад уздзеяннем плазмы, патрабуе абароны пакрыццём SiC | Дэталі вакуумных камер, графітавыя лодкі, латкі для плазменнага травлення і г.д. |
| Кварц (кварц/SiO₂) | - Высокая чысціня, але лёгка падвяргаецца карозіі - Пакрыццё павышае ўстойлівасць да плазменнай эрозіі | Дэталі камеры CVD/PECVD |
| Кераміка (напрыклад, аксід алюмінію Al₂O₃) | - Высокая трываласць і стабільная канструкцыя - Пакрыццё паляпшае ўстойлівасць паверхні да карозіі | Футэрка камеры, арматура і г.д. |
| Металы (напрыклад, малібдэн, тытан і г.д.) | - Добрая цеплаправоднасць, але дрэнная каразійная ўстойлівасць - Пакрыццё паляпшае стабільнасць паверхні | Кампаненты рэакцыі спецыяльнага працэсу |
| Спечаны корпус з карбіду крэмнію (SiC у масе) | - Для асяроддзяў з высокімі патрабаваннямі да складаных умоў працы - Пакрыццё дадаткова паляпшае чысціню і каразійную ўстойлівасць | Высокакласныя кампаненты камер CVD/ALD |
Вырабы з пакрыццём SiC звычайна выкарыстоўваюцца ў наступных паўправадніковых галінах
Пакрыцці з карбіду крэмнію шырока выкарыстоўваюцца ў апрацоўцы паўправаднікоў, галоўным чынам ва ўмовах высокіх тэмператур, высокай карозіі і моцнай плазмы. Ніжэй прыведзены некалькі асноўных працэсаў або абласцей іх прымянення і кароткія апісанні:
| Працэс/сфера падачы заяўкі | Кароткае апісанне | Функцыя пакрыцця з карбіду крэмнію |
| Плазменнае травленне (траўленне) | Выкарыстоўвайце газы на аснове фтору або хлору для пераносу малюнкаў | Супраціўляюць плазменнай эрозіі і прадухіляюць забруджванне часціцамі і металам |
| Хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD/PECVD) | Асаджэнне аксідных, нітрыдных і іншых тонкіх плёнак | Супраціўляюць уздзеянню каразійных газаў-папярэднікаў і павялічваюць тэрмін службы кампанентаў |
| Камера фізічнага асаджэння з паравой фазы (PVD) | Бамбардзіроўка высокаэнергетычнымі часціцамі падчас працэсу нанясення пакрыцця | Паляпшэнне ўстойлівасці да эрозіі і цеплаўстойлівасці рэакцыйнай камеры |
| Працэс MOCVD (напрыклад, эпітаксіяльны рост SiC) | Працяглая рэакцыя пры высокай тэмпературы і каразійнай атмасферы з высокім утрыманнем вадароду | Падтрымлівайце стабільнасць абсталявання і прадухіляйце забруджванне растучых крышталяў |
| Працэс тэрмічнай апрацоўкі (LPCVD, дыфузія, адпал і г.д.) | Звычайна праводзіцца пры высокай тэмпературы і вакууме/атмасферы | Абараніце графітавыя лодкі і паддоны ад акіслення або карозіі |
| Трымальнік/заціск для пласцін (апрацоўка пласцін) | Графітавая аснова для пераносу або падтрымкі пласцін | Зніжэнне выкіду часціц і прадухіленне кантактнага забруджвання |
| Кампаненты камеры ALD | Паўторна і дакладна кантраляваць адкладванне атамнага пласта | Пакрыццё падтрымлівае чысціню камеры і мае высокую каразійную ўстойлівасць да папярэднікаў |
Чаму варта выбраць VET Energy?
VET Energy з'яўляецца вядучым вытворцам, інаватарам і лідэрам у галіне пакрыццяў з карбіду крэмнію ў Кітаі, асноўныя прадукты пакрыцця з карбіду крэмнію ўключаюцьносьбіт пласцін з пакрыццём SiC, пакрыццё з карбіду крэмніюэпітаксіяльны сусцэптар, Графітавае кольца з пакрыццём SiC, Паўмесяцовыя дэталі з пакрыццём SiC, Кампазіт з вуглярод-вугляродным пакрыццём SiC, Лодка з пласцін з пакрыццём SiC, Награвальнік з пакрыццём з карбіду крэмніюі г.д. VET Energy імкнецца забяспечыць паўправадніковую прамысловасць найлепшымі тэхналагічнымі і прадуктовымі рашэннямі, а таксама падтрымлівае паслугі па наладжванні. Мы шчыра спадзяемся стаць вашым доўгатэрміновым партнёрам у Кітаі.
Калі ў вас ёсць якія-небудзь пытанні або вам патрэбна дадатковая інфармацыя, калі ласка, не саромейцеся звяртацца да нас.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Час публікацыі: 18 кастрычніка 2024 г.