PECVD nosač grafitnih pločica

Istaknuta slika nosača PECVD grafitnih pločica

Kratak opis:

Dizajniran za preciznost i performanse, VET Energy grafitni nosač za pločice idealan je materijal za upotrebu u naprednoj obradi pločica, gdje su visoka termička stabilnost i konzistentne performanse ključne. Bez obzira da li radite sa poluprovodničkim pločicama ili drugim osjetljivim podlogama, ovaj visokokvalitetni grafitni nosač će poboljšati pouzdanost vašeg procesa i kvalitet proizvoda, što ga čini nezamjenjivom komponentom za modernu proizvodnju.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

VET Energy PECVD grafitna podloga za proces je potrošni materijal dizajniran za PECVD (plazma poboljšano hemijsko taloženje iz pare) proces. Ovaj proizvod je napravljen od grafita visoke čistoće i gustine, sa odličnom otpornošću na visoke temperature, otpornosti na koroziju, dimenzionalne stabilnosti i drugim karakteristikama, te može pružiti stabilnu platformu za podršku PECVD procesu, kako bi se osigurala ujednačenost i ravnost taloženja filma.

Dizajn "grafitne podloge" VET Energy grafitnog nosača pločice ne samo da može efikasno podupirati pločicu, već i osigurati termičku stabilnost u PECVD okruženju visoke temperature i visokog pritiska kako bi se osigurala stabilnost procesa.

Nosač grafitne pločice VET Energy PECVD procesa ima sljedeće karakteristike:

▪Visoka čistoća:izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegava kontaminaciju filma, kako bi se osigurala kvaliteta filma.

▪Visoka gustoća:visoka gustoća, visoka mehanička čvrstoća, može izdržati visoku temperaturu i visoki pritisak PECVD okruženja.

▪Dobra dimenzionalna stabilnost:male dimenzijske promjene na visokoj temperaturi kako bi se osigurala stabilnost procesa.

▪Odlična toplotna provodljivost:efikasno prenose toplotu kako bi spriječili pregrijavanje pločice.

▪Snažna otpornost na koroziju:Sposoban da se odupre eroziji uzrokovanoj raznim korozivnim gasovima i plazmom.

▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi potrebama kupaca.

Grafitni materijal od SGL-a:

Tipični parametar: R6510
Indeks	Standard ispitivanja	Vrijednost	Jedinica
Prosječna veličina zrna	ISO 13320	10	μm
Gustina zapremine	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorena poroznost	DIN66133	10	%
Srednja veličina pora	DIN66133	1.8	μm
Propustljivost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdoća po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna otpornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Čvrstoća na savijanje	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna čvrstoća	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termičko širenje (20-200℃)	DIN 51909	4,2X10^-6	K^-1
Toplotna provodljivost (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Posebno je dizajniran za visokoefikasnu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu velikih G12 pločica. Optimizovani dizajn nosača značajno povećava protok, omogućavajući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.

Stavka	Tip	Nosač pločice s brojem
PEVCD Grephite brod - Serija 156	156-13 gramofolani brod	144
	156-19 gramofolani brod	216
	156-21 gramofolani brod	240
	156-23 grafitni čamac	308
PEVCD Grephite brod - Serija 125	125-15 gramofosni čamac	196
	125-19 gramofolani čamac	252
	125-21 grafitni čamac	280