Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш

Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш

Эпитаксиалды эпи-графит баррельді қабылдағыш- тұндыру немесе эпитаксистік процестер сияқты өндірістік процестер кезінде жартылай өткізгіш негіздерді ұстау және қыздыру үшін қолданылатын арнайы әзірленген тірек және қыздыру құрылғысы.

Оның құрылымы әдетте цилиндрлік немесе сәл бөшке тәрізді, бетінің ерекшеліктері бірнеше қалталардан немесе пластиналарды орналастыруға арналған платформалардан тұрады, қыздыру әдісіне байланысты тұтас немесе қуыс дизайн болуы мүмкін.

Эпитаксиалды баррельді сезгіштің негізгі функциялары:

1. Вафельді тасымалдаушы және температураны бақылау
Қабылдағыш беті бір уақытта 6-15 пластинаны ұстай алатын бірнеше пластинка қалталарымен (мысалы, алтыбұрышты немесе сегізбұрышты орналасу) жасалған. Тазалығы жоғары графиттің жоғары жылу өткізгіштігі (120-150 Вт/мК) айналу функциясымен (5-20 RPM) біріктірілген жылдам жылу беруді қамтамасыз етеді, нәтижесінде пластинаның бетінің температурасы <± 1 ℃ ауытқуына және эпитаксиалды қабат қалыңдығының біркелкілігі<1% құрайды.

2. Әрекеттесуші газ ағынының бағытын оңтайландыру
Сусептор бетінің микроқұрылымы реакциялық газдардың (мысалы, SiH4, NH3) біркелкі таралуына және тұндыру жылдамдығының консистенциясын жақсартуға мүмкіндік беретін шекаралық қабат әсерін бұзуы мүмкін.

3. Ластанудан және коррозиядан қорғау
Графиттік субстраттар жоғары температурада ыдырауға және металл қоспаларын (Fe,Ni сияқты) шығаруға бейім, ал қалыңдығы 100мкм CVD SiC жабыны графиттің ұшпалануын басу үшін тығыз тосқауыл құра алады, нәтижесінде пластинаның ақау жылдамдығы <0,1 ақау/см² болады.

Қолданбалар:
-Негізінен кремнийдің эпитаксиалды өсуі үшін қолданылады
-Сондай-ақ GaAs, InP және т.б. басқа жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксиясына қолданылады.

VET Energy химиялық тұрақтылықты арттыру үшін CVD-SiC жабыны бар жоғары таза графитті пайдаланады:

1. Тазалығы жоғары графит материалы
Жоғары жылу өткізгіштік: графиттің жылу өткізгіштігі кремнийден үш есе жоғары, ол жылуды қыздыру көзінен вафлиге жылдам тасымалдай алады және қыздыру уақытын қысқартады.
Механикалық беріктігі: изостатикалық қысым графит тығыздығы ≥ 1,85 г/см³, деформациясыз 1200 ℃ жоғары жоғары температураға төтеп беруге қабілетті.

2. CVD SiC жабыны
Графит бетінде β - SiC қабаты химиялық булардың тұндыруымен (CVD) түзіледі, тазалығы ≥ 99,99995%, жабын қалыңдығының біркелкі қателігі ±5% -дан аз, ал бетінің кедір-бұдырлығы Ra0,5um-ден аз.

3. Жұмыс өнімділігін арттыру:
Коррозияға төзімділік: Cl2, HCl және т.
Термиялық тұрақтылық: Термиялық кеңею коэффициенті (4,5 × 10-6/℃) температура ауытқуларынан туындаған жабынның крекингін болдырмау үшін графитке сәйкес келеді.
Қаттылық пен тозуға төзімділік: Викерс қаттылығы 28 ГПа жетеді, бұл графиттен 10 есе жоғары және пластинаның сызаттар қаупін азайтады.