Эпитаксиаль Эпи Графит баррель Сусцептор

Эпитаксиаль Эпи Графит баррель Сусцептор

Эпитаксиаль Эпи Графит баррель СусцепторХагас дамжуулагч субстратыг хуримтлуулах эсвэл эпитакси хийх зэрэг үйлдвэрлэлийн процессын үед халаах, хадгалахад ашигладаг тусгайлан зохион бүтээсэн тулгуур ба халаах төхөөрөмж юм.

Түүний бүтэц нь ихэвчлэн цилиндр эсвэл бага зэрэг баррель хэлбэртэй, гадаргуу нь олон халаас эсвэл өргүүрийг байрлуулах тавцантай, халаалтын аргаас хамааран цул эсвэл хөндий хэлбэртэй байж болно.

Эпитаксиаль баррель мэдрэгчийн үндсэн үүрэг:

1. Вафель зөөгч ба температурын хяналт
Соцепторын гадаргуу нь 6-15 ширхэг өргүүрийг нэгэн зэрэг даах боломжтой олон тооны өргүүрийн халаастай (зургаан өнцөгт эсвэл найман өнцөгт) хийгдсэн. Өндөр цэвэршилттэй бал чулууны өндөр дулаан дамжуулалт (120-150 Вт/мК) нь эргэлтийн функцтэй (5-20 RPM) хослуулан хурдан дулаан дамжуулалтыг баталгаажуулдаг бөгөөд энэ нь хавтангийн гадаргуугийн температурын хазайлтыг<± 1 ℃, эпитаксиаль давхаргын зузааныг <1% болгодог.

2. Реактив хийн урсгалын чиглэлийг оновчтой болгох
Соцепторын гадаргуугийн бичил бүтэц нь хилийн давхаргын эффектийг эвдэж, урвалын хийнүүдийг (SiH4, NH3 гэх мэт) жигд хуваарилах, тунадасжилтын тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.

3. Бохирдол, зэврэлтээс хамгаална
Графит субстрат нь өндөр температурт задарч, металлын хольц (Fe,Ni гэх мэт) ялгаруулдаг бол 100мкм зузаантай CVD SiC бүрээс нь бал чулууны дэгдэмхийллийг дарах өтгөн хаалт үүсгэж, өрөвсний согогийн хэмжээ<0.1 согог/см²-д хүргэдэг.

Хэрэглээ:
-Цахиурын эпитаксиаль өсөлтөд голчлон ашигладаг
- GaAs, InP гэх мэт бусад хагас дамжуулагч материалын эпитаксид мөн хэрэглэнэ.

VET Energy нь химийн тогтвортой байдлыг сайжруулахын тулд CVD-SiC бүрээстэй өндөр цэвэршилттэй бал чулууг ашигладаг.

1. Өндөр цэвэршилттэй бал чулуу материал
Дулаан дамжуулалт өндөр: бал чулууны дулаан дамжилтын илтгэлцүүр нь цахиураас 3 дахин их бөгөөд энэ нь халаалтын эх үүсвэрээс дулааныг вафель руу хурдан шилжүүлж, халаах хугацааг богиносгодог.
Механик хүч: Изостатик даралттай бал чулууны нягт ≥ 1.85 г/см³, 1200 ℃-аас дээш өндөр температурыг деформацигүйгээр тэсвэрлэх чадвартай.

2. CVD SiC бүрэх
Бал чулуун гадаргуу дээр химийн уурын хуримтлал (CVD) -ийн үед β - SiC давхарга үүсдэг ба цэвэршилт нь ≥ 99.99995%, бүрээсийн зузааны жигд байдлын алдаа ±5% -иас бага, гадаргуугийн тэгш бус байдал нь Ra0.5um-аас бага байна.

3. Гүйцэтгэлийг сайжруулах:
Зэврэлтэнд тэсвэртэй: Cl2, HCl гэх мэт өндөр идэмхий хийг тэсвэрлэх чадвартай, NH3 орчинд GaN эпитаксийн ашиглалтын хугацааг 3 дахин уртасгах чадвартай.
Дулааны тогтвортой байдал: Температурын хэлбэлзлээс үүдэлтэй бүрхүүлийн хагарлаас зайлсхийхийн тулд дулааны тэлэлтийн коэффициент (4.5 × 10-6 / ℃) нь бал чулуутай таарч байна.
Хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй: Викерсийн хатуулаг нь 28 GPa хүрдэг бөгөөд энэ нь бал чулуунаас 10 дахин их бөгөөд өргүүрийн зураас үүсэх эрсдлийг бууруулдаг.