Епитакиал Епи Грапхите Баррел Сусцептор

Епитакиал Епи Грапхите Баррел Сусцептор

Епитакиал Епи Грапхите Баррел Сусцепторје специјално дизајниран уређај за подупирање и грејање који се користи за држање и загревање полупроводничких подлога током производних процеса као што су процеси таложења или епитаксија.

Његова структура је обично цилиндричног или благо бачвастог облика, површина има више џепова или платформи за постављање плочица, може бити пуна или шупља, у зависности од начина загревања.

Главне функције епитаксијалног сусцептора бурета:

1. Носач вафла и контрола температуре
Површина сусцептора је дизајнирана са вишеструким џеповима за плочице (као што је хексагоналног или осмоугаоног распореда), који могу истовремено да подрже 6-15 плочица. Висока топлотна проводљивост графита високе чистоће (120-150 W/mK) обезбеђује брз пренос топлоте, у комбинацији са функцијом ротације (5-20 обртаја у минути), што резултира одступањем температуре површине плочице од <± 1 ℃ и уједначеношћу дебљине епитаксијалног слоја од <1%.

2. Оптимизација правца протока реактантног гаса
Микроструктура површине сусцептора може прекинути ефекат граничног слоја, омогућавајући равномерну расподелу реакционих гасова (као што су SiH4, NH3) и побољшавајући конзистентност брзине таложења.

3. Заштита од загађења и корозије
Графитне подлоге су склоне распадању и ослобађају металне нечистоће (као што су Fe, Ni) на високим температурама, док CVD SiC премаз дебљине 100 μm може формирати густу баријеру за сузбијање испаравања графита, што резултира стопом дефекта плочице од <0,1 дефекта/цм².

Примене:
-Првенствено се користи за епитаксијални раст силицијума
-Такође се може применити за епитаксију других полупроводничких материјала као што су GaAs, InP итд.

VET Energy користи графит високе чистоће са CVD-SiC премазом како би побољшао хемијску стабилност:

1. Графитни материјал високе чистоће
Висока топлотна проводљивост: топлотна проводљивост графита је три пута већа од силицијума, што може брзо пренети топлоту са извора грејања на плочицу и скратити време загревања.
Механичка чврстоћа: Густина графита при изостатском притиску ≥ 1,85 г/цм³, способна да издржи високе температуре изнад 1200 ℃ без деформације.

2. CVD SiC премаз
β-SiC слој се формира на површини графита хемијским таложењем из паре (CVD), са чистоћом од ≥ 99,99995%, грешка уједначености дебљине премаза је мања од ±5%, а храпавост површине је мања од Ra0,5um.

3. Побољшање перформанси:
Отпорност на корозију: може издржати јаке корозивне гасове као што су Cl2, HCl итд., може продужити век трајања GaN епитаксе за три пута у NH3 окружењу.
Термичка стабилност: Коефицијент термичког ширења (4,5 × 10-6/℃) одговара графиту како би се избегло пуцање премаза изазвано температурним флуктуацијама.
Тврдоћа и отпорност на хабање: Викерсова тврдоћа достиже 28 GPa, што је 10 пута веће од графита и може смањити ризик од огреботина на плочици.