Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksial

Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksial

Susceptor fuçi Epi Grafit Epitaksialështë një pajisje mbështetëse dhe ngrohëse e projektuar posaçërisht që përdoret për të mbajtur dhe ngrohur substratet gjysmëpërçuese gjatë proceseve të prodhimit si proceset e Depozitimit ose Epitaksise.

Struktura e saj përfshin zakonisht cilindrike ose pak në formë fuçie, sipërfaqja përmban xhepa ose platforma të shumta për vendosjen e napolitanëve dhe mund të jetë e ngurtë ose e zbrazët, varësisht nga metoda e ngrohjes.

Funksionet kryesore të susceptorit epitaksial të fuçisë:

1. Mbajtësja e pllakës së ngjitjes dhe kontrolli i temperaturës
Sipërfaqja e susceptorit është projektuar me xhepa të shumtë për pllaka (siç janë rregullimet gjashtëkëndore ose tetëkëndore), të cilat mund të mbështesin 6-15 pllaka njëkohësisht. Përçueshmëria e lartë termike e grafitit me pastërti të lartë (120-150W/mK) siguron transferim të shpejtë të nxehtësisë, të kombinuar me funksionin e rrotullimit (5-20 RPM), duke rezultuar në një devijim të temperaturës së sipërfaqes së pllakave prej <± 1 ℃ dhe uniformitet të trashësisë së shtresës epitaksiale prej <1%.

2. Optimizimi i drejtimit të rrjedhës së gazit reagent
Mikrostruktura e sipërfaqes së susceptorit mund të thyejë efektin e shtresës kufitare, duke lejuar shpërndarje uniforme të gazrave të reagimit (si SiH4, NH3) dhe duke përmirësuar konsistencën e shkallës së depozitimit.

3. Mbrojtje kundër ndotjes dhe korrozionit
Substratet e grafitit janë të prirura ndaj dekompozimit dhe lëshojnë papastërti metalike (si Fe, Ni) në temperatura të larta, ndërsa një shtresë CVD SiC me trashësi 100 μm mund të formojë një barrierë të dendur për të shtypur avullimin e grafitit, duke rezultuar në një shkallë defektesh të pllakës së grafitit prej <0.1 defekte/cm².

Aplikimet:
-Përdoret kryesisht për rritjen epitaksiale të silikonit
-Gjithashtu i zbatueshëm për epitaksi të materialeve të tjera gjysmëpërçuese si GaAs, InP, etj.

VET Energy përdor grafit me pastërti të lartë me veshje CVD-SiC për të rritur stabilitetin kimik:

1. Material grafiti me pastërti të lartë
Përçueshmëri e lartë termike: përçueshmëria termike e grafitit është tre herë më e lartë se ajo e silikonit, e cila mund të transferojë shpejt nxehtësinë nga burimi i ngrohjes në pllakë dhe të shkurtojë kohën e ngrohjes.
Rezistenca mekanike: Dendësia e grafitit në presion izostatik ≥ 1.85 g/cm³, e aftë të përballojë temperatura të larta mbi 1200 ℃ pa deformim.

2. Veshje CVD SiC
Një shtresë β-SiC formohet në sipërfaqen e grafitit me anë të depozitimit kimik të avullit (CVD), me një pastërti ≥ 99.99995%, gabimi i uniformitetit të trashësisë së veshjes është më pak se ± 5% dhe vrazhdësia e sipërfaqes është më pak se Ra0.5um.

3. Përmirësimi i performancës:
Rezistenca ndaj korrozionit: mund t'i rezistojë gazrave të lartë korroziv si Cl2, HCl, etj., mund të zgjasë jetëgjatësinë e epitaksise së GaN me tre herë në mjedisin NH3.
Stabiliteti termik: Koeficienti i zgjerimit termik (4.5 × 10-6/℃) përputhet me grafitin për të shmangur çarjen e veshjes të shkaktuar nga luhatjet e temperaturës.
Fortësia dhe Rezistenca ndaj Konsumimit: Fortësia e Vickers arrin 28 GPa, që është 10 herë më e lartë se grafiti dhe mund të zvogëlojë rrezikun e gërvishtjeve të pllakave.