எபிடாக்சியல் எபி கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

எபிடாக்சியல் எபி கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

எபிடாக்சியல் எபி கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்டெபாசிட் அல்லது எபிடாக்ஸி செயல்முறைகள் போன்ற உற்பத்தி செயல்முறைகளின் போது குறைக்கடத்தி அடி மூலக்கூறுகளைப் பிடித்து வெப்பப்படுத்தப் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்ட ஆதரவு மற்றும் வெப்பமூட்டும் சாதனமாகும்.

இதன் அமைப்பு பொதுவாக உருளை அல்லது சற்று பீப்பாய் வடிவத்தைக் கொண்டுள்ளது, மேற்பரப்பு பல பாக்கெட்டுகள் அல்லது செதில்களை வைப்பதற்கான தளங்களைக் கொண்டுள்ளது, வெப்பப்படுத்தும் முறையைப் பொறுத்து திடமான அல்லது வெற்று வடிவமைப்பாக இருக்கலாம்.

எபிடாக்சியல் பீப்பாய் சசெப்டரின் முக்கிய செயல்பாடுகள்:

1. வேஃபர் கேரியர் மற்றும் வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு
சஸ்செப்டர் மேற்பரப்பு பல வேஃபர் பாக்கெட்டுகளுடன் (அறுகோண அல்லது எண்கோண ஏற்பாடு போன்றவை) வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது ஒரே நேரத்தில் 6-15 வேஃபர்களை ஆதரிக்கும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டின் (120-150W/mK) உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் விரைவான வெப்ப பரிமாற்றத்தை உறுதி செய்கிறது, சுழற்சி செயல்பாடு (5-20 RPM) உடன் இணைந்து, இதன் விளைவாக <± 1 ℃ வேஃபர் மேற்பரப்பு வெப்பநிலை விலகல் மற்றும் <1% எபிடாக்சியல் அடுக்கு தடிமன் சீரான தன்மை ஏற்படுகிறது.

2. வினைபடு வாயு ஓட்ட திசையை மேம்படுத்துதல்
சஸ்பெப்டர் மேற்பரப்பின் நுண் கட்டமைப்பு எல்லை அடுக்கு விளைவை உடைத்து, எதிர்வினை வாயுக்களின் சீரான விநியோகத்தை (SiH4, NH3 போன்றவை) அனுமதிக்கிறது மற்றும் படிவு விகிதத்தின் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

3. மாசு எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு பாதுகாப்பு
கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறுகள் அதிக வெப்பநிலையில் சிதைவடைந்து உலோக அசுத்தங்களை (Fe,Ni போன்றவை) வெளியிடுகின்றன, அதே நேரத்தில் 100μm தடிமன் கொண்ட CVD SiC பூச்சு கிராஃபைட் ஆவியாதலை அடக்குவதற்கு ஒரு அடர்த்தியான தடையை உருவாக்க முடியும், இதன் விளைவாக <0.1 குறைபாடுகள்/செ.மீ ² என்ற வேஃபர் குறைபாடு விகிதம் ஏற்படுகிறது.

பயன்பாடுகள்:
- முதன்மையாக சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
-GaAs, InP போன்ற பிற குறைக்கடத்திப் பொருட்களின் எபிடாக்ஸிக்கும் பொருந்தும்.

வேதியியல் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த VET எனர்ஜி CVD-SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது:

1. உயர் தூய்மை கிராஃபைட் பொருள்
அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிலிக்கானை விட மூன்று மடங்கு அதிகம், இது வெப்பமூட்டும் மூலத்திலிருந்து வேஃபருக்கு வெப்பத்தை விரைவாக மாற்றும் மற்றும் வெப்ப நேரத்தை குறைக்கும்.
இயந்திர வலிமை: ஐசோஸ்டேடிக் அழுத்தம் கிராஃபைட் அடர்த்தி ≥ 1.85 கிராம்/செ.மீ ³, 1200 ℃ க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையை சிதைவு இல்லாமல் தாங்கும் திறன் கொண்டது.

2. CVD SiC பூச்சு
கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் வேதியியல் நீராவி படிவு (CVD) மூலம் ஒரு β - SiC அடுக்கு உருவாகிறது, இதன் தூய்மை ≥ 99.99995% ஆகும், பூச்சு தடிமனின் சீரான பிழை ±5% க்கும் குறைவாகவும், மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை Ra0.5um ஐ விட குறைவாகவும் உள்ளது.

3. செயல்திறன் மேம்பாடு:
அரிப்பு எதிர்ப்பு: Cl2, HCl போன்ற அதிக அரிக்கும் வாயுக்களைத் தாங்கும், NH3 சூழலில் GaN எபிடாக்ஸியின் ஆயுட்காலத்தை மூன்று மடங்கு நீட்டிக்கும்.
வெப்ப நிலைத்தன்மை: வெப்பநிலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பூச்சு விரிசல்களைத் தவிர்க்க வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் (4.5 × 10-6/℃) கிராஃபைட்டுடன் பொருந்துகிறது.
கடினத்தன்மை மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்பு: விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை 28 GPa ஐ அடைகிறது, இது கிராஃபைட்டை விட 10 மடங்கு அதிகம் மற்றும் வேஃபர் கீறல்களின் அபாயத்தைக் குறைக்கும்.