Kishikizi cha Pipa cha Graphite cha Epitaxial Epi

Kishikizi cha Pipa cha Graphite cha Epitaxial Epi

Kishikizi cha Pipa cha Graphite cha Epitaxial Epini kifaa cha usaidizi na upashaji joto kilichoundwa mahususi kinachotumika kushikilia na kupasha joto sehemu ndogo za semiconductor wakati wa michakato ya utengenezaji kama vile michakato ya Deposition au Epitaxy.

Muundo wake ni pamoja na kawaida ya silinda au umbo la pipa kidogo, sura ya uso ina mifuko mingi au majukwaa ya kuweka kaki, inaweza kuwa muundo thabiti au mashimo, kulingana na njia ya kupokanzwa.

Kazi kuu za kiharusi cha pipa epitaxial:

1. Kibeba Kaki na Udhibiti wa Joto
Sehemu ya uso wa kizio imeundwa kwa mifuko mingi ya kaki (kama vile mpangilio wa hexagonal au octagonal), ambayo inaweza kuhimili kaki 6-15 kwa wakati mmoja. Upitishaji wa joto wa juu wa grafiti ya kiwango cha juu (120-150W/mK) huhakikisha uhamishaji wa joto wa haraka, pamoja na kazi ya mzunguko (5-20 RPM), na kusababisha kupotoka kwa joto la kaki la <± 1 ℃ na usawa wa safu ya epitaxial ya <1%.

2. Uboreshaji wa mwelekeo wa mtiririko wa gesi inayoathiriwa
Muundo mdogo wa uso wa kihasio unaweza kuvunja athari ya safu ya mpaka, ikiruhusu usambazaji sawa wa gesi za athari (kama vile SiH4, NH3) na kuboresha uthabiti wa kiwango cha uwekaji.

3. Kupambana na uchafuzi wa mazingira na ulinzi dhidi ya kutu
Sehemu ndogo za grafiti huwa na uwezekano wa kuoza na kutoa uchafu wa metali (kama vile Fe,Ni) kwenye joto la juu, huku unene wa CVD SiC unene wa 100μm unaweza kutengeneza kizuizi kizito ili kukandamiza kutetereka kwa grafiti, na kusababisha kiwango cha kasoro cha kaki cha<0.1 kasoro/cm².

Maombi:
-Hutumika hasa kwa ukuaji wa silicon epitaxial
-Pia inatumika kwa epitaxy ya nyenzo zingine za semiconductor kama vile GaAs, InP, n.k.

VET Energy hutumia grafiti yenye ubora wa juu na mipako ya CVD-SiC ili kuimarisha uthabiti wa kemikali:

1. Nyenzo za grafiti za usafi wa juu
Conductivity ya juu ya mafuta: conductivity ya mafuta ya grafiti ni mara tatu ya silicon, ambayo inaweza kuhamisha haraka joto kutoka kwa chanzo cha joto hadi kwenye kaki na kufupisha muda wa joto.
Nguvu ya mitambo: Msongamano wa grafiti wa shinikizo la isostatic ≥ 1.85 g/cm ³, yenye uwezo wa kuhimili halijoto ya juu zaidi ya 1200 ℃ bila mgeuko.

2. Mipako ya CVD SiC
Safu ya β - SiC huundwa juu ya uso wa grafiti kwa utuaji wa mvuke wa kemikali (CVD), na usafi wa ≥ 99.99995%, kosa la usawa wa unene wa mipako ni chini ya ± 5%, na ukali wa uso ni chini ya Ra0.5um.

3. Uboreshaji wa utendaji:
Ustahimilivu wa kutu: inaweza kustahimili gesi babuzi nyingi kama vile Cl2, HCl, nk, inaweza kupanua maisha ya epitaksi ya GaN kwa mara tatu katika mazingira ya NH3.
Uthabiti wa joto: Mgawo wa upanuzi wa joto (4.5 × 10-6/℃) unalingana na grafiti ili kuepuka kupasuka kwa mipako kunakosababishwa na kushuka kwa joto.
Ugumu na Ustahimilivu wa Kuvaa: Ugumu wa Vickers hufikia 28 GPa, ambayo ni mara 10 zaidi ya grafiti na inaweza kupunguza hatari ya mikwaruzo ya kaki.