Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorהוא התקן תמיכה וחימום שתוכנן במיוחד המשמש להחזקה וחימום של מצעים של מוליכים למחצה במהלך תהליכי ייצור כמו תהליכי שיקוע או אפיטקסיה.
המבנה שלו כולל בדרך כלל צורה גלילית או מעט חביתית, פני השטח כוללים כיסים או פלטפורמות מרובות להנחת הוופלים, והוא יכול להיות בעיצוב מוצק או חלול, בהתאם לשיטת החימום.
הפונקציות העיקריות של תופסן חבית אפיטקסיאלי:
1. נשא פרוסות ובקרת טמפרטורה
משטח הספספקטור מתוכנן עם מספר כיסי פרוסות (כגון סידור משושה או מתומן), שיכולים לתמוך ב-6-15 פרוסות בו זמנית. מוליכות תרמית גבוהה של גרפיט בעל טוהר גבוה (120-150W/mK) מבטיחה העברת חום מהירה, בשילוב עם פונקציית סיבוב (5-20 סל"ד), וכתוצאה מכך סטיית טמפרטורת פני השטח של פרוסות של <± 1 ℃ ואחידות עובי שכבת האפיטקסיאלית של <1%.
2. אופטימיזציה של כיוון זרימת גז המגיב
המיקרו-מבנה של פני השטח של הסוספטור יכול לשבור את אפקט שכבת הגבול, מה שמאפשר פיזור אחיד של גזי תגובה (כגון SiH4, NH3) ולשפר את עקביות קצב השיקוע.
3. הגנה מפני זיהום וקורוזיה
מצעי גרפיט נוטים להתפרק ולשחרר זיהומים מתכתיים (כגון Fe, Ni) בטמפרטורות גבוהות, בעוד שציפוי CVD SiC בעובי 100 מיקרון יכול ליצור מחסום צפוף כדי לדכא את התנדפות הגרפיט, וכתוצאה מכך שיעור פגמים בפרוסות סיליקון של <0.1 פגמים/סמ"ר.
יישומים:
-משמש בעיקר לגידול אפיטקסיאלי של סיליקון
-ישים גם לאפיטקסיה של חומרי מוליכים למחצה אחרים כמו GaAs, InP וכו'.
VET Energy משתמשת בגרפיט בעל טוהר גבוה עם ציפוי CVD-SiC כדי לשפר את היציבות הכימית:
1. חומר גרפיט טוהר גבוה
מוליכות תרמית גבוהה: מוליכות התרמית של גרפיט היא פי שלושה מזו של סיליקון, שיכולה להעביר חום במהירות ממקור החימום לפרוסת החימום ולקצר את זמן החימום.
חוזק מכני: צפיפות גרפיט בלחץ איזוסטטי ≥ 1.85 גרם/סמ"ק, עמידה בטמפרטורות גבוהות מעל 1200 ℃ ללא עיוות.
2. ציפוי CVD SiC
שכבת β-SiC נוצרת על פני השטח של גרפיט על ידי שקיעת אדים כימית (CVD), עם טוהר של ≥ 99.99995%, שגיאת האחידות של עובי הציפוי קטנה מ-±5%, וחספוס פני השטח קטן מ-Ra0.5um.
3. שיפור ביצועים:
עמידות בפני קורוזיה: עמידה בגזים קורוזיביים חזקים כמו Cl2, HCl וכו', יכולה להאריך את תוחלת החיים של אפיטקסיה של GaN פי שלושה בסביבת NH3.
יציבות תרמית: מקדם ההתפשטות התרמית (4.5 × 10-6/℃) תואם את הגרפיט כדי למנוע סדקים בציפוי הנגרמים מתנודות טמפרטורה.
קשיות ועמידות בפני שחיקה: קשיות ויקרס מגיעה ל-28 GPa, שהיא גבוהה פי 10 מגרפיט ויכולה להפחית את הסיכון לשריטות פרוסות סיליקון.
| מחלות לב וכלי דם SiC薄膜基本物理性能 תכונות פיזיקליות בסיסיות של CVD SiCשִׁכבָה | |
| 性质 / נכס | 典型数值 / ערך טיפוסי |
| 晶体结构 מבנה גבישי | שלב β של FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 צפיפות | 3.21 גרם/סמ"ק |
| 硬度 קשיות | 2500 维氏硬度（עומס של 500 גרם） |
| 晶粒大小 גודל גרגרים | 2~10 מיקרומטר |
| 纯度 טוהר כימי | 99.99995% |
| 热容 קיבולת חום | 640 ג'ול·ק"ג-1·K-1 |
| 升华温度 טמפרטורת סובלימציה | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 חוזק כיפוף | 415 מגה פסקל RT 4 נקודות |
| 杨氏模量 מודול יאנג | כיפוף 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| 导热系数 / תרמהלמוֹלִיכוּת | 300 וואט·מטר-1·K-1 |
| 热膨胀系数 התפשטות תרמית (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd היא מפעל היי-טק המתמקד בפיתוח וייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה. החומרים והטכנולוגיה כוללים גרפיט, סיליקון קרביד, קרמיקה, טיפולי שטח כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. מוצרים אלה נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ופיתח מספר טכנולוגיות פטנטיות כדי להבטיח ביצועי מוצר ואיכות, ויכול גם לספק ללקוחות פתרונות חומרים מקצועיים.
