Епитаксијален Епи графит барел чувствител

Епитаксијален Епи графит барел чувствител

Епитаксијален Епи графит барел чувствителе специјално дизајниран уред за поддршка и греење што се користи за држење и загревање на полупроводнички подлоги за време на производствени процеси како што се процесите на депозиција или епитаксија.

Неговата структура вклучува типично цилиндрична или малку буреста, површината се карактеризира со повеќе џебови или платформи за поставување на плочки, а може да биде цврста или шуплива, во зависност од методот на загревање.

Главните функции на епитаксијалниот цилиндричен сусцептор:

1. Носач на плочки и контрола на температурата
Површината на сусцепторот е дизајнирана со повеќе џебови од плочки (како што се хексагонални или октагонални), кои можат да издржат 6-15 плочки истовремено. Високата топлинска спроводливост на графитот со висока чистота (120-150W/mK) обезбедува брз пренос на топлина, во комбинација со функцијата на ротација (5-20 вртежи во минута), што резултира со отстапување на температурата на површината на плочките од <± 1 ℃ и униформност на дебелината на епитаксијалниот слој од <1%.

2. Оптимизација на насоката на проток на реактантен гас
Микроструктурата на површината на сусцепторот може да го наруши ефектот на граничниот слој, овозможувајќи рамномерна распределба на реакциските гасови (како што се SiH4, NH3) и подобрување на конзистентноста на брзината на таложење.

3. Заштита од загадување и антикорозија
Графитните подлоги се склони кон распаѓање и ослободуваат метални нечистотии (како што се Fe, Ni) на високи температури, додека CVD SiC премаз со дебелина од 100 μm може да формира густа бариера за да ја потисне испарувањето на графитот, што резултира со стапка на дефекти на плочката од <0,1 дефекти/cm².

Апликации:
-Првенствено се користи за силиконски епитаксијален раст
- Исто така, применливо за епитаксија на други полупроводнички материјали како GaAs, InP, итн.

VET Energy користи графит со висока чистота со CVD-SiC облога за подобрување на хемиската стабилност:

1. Графитен материјал со висока чистота
Висока топлинска спроводливост: топлинската спроводливост на графитот е три пати поголема од онаа на силициумот, што може брзо да ја пренесе топлината од изворот на греење до плочата и да го скрати времето на загревање.
Механичка цврстина: Густина на графит под изостатски притисок ≥ 1,85 g/cm³, способна да издржи високи температури над 1200 ℃ без деформација.

2. CVD SiC облога
На површината на графитот се формира слој од β-SiC со хемиско таложење на пареа (CVD), со чистота од ≥ 99,99995%, грешката на униформност на дебелината на облогата е помала од ± 5%, а површинската грубост е помала од Ra0,5um.

3. Подобрување на перформансите:
Отпорност на корозија: може да издржи високо корозивни гасови како што се Cl2, HCl итн., може да го продолжи животниот век на GaN епитаксија за три пати во NH3 средина.
Термичка стабилност: Коефициентот на термичка експанзија (4,5 × 10-6/℃) е соодветен на графитот за да се избегне пукање на облогата предизвикано од температурни флуктуации.
Тврдина и отпорност на абење: Викерсовата тврдост достигнува 28 GPa, што е 10 пати поголема од графитот и може да го намали ризикот од гребнатини на плочката.