Epitaksiaalinen Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaksiaalinen Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaksiaalinen Epi Graphite Barrel Susceptoron erityisesti suunniteltu tuki- ja lämmityslaite, jota käytetään puolijohdealustojen pitämiseen ja lämmittämiseen valmistusprosessien, kuten laskeutumis- tai epitaksiaprosessien, aikana.

Sen rakenne on tyypillisesti sylinterimäinen tai hieman tynnyrinmuotoinen, pinnalla on useita taskuja tai alustoja kiekkojen asettamista varten, ja se voi olla umpinainen tai ontto rakenne lämmitysmenetelmästä riippuen.

Epitaksiaalisen tynnyrisuskeptorin päätoiminnot:

1. Kiekkojen kantoaine ja lämpötilan säätö
Suskeptoripinta on suunniteltu useilla kiekkotaskuilla (kuten kuusikulmaisella tai kahdeksankulmaisella järjestelyllä), jotka voivat tukea 6–15 kiekkoa samanaikaisesti. Korkean puhtauden grafiitin korkea lämmönjohtavuus (120–150 W/mK) varmistaa nopean lämmönsiirron, ja yhdistettynä pyörimistoimintoon (5–20 RPM) tuloksena kiekon pinnan lämpötilapoikkeama on <± 1 ℃ ja epitaksiaalisen kerroksen paksuuden tasaisuus <1 %.

2. Reagenssikaasun virtaussuunnan optimointi
Suskeptorin pinnan mikrorakenne voi rikkoa rajakerrosvaikutuksen, mikä mahdollistaa reaktiokaasujen (kuten SiH4, NH3) tasaisen jakautumisen ja parantaa laskeutumisnopeuden tasaisuutta.

3. Saastumisen ja korroosion esto
Grafiittialustat hajoavat helposti ja vapauttavat metallisia epäpuhtauksia (kuten Fe, Ni) korkeissa lämpötiloissa, kun taas 100 μm paksu CVD-piikarbidipinnoite voi muodostaa tiheän esteen grafiitin haihtumisen estämiseksi, mikä johtaa kiekkojen virheasteeseen <0,1 virhettä/cm².

Sovellukset:
-Käytetään ensisijaisesti piin epitaksiaaliseen kasvuun
-Soveltuu myös muiden puolijohdemateriaalien, kuten GaAs:n, InP:n jne. epitaksiaan

VET Energy käyttää erittäin puhdasta grafiittia ja CVD-SiC-pinnoitetta kemiallisen stabiilisuuden parantamiseksi:

1. Erittäin puhdasta grafiittimateriaalia
Korkea lämmönjohtavuus: grafiitin lämmönjohtavuus on kolme kertaa suurempi kuin piin, mikä voi nopeasti siirtää lämpöä lämmönlähteestä kiekkoon ja lyhentää lämmitysaikaa.
Mekaaninen lujuus: Isostaattinen paine, grafiittitiheys ≥ 1,85 g/cm³, kestää yli 1200 ℃:n korkeita lämpötiloja ilman muodonmuutoksia.

2. CVD-piikarbidipinnoite
Kemiallisella höyrypinnoituksella (CVD) grafiitin pinnalle muodostuu β-SiC-kerros, jonka puhtaus on ≥ 99,99995 %, pinnoitteen paksuuden tasaisuusvirhe on alle ± 5 % ja pinnan karheus on alle Ra0,5 μm.

3. Suorituskyvyn parantaminen:
Korroosionkestävyys: kestää voimakkaasti syövyttäviä kaasuja, kuten Cl2:ta, HCl:a jne., ja voi pidentää GaN-epitaksian käyttöikää kolminkertaiseksi NH3-ympäristössä.
Lämpöstabiilius: Lämpölaajenemiskerroin (4,5 × 10-6/℃) vastaa grafiittia, mikä estää lämpötilanvaihteluiden aiheuttaman pinnoitteen halkeilun.
Kovuus ja kulutuskestävyys: Vickers-kovuus saavuttaa 28 GPa:n, mikä on 10 kertaa suurempi kuin grafiitilla ja voi vähentää kiekkojen naarmuuntumisriskiä.