Эпитаксиаль Эпи Графит Баррель Суссепторы

Эпитаксиаль Эпи Графит Баррель Суссепторы

Эпитаксиаль Эпи Графит Баррель Суссепторы- җитештерү процесслары вакытында, мәсәлән, депозиция яки эпитаксия процесслары вакытында ярымүткәргеч субстратларны тоту һәм җылыту өчен кулланыла торган махсус эшләнгән терәк һәм җылыту җайланмасы.

Аның структурасы гадәттә цилиндрик яки бераз мичкә формасындагы, өслеге пластиналарны урнаштыру өчен берничә кесә яки платформа белән аерылып тора, җылыту ысулына карап, каты яки куыш конструкцияле булырга мөмкин.

Эпитаксиаль мичкә сусцепторының төп функцияләре:

1. Вафли ташучы һәм температураны контрольдә тоту
Сусептор өслеге берничә пластина кесәсе белән эшләнгән (мәсәлән, алты почмаклы яки сигез почмаклы урнаштыру), алар бер үк вакытта 6-15 пластинаны тота ала. Югары чисталыктагы графитның югары җылылык үткәрүчәнлеге (120-150 Вт/мК) әйләнү функциясе (5-20 RPM) белән берлектә җылылыкның тиз күчүен тәэмин итә, нәтиҗәдә пластина өслеге температурасының тайпылышы <± 1 ℃ һәм эпитаксиаль катлам калынлыгының тигезлеге <1% тәшкил итә.

2. Реагент газ агымы юнәлешен оптимальләштерү
Сусцептор өслегенең микроструктурасы чик катламы эффектын боза ала, реакция газларының (мәсәлән, SiH4, NH3) тигез таралуын тәэмин итә һәм утыру тизлегенең тотрыклылыгын яхшырта.

3. Пычрануга һәм коррозиягә каршы саклау
Графит субстратлары югары температурада таркалуга бирешәләр һәм металл катнашмаларын (мәсәлән, Fe, Ni) чыгаралар, ә 100 мкм калынлыктагы CVD SiC каплавы графитның парлануын бастыру өчен тыгыз киртә булдыра ала, нәтиҗәдә пластина дефектлары күрсәткече <0,1 дефект/см² тәшкил итә.

Кушымталар:
-Нигездә, кремний эпитаксиаль үсеше өчен кулланыла
-Шулай ук ​​GaAs, InP һ.б. кебек башка ярымүткәргеч материалларның эпитаксиясе өчен дә кулланыла.

VET Energy компаниясе химик тотрыклылыкны арттыру өчен CVD-SiC каплавы белән югары сафлыклы графит куллана:

1. Югары сафлыклы графит материалы
Югары җылылык үткәрүчәнлеге: графитның җылылык үткәрүчәнлеге кремнийныкыннан өч тапкыр артыграк, ул җылылык чыганагыннан пластинага тиз күчә һәм җылыту вакытын кыскарта ала.
Механик ныклык: Изостатик басымлы графит тыгызлыгы ≥ 1,85 г/см³, 1200 ℃ тан югары температураларга деформациясез чыдам.

2. CVD SiC каплавы
Графит өслегендә химик пар белән утырту (CVD) ярдәмендә β-SiC катламы барлыкка килә, аның сафлыгы ≥ 99.99995%, каплау калынлыгының тигезлек хатасы ±5% тан кимрәк, ә өслекнең тигезсезлеге Ra0.5um тан кимрәк.

3. Эш нәтиҗәлелеген яхшырту:
Коррозиягә чыдамлык: Cl2, HCl һ.б. кебек югары коррозик газларга чыдам, NH3 мохитендә GaN эпитаксиясенең гомерен өч тапкыр озайта ала.
Термик тотрыклылык: Термик киңәю коэффициенты (4.5 × 10-6/℃) температура тирбәнешләре аркасында каплау ярылуыннан саклану өчен графит белән туры килә.
Катылык һәм тузуга чыдамлык: Виккерс катылыгы 28 ГПа га җитә, бу графиттан 10 тапкыр югарырак һәм пластина тырналу куркынычын киметә ала.