Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel susceptorer sérhannað stuðnings- og hitunarbúnaður sem notaður er til að halda og hita hálfleiðaraundirlag við framleiðsluferla eins og útfellingar- eða epitaxíuferla.

Uppbygging þess er yfirleitt sívalningslaga eða örlítið tunnulaga, yfirborðið er með mörgum vösum eða pöllum til að setja skífurnar í, og getur verið heil eða hol, allt eftir hitunaraðferðinni.

Helstu aðgerðir epitaxial tunnu móttakara:

1. Vafraflutningsaðili og hitastýring
Yfirborð móttakarans er hannað með mörgum vasa fyrir skífur (eins og sexhyrndar eða áttahyrndar) sem geta stutt 6-15 skífur samtímis. Mikil varmaleiðni hágæða grafíts (120-150W/mK) tryggir hraðan varmaflutning, ásamt snúningsvirkni (5-20 snúningar á mínútu), sem leiðir til hitastigsfráviks á yfirborði skífunnar upp á <± 1 ℃ og einsleitni í þykkt epitaxiallagsins upp á <1%.

2. Hagnýting á flæðisstefnu hvarfefnisgassins
Örbygging yfirborðs viðnámsþolsins getur rofið áhrif mörklagsins, sem gerir kleift að dreifa hvarfgasi (eins og SiH4, NH3) jafnt og bæta samræmi útfellingarhraðans.

3. Mengunar- og tæringarvörn
Grafít undirlag er viðkvæmt fyrir niðurbroti og losar málmóhreinindi (eins og Fe, Ni) við hátt hitastig, en 100 μm þykk CVD SiC húðun getur myndað þétta hindrun til að bæla niður uppgufun grafíts, sem leiðir til gallatíðni í skífum sem er <0,1 galli/cm².

Umsóknir:
-Aðallega notað til vaxtar á kísillþráðum
-Einnig hentugt fyrir epitaxíu annarra hálfleiðaraefna eins og GaAs, InP, o.s.frv.

VET Energy notar hágæða grafít með CVD-SiC húðun til að auka efnafræðilegan stöðugleika:

1. Grafítefni með mikilli hreinleika
Hár hitaleiðni: Hitaleiðni grafíts er þrisvar sinnum meiri en hitaleiðni kísils, sem getur fljótt flutt hita frá hitagjafanum til skífunnar og stytt upphitunartímann.
Vélrænn styrkur: Grafítþéttleiki við ísóstatískan þrýsting ≥ 1,85 g/cm³, þolir háan hita yfir 1200 ℃ án þess að afmyndast.

2. CVD SiC húðun
β-SiC lag myndast á yfirborði grafíts með efnafræðilegri gufuútfellingu (CVD), með hreinleika ≥ 99,99995%, einsleitni skekkjunnar í húðþykkt er minni en ± 5% og yfirborðsgrófleiki er minni en Ra0,5um.

3. Árangursbætur:
Tæringarþol: þolir mjög tærandi lofttegundir eins og Cl2, HCl o.s.frv., getur þrefaldað líftíma GaN-epitaxis í NH3 umhverfi.
Hitastöðugleiki: Hitaþenslustuðullinn (4,5 × 10⁻⁶/℃) passar við grafít til að koma í veg fyrir sprungur í húð vegna hitasveiflna.
Hörku og slitþol: Vickers hörkustigið nær 28 GPa, sem er 10 sinnum hærra en grafít og getur dregið úr hættu á rispum á skífum.