الفوقي Epitaxial Graphite Barrel Susceptor
الفوقي Epitaxial Graphite Barrel Susceptorهو جهاز دعم وتسخين مصمم خصيصًا يستخدم لحمل وتسخين ركائز أشباه الموصلات أثناء عمليات التصنيع مثل عمليات الترسيب أو الترسيب الطبقي.
يتضمن هيكلها عادةً شكلاً أسطوانياً أو برميلياً قليلاً، وتتميز أسطحها بوجود جيوب أو منصات متعددة لوضع الرقائق، ويمكن أن يكون تصميمها صلباً أو مجوفاً، وذلك حسب طريقة التسخين.
الوظائف الرئيسية للمستقبل البرميلي فوق المحوري:
1. حامل الرقاقة والتحكم في درجة الحرارة
صُمم سطح الحامل بجيوب متعددة للرقاقات (مثل الترتيب السداسي أو الثماني)، مما يسمح بدعم من 6 إلى 15 رقاقة في آن واحد. تضمن الموصلية الحرارية العالية للجرافيت عالي النقاء (120-150 واط/متر.كلفن) نقلًا سريعًا للحرارة، بالإضافة إلى وظيفة الدوران (5-20 دورة في الدقيقة)، مما ينتج عنه انحراف في درجة حرارة سطح الرقاقة أقل من ± 1 درجة مئوية، وتجانس في سمك الطبقة المترسبة أقل من 1%.
2. تحسين اتجاه تدفق غاز المتفاعل
يمكن للبنية المجهرية لسطح المستقبل أن تكسر تأثير الطبقة الحدية، مما يسمح بالتوزيع المنتظم لغازات التفاعل (مثل SiH4 و NH3) وتحسين اتساق معدل الترسيب.
3. الحماية من التلوث والتآكل
تكون ركائز الجرافيت عرضة للتحلل وإطلاق شوائب معدنية (مثل الحديد والنيكل) عند درجات الحرارة العالية، في حين أن طبقة كربيد السيليكون المترسب كيميائياً من البخار بسمك 100 ميكرومتر يمكن أن تشكل حاجزًا كثيفًا لقمع تطاير الجرافيت، مما يؤدي إلى معدل عيوب الرقاقة أقل من 0.1 عيب/سم².
التطبيقات:
- يستخدم بشكل أساسي لنمو طبقات السيليكون المترسبة
- ينطبق أيضًا على الترسيب الطبقي لمواد أشباه الموصلات الأخرى مثل GaAs و InP وما إلى ذلك.
تستخدم شركة VET Energy الجرافيت عالي النقاء مع طلاء CVD-SiC لتعزيز الاستقرار الكيميائي:
1. مادة جرافيت عالية النقاء
الموصلية الحرارية العالية: الموصلية الحرارية للجرافيت ثلاثة أضعاف الموصلية الحرارية للسيليكون، مما يسمح بنقل الحرارة بسرعة من مصدر التسخين إلى الرقاقة وتقصير وقت التسخين.
القوة الميكانيكية: كثافة الجرافيت تحت الضغط المتساوي ≥ 1.85 جم/سم³، قادرة على تحمل درجات حرارة عالية تزيد عن 1200 درجة مئوية دون تشوه.
2. طلاء كربيد السيليكون بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار
يتم تشكيل طبقة β - SiC على سطح الجرافيت عن طريق الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، بنقاء ≥ 99.99995%، وخطأ توحيد سمك الطلاء أقل من ±5%، وخشونة السطح أقل من Ra0.5um.
3. تحسين الأداء:
مقاومة التآكل: يمكنها تحمل الغازات المسببة للتآكل بشدة مثل Cl2 و HCl وما إلى ذلك، ويمكنها إطالة عمر طبقة GaN بمقدار ثلاثة أضعاف في بيئة NH3.
الاستقرار الحراري: يتطابق معامل التمدد الحراري (4.5 × 10-6/℃) مع الجرافيت لتجنب تشقق الطلاء الناتج عن تقلبات درجة الحرارة.
الصلابة ومقاومة التآكل: تصل صلابة فيكرز إلى 28 جيجا باسكال، وهو أعلى بعشر مرات من الجرافيت ويمكن أن يقلل من خطر خدش الرقاقة.
| أمراض القلب والأوعية الدموية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / البنية البلورية | الطور β ذو التركيب المكعب المتمركز على الوجوه多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم³ |
| نعم الصلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| شكرا جزيلا حجم الحبوب | 2~10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول/كجم-1·ك-1 |
| 升华温度 درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانحناء | 415 ميجا باسكال RT 4-point |
| 杨氏模量 معامل يونغ | انحناء 430 جيجا باسكال، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط/متر-1·ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
شركة نينغبو فيت لتكنولوجيا الطاقة المحدودة هي شركة ذات تقنية عالية تركز على تطوير وإنتاج مواد متطورة عالية الجودة، وتشمل المواد والتكنولوجيا الجرافيت وكربيد السيليكون والسيراميك ومعالجة الأسطح مثل طلاء SiC وطلاء TaC وطلاء الكربون الزجاجي وطلاء الكربون المحلل حرارياً، وما إلى ذلك، وتستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الخلايا الكهروضوئية وأشباه الموصلات والطاقة الجديدة والمعادن، وما إلى ذلك.
يتألف فريقنا التقني من أفضل المؤسسات البحثية المحلية، وقد طور العديد من التقنيات الحاصلة على براءات اختراع لضمان أداء المنتج وجودته، كما يمكنه تزويد العملاء بحلول مواد احترافية.
