Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorhe taputapu tautoko me te whakamahana i hangaia hei pupuri me te whakamahana i nga taputapu semiconductor i te wa o nga mahi whakangao penei i nga tukanga Deposition, Epitaxy ranei.

Kei roto i tona hanganga he porotakaroa, he paku paku ranei te ahua o te ahua, he maha nga pukoro, papaapapa ranei mo te whakatakoto i nga angiangi, he ahua totoka, he kowhao ranei, i runga i te tikanga whakamahana.

Ko nga mahi matua o te epitaxial barrel susceptor:

1. Kaikawe Wafer me te Mana Pamahana
Ko te mata susceptor he mea hoahoa ki nga pukoro angiangi maha (pēnei i te whakaritenga hexagonal, octagonal ranei), ka taea te tautoko i nga wafers 6-15 i te wa kotahi. Ko te kaha o te waiariki teitei o te graphite parakore-nui (120-150W/mK) e whakarite ana i te whakawhiti wera tere, me te mahi hurihanga (5-20 RPM), ka puta mai he rereketanga o te mahana o te mata angiangi o<± 1 ℃ me te paparanga epitaxial matotoru o te<1%.

2. Te arotautanga o te aronga rere hau reactant
Ka taea e te hangahanga moroiti o te mata susceptor te pakaru i te paanga o te paparanga rohe, ka taea te tohatoha rite o nga hau tauhohenga (penei i te SiH4, NH3) me te whakapai ake i te riterite o te reiti waipara.

3. Anti pollution me te tiaki anti-corrosion
Ko nga taputapu kauwhata he ngawari ki te pirau me te tuku i nga poke whakarewa (pēnei i te Fe,Ni) i te pāmahana teitei, i te mea ka taea e te paninga CVD SiC 100μm te matotoru te hanga i tetahi arai matotoru hei pehi i te huahua kauwhata, ka puta he reiti koha angiangi o<0.1 koha/cm ².

Nga tono:
-I whakamahia tuatahi mo te tipu epitaxial silicon
-E tika ana hoki mo te epitaxy o etahi atu rauemi semiconductor penei i a GaAs, InP, etc.

Ko te VET Energy te whakamahi i te kauwhata parakore teitei me te paninga CVD-SiC hei whakarei ake i te pumau matū:

1. High parakore graphite rauemi
Te kaha o te waiariki: ko te whakamaarama wera o te graphite e toru nga wa o te silicon, ka tere te whakawhiti i te wera mai i te puna whakawera ki te angiangi me te whakapoto i te wa whakamahana.
Te kaha o te miihini: te pehanga graphite kiato ≥ 1.85 g/cm ³, he kaha ki te tu atu i nga wera teitei i runga ake i te 1200 ℃ me te kore he rereke.

2. CVD SiC paninga
He paparanga β - SiC ka hangaia i runga i te mata o te graphite e te waipara matū matū (CVD), me te ma o ≥ 99.99995%, he iti iho i te ± 5% te hapa riterite o te matotoru paninga, a he iti iho te taratara o te mata i te Ra0.5um.

3. Te whakapai ake i te mahinga:
Te parenga o te waikura: ka taea te tu atu i nga hau kino nui penei i te Cl2, HCl, me etahi atu, ka taea te whakaroa i te roanga o te GaN epitaxy e toru nga wa i te taiao NH3.
Te pūmautanga o te waiariki: Ko te whakarea o te roha waiariki (4.5 × 10-6/℃) ka rite ki te kauwhata hei karo i te pakaru o te paninga na te rerekee o te pāmahana.
Te Maamaa me te Whakaaetanga Kaahu: Ka eke te pakeke o Vickers ki te 28 GPa, he 10 nga wa teitei ake i te kauwhata ka taea te whakaiti i te tupono o nga rakuraku angiangi.