Epitaksial epi grafit barrel ushlagichi

Epitaksial epi grafit barrel ushlagichi

Epitaksial epi grafit barrel ushlagichiCho'ktirish yoki Epitaksiya jarayonlari kabi ishlab chiqarish jarayonlarida yarimo'tkazgich substratlarini ushlab turish va isitish uchun ishlatiladigan maxsus ishlab chiqilgan tayanch va isitish moslamasi.

Uning tuzilishi odatda silindrsimon yoki biroz barrel shaklidagi, yuzasida gofretlarni joylashtirish uchun bir nechta cho'ntaklar yoki platformalar mavjud bo'lib, isitish usuliga qarab qattiq yoki ichi bo'sh dizaynga ega bo'lishi mumkin.

Epitaksial barrel susceptorining asosiy funktsiyalari:

1. Gofret tashuvchisi va haroratni boshqarish
Suseptor yuzasi bir vaqtning o'zida 6-15 ta plastinkani ushlab turishi mumkin bo'lgan bir nechta plastinka cho'ntaklari (masalan, olti burchakli yoki sakkizburchakli joylashuv) bilan ishlab chiqilgan. Yuqori toza grafitning yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi (120-150 Vt/mK) aylanish funktsiyasi (5-20 RPM) bilan birgalikda tez issiqlik uzatilishini ta'minlaydi, natijada plastinka yuzasi haroratining <± 1 ℃ va epitaksial qatlam qalinligining bir xilligi <1% ni tashkil qiladi.

2. Reaktiv gaz oqimi yo'nalishini optimallashtirish
Suseptor yuzasining mikrotuzilishi chegara qatlami effektini buzishi mumkin, bu reaksiya gazlarining (masalan, SiH4, NH3) bir tekis taqsimlanishini ta'minlaydi va cho'kish tezligining izchilligini yaxshilaydi.

3. Ifloslanishga qarshi va korroziyaga qarshi himoya
Grafit substratlari parchalanishga moyil bo'lib, yuqori haroratlarda metall aralashmalarini (masalan, Fe, Ni) chiqaradi, 100 mkm qalinlikdagi CVD SiC qoplamasi esa grafitning uchuvchanligini bostirish uchun zich to'siq hosil qilishi mumkin, natijada plastinka nuqsoni darajasi <0,1 nuqson/sm² ga teng.

Ilovalar:
-Asosan kremniy epitaksial o'sishi uchun ishlatiladi
- GaAs, InP va boshqalar kabi boshqa yarimo'tkazgich materiallarining epitaksiyasi uchun ham qo'llaniladi.

VET Energy kimyoviy barqarorlikni oshirish uchun CVD-SiC qoplamali yuqori tozalikdagi grafitdan foydalanadi:

1. Yuqori tozalikdagi grafit materiali
Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi: grafitning issiqlik o'tkazuvchanligi kremniynikidan uch baravar yuqori, bu esa issiqlikni isitish manbasidan gofretga tezda o'tkazishi va isitish vaqtini qisqartirishi mumkin.
Mexanik mustahkamlik: Izostatik bosimli grafit zichligi ≥ 1,85 g/sm³, 1200 ℃ dan yuqori yuqori haroratlarga deformatsiyasiz bardosh bera oladi.

2. CVD SiC qoplamasi
Grafit yuzasida kimyoviy bug' cho'ktirish (CVD) orqali β-SiC qatlami hosil bo'ladi, uning sofligi ≥ 99.99995%, qoplama qalinligining bir xillik xatosi ± 5% dan kam va sirt pürüzlülüğü Ra0.5um dan kam.

3. Ishlashni yaxshilash:
Korroziyaga chidamlilik: Cl2, HCl va boshqalar kabi yuqori korroziyali gazlarga bardosh bera oladi, NH3 muhitida GaN epitaksiyasining ishlash muddatini uch baravar uzaytirishi mumkin.
Issiqlik barqarorligi: Issiqlik kengayish koeffitsienti (4,5 × 10-6 / ℃) harorat o'zgarishi natijasida qoplamaning yorilishining oldini olish uchun grafitga mos keladi.
Qattiqlik va aşınmaya bardoshlilik: Vickers qattiqligi 28 GPa ga etadi, bu grafitdan 10 baravar yuqori va gofret tirnalish xavfini kamaytirishi mumkin.