Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцептору

Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцептору

Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцепторуДепозит же эпитаксия процесстери сыяктуу өндүрүш процесстеринде жарым өткөргүч субстраттарды кармап туруу жана жылытуу үчүн атайын иштелип чыккан колдоо жана жылытуу түзүлүш.

Анын түзүлүшү адатта цилиндр формасында же бир аз бочка формасында, үстүнкү өзгөчөлүктөр бир нече чөнтөктөрдү же пластиналарды жайгаштыруу үчүн аянтчаларды камтыйт, жылытуу ыкмасына жараша катуу же көңдөй дизайн болушу мүмкүн.

Эпитаксиалдык баррель сезгичтин негизги функциялары:

1. Вафли ташуучу жана температураны көзөмөлдөө
Сезгичтин бети бир эле учурда 6-15 пластинаны көтөрө ала турган бир нече пластинка чөнтөктөрү менен (мисалы, алты бурчтуу же сегиз бурчтуу жайгашуу) иштелип чыккан. Жогорку тазалыктагы графиттин жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү (120-150Вт/мК) айлануу функциясы (5-20 RPM) менен бирге тез жылуулук өткөрүүнү камсыздайт, натыйжада пластинка бетинин температурасынын <± 1 ℃ жана эпитаксиалдык катмардын калыңдыгынын бирдейлиги <1% түзөт.

2. Реактивдин газ агымынын багытын оптималдаштыруу
Сезгичтин бетинин микроструктурасы чек ара катмарынын эффектин бузуп, реакциялык газдардын (мисалы, SiH4, NH3) бирдей бөлүштүрүлүшүнө мүмкүндүк берет жана чөкүү ылдамдыгынын консистенциясын жакшыртат.

3. Анти булгануу жана анти-дат коргоо
Графиттин субстраттары жогорку температурада чирип, металл аралашмаларын (мисалы, Fe, Ni) бөлүп чыгарат, ал эми 100 мкм калыңдыктагы CVD SiC каптоо графиттин волатилизациясын басуу үчүн жыш тосмо түзө алат, натыйжада пластинка дефектинин ылдамдыгы <0,1 дефект/см² болот.

Тиркемелер:
-Биринчи кезекте кремний эпитаксиалдык өсүш үчүн колдонулат
-Ошондой эле GaAs, InP ж.

VET Energy химиялык туруктуулукту жогорулатуу үчүн CVD-SiC капталган жогорку тазалыктагы графитти колдонот:

1. Жогорку тазалыктагы графит материалы
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк: графиттин жылуулук өткөргүчтүгү кремнийдикинен үч эсе көп, ал жылуулукту жылытуу булагынан пластинкага тез өткөрүп, жылытуу убактысын кыскарта алат.
Механикалык күч: изостатикалык басымдын графит тыгыздыгы ≥ 1,85 г/см³, деформациясыз 1200 ℃ жогору жогорку температурага туруштук бере алат.

2. CVD SiC каптоо
Графиттин бетинде β - SiC катмары химиялык бууларды чөктүрүүдө (CVD) түзүлөт, тазалыгы ≥ 99,99995%, каптоо калыңдыгынын бир тектүү катасы ±5%тен аз, бетинин тегиздиги Ra0,5um кем.

3. Иштин натыйжалуулугун жогорулатуу:
Коррозияга туруштук берүү: Cl2, HCl, ж.
Жылуулук туруктуулугу: Термикалык кеңейүү коэффициенти (4,5 × 10-6 / ℃) графитке дал келет, бул температуранын өзгөрүшүнөн пайда болгон каптоо жаракаларын болтурбоо үчүн.
Катуулугу жана эскирүү туруктуулугу: Vickers катуулугу 28 GPa жетет, бул графиттен 10 эсе жогору жана пластинка чийилип калуу коркунучун азайтат.