Epitaksial Epi Qrafit Barrel Suseptoru

Epitaksial Epi Qrafit Barrel Suseptoru

Epitaksial Epi Qrafit Barrel SuseptoruÇökmə və ya Epitaksiya prosesləri kimi istehsal prosesləri zamanı yarımkeçirici substratları saxlamaq və qızdırmaq üçün istifadə olunan xüsusi hazırlanmış dayaq və qızdırıcı cihazdır.

Onun strukturu adətən silindrik və ya bir qədər barrel formalı, səth xüsusiyyətləri çoxlu ciblər və ya vaflilərin yerləşdirilməsi üçün platformalardan ibarətdir, istilik üsulundan asılı olaraq bərk və ya içi boş dizayn ola bilər.

Epitaksial çəllək həssasının əsas funksiyaları:

1. Gofret Daşıyıcısı və Temperatur Nəzarəti
Qəbuledici səth eyni vaxtda 6-15 vaflini dəstəkləyə bilən çoxlu vafli ciblərlə (məsələn, altıbucaqlı və ya səkkizbucaqlı yerləşdirmə) nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək təmizlikli qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi (120-150W/mK) fırlanma funksiyası (5-20 RPM) ilə birlikdə sürətli istilik ötürülməsini təmin edir, nəticədə vafli səthinin temperaturu<±1 ℃ sapma və epitaksial təbəqənin qalınlığının<1% bərabərliyi ilə nəticələnir.

2. Reaktiv qaz axını istiqamətinin optimallaşdırılması
Həssas səthin mikro strukturu sərhəd qatının təsirini poza bilər, reaksiya qazlarının (məsələn, SiH4, NH3 kimi) vahid paylanmasına imkan verir və çökmə sürətinin konsistensiyasını yaxşılaşdırır.

3. Çirklənmə və korroziyaya qarşı qorunma
Qrafit substratları yüksək temperaturda parçalanmağa və metal çirkləri (məsələn, Fe, Ni) buraxmağa meyllidir, 100 μm qalınlığında CVD SiC örtüyü isə qrafitin uçuculuğunu boğmaq üçün sıx bir maneə yarada bilər, nəticədə vafli qüsur dərəcəsi <0,1 defekt/sm² olur.

Tətbiqlər:
-Əsasən silikon epitaksial artım üçün istifadə olunur
- GaAs, InP və s. kimi digər yarımkeçirici materialların epitaksisi üçün də tətbiq olunur.

VET Energy kimyəvi sabitliyi artırmaq üçün CVD-SiC örtüklü yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə edir:

1. Yüksək təmizlikli qrafit material
Yüksək istilik keçiriciliyi: qrafitin istilik keçiriciliyi silikondan üç dəfə yüksəkdir, bu da istilik mənbəyindən istiliyi tez bir zamanda vafliyə ötürə və istilik müddətini qısaldır.
Mexaniki güc: İzostatik təzyiqli qrafit sıxlığı ≥ 1,85 q/sm³, deformasiya olmadan 1200 ℃-dən yuxarı yüksək temperaturlara tab gətirə bilir.

2. CVD SiC örtüyü
Qrafitin səthində kimyəvi buxarın çökməsi (CVD) ilə β - SiC təbəqəsi əmələ gəlir, təmizliyi ≥ 99,99995%, örtük qalınlığının vahidlik xətası ±5% -dən azdır və səth pürüzlülüyü Ra0,5um-dan azdır.

3. Performansın təkmilləşdirilməsi:
Korroziyaya davamlılıq: Cl2, HCl və s. kimi yüksək aşındırıcı qazlara tab gətirə bilər, NH3 mühitində GaN epitaksinin ömrünü üç dəfə artıra bilər.
İstilik sabitliyi: İstilik genişlənmə əmsalı (4,5 × 10-6/℃) temperatur dəyişkənliyi nəticəsində örtük çatlamasının qarşısını almaq üçün qrafitlə uyğun gəlir.
Sərtlik və aşınma müqaviməti: Vickers sərtliyi 28 GPa-a çatır ki, bu da qrafitdən 10 dəfə yüksəkdir və vafli cızıqlar riskini azalda bilər.