Epitaksial Epi Qrafit Barrel Suseptoru

Epitaksial Epi Qrafit Barrel Suseptoru

Epitaksial Epi Qrafit Barrel SuseptoruÇökmə və ya Epitaksiya prosesləri kimi istehsal prosesləri zamanı yarımkeçirici substratları saxlamaq və qızdırmaq üçün istifadə olunan xüsusi hazırlanmış dayaq və istilik cihazıdır.

Quruluşu adətən silindrik və ya bir qədər barel formalı, səthi lövhələrin yerləşdirilməsi üçün çoxlu cib və ya platforma xüsusiyyətlərinə malikdir, qızdırma üsulundan asılı olaraq bütöv və ya içi boş dizayna malik ola bilər.

Epitaksial barel susceptorunun əsas funksiyaları:

1. Vafli Daşıyıcısı və Temperatur Nəzarəti
Suseptor səthi eyni vaxtda 6-15 lövhəni saxlaya bilən çoxsaylı lövhə cibləri (məsələn, altıbucaqlı və ya səkkizbucaqlı düzülüş) ilə hazırlanmışdır. Yüksək təmizlikli qrafitin yüksək istilik keçiriciliyi (120-150 Vt/mK) fırlanma funksiyası (5-20 dövr/dəq) ilə birlikdə sürətli istilik ötürülməsini təmin edir və lövhə səthinin temperatur sapması <± 1 ℃ və epitaksial təbəqə qalınlığının vahidliyi <1% olur.

2. Reaktiv qaz axını istiqamətinin optimallaşdırılması
Suseptor səthinin mikrostrukturu sərhəd təbəqəsi effektini poza bilər, reaksiya qazlarının (məsələn, SiH4, NH3) vahid paylanmasına imkan verir və çökmə sürətinin ardıcıllığını artırır.

3. Çirklənməyə və korroziyaya qarşı qorunma
Qrafit substratları parçalanmağa meyllidir və yüksək temperaturda metal çirklərini (məsələn, Fe, Ni) buraxır, 100 μm qalınlığında CVD SiC örtüyü isə qrafitin buxarlanmasının qarşısını almaq üçün sıx bir maneə yarada bilər və nəticədə lövhə qüsuru nisbəti <0,1 qüsur/sm² olur.

Tətbiqlər:
-Əsasən silikon epitaksial böyüməsi üçün istifadə olunur
-Həmçinin GaAs, InP və s. kimi digər yarımkeçirici materialların epitaksisi üçün də tətbiq olunur.

VET Energy, kimyəvi stabilliyi artırmaq üçün CVD-SiC örtüklü yüksək təmizlikli qrafitdən istifadə edir:

1. Yüksək təmizlikli qrafit materialı
Yüksək istilik keçiriciliyi: qrafitin istilik keçiriciliyi silikondan üç dəfə çoxdur, bu da istiliyi istilik mənbəyindən lövhəyə tez bir zamanda ötürə və istilik müddətini qısalda bilər.
Mexaniki möhkəmlik: İzostatik təzyiqli qrafit sıxlığı ≥ 1.85 q/sm³, deformasiya olmadan 1200 ℃-dən yuxarı yüksək temperaturlara davam gətirə bilir.

2. CVD SiC örtüyü
Qrafitin səthində kimyəvi buxar çöküntüsü (CVD) ilə β-SiC təbəqəsi əmələ gəlir, təmizliyi ≥ 99.99995%, örtük qalınlığının vahidlik xətası ± 5%-dən az, səth pürüzlülüyü isə Ra0.5um-dan azdır.

3. Performansın yaxşılaşdırılması:
Korroziyaya davamlılıq: Cl2, HCl və s. kimi yüksək korroziyalı qazlara davam gətirə bilir, NH3 mühitində GaN epitaksiyasının ömrünü üç dəfə uzada bilər.
İstilik stabilliyi: İstilik genişlənmə əmsalı (4.5 × 10-6/℃) temperatur dalğalanmalarından qaynaqlanan örtük çatlamasının qarşısını almaq üçün qrafitlə uyğunlaşır.
Sərtlik və aşınmaya davamlılıq: Vickers sərtliyi 28 GPa-ya çatır ki, bu da qrafitdən 10 dəfə yüksəkdir və lövhə cızıqları riskini azalda bilər.