Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptorچۆكمە ياكى Epitaxy جەريانلىرىغا ئوخشاش ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا يېرىم ئۆتكۈزگۈچنىڭ ئاستى قىسمىنى ساقلاش ۋە قىزىتىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدىغان ئالاھىدە لايىھەلەنگەن قوللاش ۋە ئىسسىتىش ئۈسكۈنىسى.

ئۇنىڭ قۇرۇلمىسى ئادەتتە سىلىندىرلىق ياكى ئازراق تۇڭ شەكىللىك ، يۈزىدە كۆپ خالتا ياكى ۋافېر ئورۇنلاشتۇرىدىغان سۇپىلار بار ، ئىسسىنىش ئۇسۇلىغا ئاساسەن قاتتىق ياكى كاۋاك لايىھىلەنگەن بولىدۇ.

تۇتقاقلىق تۇڭ سۈمۈرگۈچنىڭ ئاساسلىق ئىقتىدارلىرى:

1. ۋافېر توشۇغۇچى ۋە تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش
سېزىمچان يۈزى كۆپ ۋافېرلىق يانچۇق بىلەن لايىھەلەنگەن (مەسىلەن ئالتە تەرەپلىك ياكى سەككىز بۇلۇڭلۇق ئورۇنلاشتۇرۇش) ، بىرلا ۋاقىتتا 6-15 ۋافېرنى قوللىيالايدۇ. يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافتنىڭ يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى (120-150W / mK) تېز ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشكە كاپالەتلىك قىلىدۇ ، ئايلىنىش ئىقتىدارى (5-20 RPM) بىلەن بىرلەشتۈرۈلۈپ ، يەر يۈزىنىڭ تېمپېراتۇرىسى <± 1 of تۆۋەنلەيدۇ ، يەر يۈزى قەۋىتىنىڭ قېلىنلىقى <1%.

2. رېئاكتىپلىق گاز ئېقىش يۆنىلىشىنى ئەلالاشتۇرۇش
سېزىمچان يۈزىنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسى چېگرا قەۋىتىنىڭ ئېففېكتىنى بۇزۇپ تاشلاپ ، رېئاكسىيە گازىنىڭ (SiH4 ، NH3 غا ئوخشاش) تەڭ تارقىلىشىغا ۋە چۆكۈش نىسبىتىنىڭ بىردەكلىكىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.

3. بۇلغىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە چىرىشنىڭ ئالدىنى ئېلىش
گرافت مېتروسى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا پارچىلىنىپ ، مېتال بۇلغانمىلارنى (Fe ، Ni غا ئوخشاش) قويۇپ بېرىدۇ ، ھالبۇكى 100 مىللىمېتىر قېلىنلىقتىكى CVD SiC قاپلاش قويۇق توساق ھاسىل قىلىپ ، گرافتنىڭ تەۋرىنىشىنى تىزگىنلەيدۇ ، نەتىجىدە كەمتۈكلۈك نىسبىتى <0.1 كەمتۈك / cm in.

قوللىنىشچان پروگراممىلار:
-كۆپرەك كرېمنىينىڭ ئېپتىسىيسىمان ئۆسۈشىگە ئىشلىتىلىدۇ
-GaAs ، InP قاتارلىق باشقا يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىياللارنىڭ تارقىلىشچانلىقىغىمۇ ماس كېلىدۇ.

VET ئېنىرگىيىسى CVD-SiC سىر بىلەن يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافتنى ئىشلىتىپ خىمىيىلىك مۇقىملىقنى ئاشۇرىدۇ:

1. يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافت ماتېرىيالى
يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى: گرافتنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى كرېمنىينىڭ ئۈچ ھەسسىسىگە تەڭ ، ئۇ ئىسسىقلىق مەنبەسىدىن تېزلىكتە ۋافېرغا يۆتكىلىپ ، ئىسسىنىش ۋاقتىنى قىسقارتالايدۇ.
مېخانىكىلىق كۈچ: ئىزوتاتىك بېسىم گرافتنىڭ زىچلىقى ≥ 1.85 g / cm ³ ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا 1200 above دىن يۇقىرى بولغان ئۆزگىرىشچانلىقىغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ.

2. CVD SiC سىر
A - SiC قەۋىتى گرافتنىڭ يۈزىدە خىمىيىلىك پارنىڭ چۆكۈشى (CVD) ئارقىلىق شەكىللەنگەن ، ساپلىقى% 99.99995 ، سىر قېلىنلىقىنىڭ بىردەكلىكى% 5 كىمۇ يەتمەيدۇ ، يەر يۈزىنىڭ يىرىكلىكى Ra0.5um دىن تۆۋەن.

3. ئىقتىدارنى ياخشىلاش:
چىرىشكە چىداملىق: Cl2 ، HCl قاتارلىق يۇقىرى چىرىتىشچان گازلارغا بەرداشلىق بېرەلەيدۇ ، NH3 مۇھىتىدا GaN يۇقۇملىنىشنىڭ ئۆمرىنى ئۈچ ھەسسە ئۇزارتالايدۇ.
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى: ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتى (4.5 × 10-6 / ℃) گرافت بىلەن ماسلىشىپ ، تېمپېراتۇرىنىڭ داۋالغۇشىدىن كېلىپ چىققان سىرنىڭ يېرىلىپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
قاتتىقلىق ۋە كىيىنىشكە قارشى تۇرۇش كۈچى: Vickers نىڭ قاتتىقلىقى 28 GPa غا يېتىدۇ ، بۇ گرافتتىن 10 ھەسسە يۇقىرى بولۇپ ، ۋافېر سىزىش خەۋپىنى تۆۋەنلىتىدۇ.