וואָס איז אַ MOCVD גראַפיט טאַץ?

וועיפער עפּיטאַקסיאַל וווּקס ווערט דערגרייכט דורך די מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) טעכנאָלאָגיע, אין וועלכער אולטראַ-ריינע גאַזן ווערן ינדזשעקטעד אין דעם רעאַקטאָר און פיין געמעסט, אַזוי אַז זיי פאַרבינדן זיך ביי עלעוואַטעד טעמפּעראַטורן צו פאַרשאַפן כעמישע ינטעראַקשאַנז און ווערן דעפּאַזיטירט אויף האַלב-קאָנדוקטאָר וועיפערס אין זייער דין אַטאָמישע לייַערס צו פאָרעם עפּיטאַקסי פון מאַטעריאַלס און קאַמפּאַונד האַלב-קאָנדוקטאָרן.

אין CVD עקוויפּמענט, קען מען נישט לייגן דעם סאַבסטראַט גלייך אויף מעטאַל אָדער פשוט אויף אַ באַזע פֿאַר עפּיטאַקסיאַל דעפּאָזיציע, ווײַל עס וועט ווערן באַאײַנפֿלוסט פֿון פֿיל פֿאַקטאָרן. דעריבער, איז אַ סאַסעפּטאָר אָדער טאַץ נויטיק צו האַלטן דעם סאַבסטראַט, און דערנאָך נוצן CVD טעכנאָלאָגיע צו דורכפֿירן עפּיטאַקסיאַל דעפּאָזיציע אויף דעם סאַבסטראַט. דער סאַסעפּטאָר איז אַ...MOCVD גראַפיט סאַסעפּטאָר(אויך גערופןMOCVD גראַפיט טאַץ).

איר סטרוקטור ווערט געוויזן אין דער בילד אונטן:

פארוואס דארף דער גראַפיט סאַסעפּטאָר CVD קאָוטינג?

דער גראַפיט סאַסעפּטאָר איז איינער פון די קערן קאָמפּאָנענטן אין MOCVD עקוויפּמענט. עס איז דער טרעגער און הייצונג עלעמענט פון דעם סאַבסטראַט. זייַנע פאָרשטעלונג פּאַראַמעטערס ווי טערמישע פעסטקייט און טערמישע איינהייטלעכקייט שפּילן אַ באַשטימענדיק ראָלע אין דער קוואַליטעט פון עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל וווּקס, און באַשטימען גלייך די איינהייטלעכקייט און ריינקייט פון עפּיטאַקסיאַל דין פילם מאַטעריאַלס. דעריבער, זיין קוואַליטעט אַפעקטירט גלייך די צוגרייטונג פון עפּיטאַקסיאַל וועיפערז. אין דער זעלביקער צייט, מיט דער פאַרגרעסערונג אין דער נומער פון ניצט און די ענדערונגען אין די אַרבעט באדינגונגען, איז עס זייער גרינג צו טראָגן און צערייסן, עס איז אַ קאָנסומאַבאַל. די ויסגעצייכנט טערמישע קאַנדאַקטיוויטי און פעסטקייט פון גראַפיט געבן עס אַ גרויס מייַלע ווי אַ באַזע קאָמפּאָנענט פון MOCVD עקוויפּמענט.

אבער, אויב עס איז נאר ריין גראפיט, וועלן זיין געוויסע פראבלעמען. אין דעם פראדוקציע פראצעס וועלן בלייבן איבערבלייבנדיקע קאראזיווע גאזן און מעטאל ארגאנישע מאטעריע, און דער גראפיט סוספעקטאָר וועט קאראדירן און אראפפאלן, וואס פארקלענערט שטארק די לעבנסדויער פון דעם גראפיט סוספעקטאָר. אין דער זעלבער צייט וועט דער פאלנדיקער גראפיט פודער אויך פאראורזאכן פארפעסטיקונג פון דעם וועיפער, ממילא דארפן די פראבלעמען ווערן געלייזט אין דעם צוגרייטונג פראצעס פון דער באזע. באדעקונג טעכנולוגיע קען צושטעלן אויבערפלאך פודער פיקסאציע, פארבעסערן טערמישע קאנדוקטיוויטעט, און באלאנסירן היץ פארשפרייטונג, און איז געווארן די הויפט טעכנולוגיע צו לייזן דעם פראבלעם.

לויט די אַפּליקאַציע סביבה און נוצן רעקווייערמענץ פון די גראַפיט באַזע, די ייבערפלאַך קאָוטינג זאָל האָבן די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:

1. הויכע געדיכטקייט און פולע קאַווערידזש:די גראַפיט באַזע איז אין אַ הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו אַרבעט סוויווע. די ייבערפלאַך מוז זיין גאָר באדעקט, און די קאָוטינג מוז האָבן אַ גוטע געדיכטקייט צו שפּילן אַ גוטע פּראַטעקטיוו ראָלע.

2. גוטע ייבערפלאַך פלאַכקייט:זינט די גראַפיט באַזע געניצט פֿאַר איין קריסטאַל וווּקס ריקווייערז אַ זייער הויך ייבערפלאַך פלאַךנאַס, מוז די אָריגינעל פלאַךנאַס פון די באַזע זיין מיינטיינד נאָך די קאָוטינג איז צוגעגרייט, דאָס הייסט, די קאָוטינג ייבערפלאַך מוז זיין גלייַך.

3. גוטע באַנדינג שטאַרקייט:רעדוצירן דעם חילוק אין טערמישן אויסברייטונג קאעפיציענט צווישן דער גראפיט באזע און דעם באדעק מאטעריאל קען עפעקטיוו פארבעסערן די פארבינדונג שטארקייט צווישן די צוויי. נאך דורכגיין הויכע און נידריגע טעמפעראטור טערמישע ציקלען, איז די באדעק נישט גרינג צו קראכן.

4. הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי:הויך-קוואַליטעט טשיפּ וווּקס ריקווייערז די גראַפיט באַזע צו צושטעלן שנעל און מונדיר היץ, אַזוי די קאָוטינג מאַטעריאַל זאָל האָבן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוויטי.

5. הויך שמעלץ פונקט, הויך טעמפּעראַטור אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל:די קאָוטינג זאָל קענען אַרבעטן סטאַביל אין אַ הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו אַרבעט סוויווע.

די טערמישע פעסטקייט, טערמישע איינהייטלעכקייט און אנדערע פאָרשטעלונג פּאַראַמעטערס פון דיSiC באדעקטע גראַפיט סאַסעפּטאָרשפּילן אַ באַשטימענדיק ראָלע אין דער קוואַליטעט פון עפּיטאַקסיאַל מאַטעריאַל וווּקס, אַזוי עס איז די האַרץ שליסל קאָמפּאָנענט פון MOCVD ויסריכט.

β-SiC (3C-SiC) קריסטאַל פֿאָרעם איז אויסגעקליבן ווי די קאָוטינג. קאַמפּערד מיט אַנדערע קריסטאַל פֿאָרמען, האט די קריסטאַל פֿאָרעם אַ סעריע פון ​​ויסגעצייכנטע אייגנשאַפֿטן ווי גוטע טערמאָדינאַמישע פעסטקייט, אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל און קעראָוזשאַן קעגנשטעל. אין דער זעלביקער צייט, האט עס אַ טערמישע קאַנדאַקטיוויטי וואָס איז באַסיקלי קאָנסיסטענט מיט יענער פון גראַפֿיט, אַזוי געבן די גראַפֿיט באַזע ספּעציעלע אייגנשאַפֿטן. עס קען עפֿעקטיוו סאָלווע די דורכפֿאַל פון די גראַפֿיט באַזע געפֿירט דורך הויך-טעמפּעראַטור אַקסאַדיישאַן און קעראָוזשאַן און פּודער אָנווער בעשאַס דינסט, און מאַכן די ייבערפלאַך פון די גראַפֿיט באַזע געדיכט, ניט-פּאָרעז, הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעליק, אַנטי-קעראָוזשאַן, אַנטי-אַקסאַדיישאַן און אנדערע קעראַקטעריסטיקס, אַזוי פֿאַרבעסערן די קריסטאַל עפּיטאַקסיאַל קוואַליטעט און די דינסט לעבן פון די גראַפֿיט באַזע (די דינסט לעבן פון די SiC קאָוטאַד גראַפֿיט באַזע איז געמאסטן אין אויוון).

ווי אזוי צו קלייבן MOCVD גראַפיט טאַץ/סאַסעפּטאָר וואָס איז קעגנשטעליק צו הויך טעמפּעראַטור און קעראָוזשאַן?

ווען מען קלייבט אויס אגראַפייט טאַץ אָדער סאַסעפּטאָר פֿאַר MOCVDוואָס איז קעגנשטעליק צו הויך טעמפּעראַטור קעראָוזשאַן, די פאלגענדע שליסל סיבות זאָל זיין באַטראַכט:

1. מאַטעריאַל ריינקייט:הויך-ריינקייט גראַפיט מאַטעריאַלן קענען בעסער אַנטקעגנשטעלנ זיך קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן ביי הויך טעמפּעראַטורן און רעדוצירן די פּראַל פון ימפּיוראַטיז אויף די דעפּאַזישאַן פּראָצעס.

2. געדיכטקייט און פּאָראָסיטי:גראַפיט טאַץ מיט הויך געדיכטקייט און נידעריק פּאָראָסיטי האָבן בעסער מעטשאַניקאַל שטאַרקייט און קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און קענען יפעקטיוולי פאַרמייַדן גאַז דורכדרינגונג און מאַטעריאַל יראָוזשאַן.

3. טערמישע קאַנדאַקטיוויטי:די הויך טערמישע קאַנדאַקטיוויטי גראַפיט טאַץ העלפּס צו יוואַנלי פאַרשפּרייטן היץ, רעדוצירן טערמישע דרוק, און פֿאַרבעסערן די פעסטקייט און דינסט לעבן פון די עקוויפּמענט.

4. ייבערפלאַך באַהאַנדלונג:גראַפיט פּאַלעטן וואָס האָבן דורכגעגאַנגען ספּעציעלע ייבערפלאַך באַהאַנדלונג, אַזאַ ווי קאָוטינג אָדער פּלייטינג, קענען ווייטער פֿאַרבעסערן זייער קעראָוזשאַן קעגנשטעל און טראָגן קעגנשטעל.

5. גרייס און פאָרעם:לויט די ספּעציפֿישע באדערפענישן פון די MOCVD עקוויפּמענט, אויסקלייבן די צונעמען גרייס און פאָרעם צו ענשור די קאַמפּאַטאַבילאַטי פון די טאַץ מיט די עקוויפּמענט און די קאַנוויניאַנס פון אָפּעראַציע.

6. פאַבריקאַנט'ס רעפּוטאַציע:קלייבט אויס אַ פאַבריקאַנט מיט אַ גוטע רעפּוטאַציע און רייכע דערפאַרונג צו ענשור די פאַרלאָזלעכקייט פון פּראָדוקט קוואַליטעט און נאָך-פאַרקויף סערוויס.

7. קאָסטן-עפעקטיווקייט:אויף דער פּרעמיס פון טרעפן טעכנישע רעקווירעמענץ, באַטראַכטן קאָסטן-עפעקטיווקייט און קלייַבן פּראָדוקטן מיט העכער קאָסטן פאָרשטעלונג.

וועט ענערגיע איז אַ הויך-ריינקייט גראַפיט סאַסעפּטאָר סאַפּלייער, מיר פאָרשלאָגן אַ ברייט קייט פון קאַטעגאָריעס, און קענען ווערן געניצט אין MOCVD ויסריכט פון פאַרשידענע בראַנדז, מאָדעלס און ספּעסיפיקאַציעס.SiC באדעקטע גראַפיט סאַסעפּטאָרפּראָדוצירט דורך VET ענערגיע האָבן נישט קיין קאָנטאַקט פּונקטן פֿאַר קאָוטינג און נישט קיין שוואַכע לינקס. אין טערמינען פֿון סערוויס לעבן, קענען זיי מקיים זיין די באדערפענישן פֿון קאַסטאַמערז מיט פֿאַרשידענע באַדערפֿנישן (אַרייַנגערעכנט די נוצן פֿון קלאָר-האַלטיקע אַטמאָספֿערעס), און קאַסטאַמערז זענען באַגריסן צו באַראַטן זיך און אָנפֿרעגן.