Вафли эпитаксиалдык өсүү металл органикалык химиялык бууларды жайгаштыруу (MOCVD) технологиясы аркылуу ишке ашат, мында ультра таза газдар реакторго куюлат жана майда өлчөнөт, ошону менен алар жогорку температурада биригип, химиялык өз ара аракеттенишүүнү пайда кылат жана жарым өткөргүч пластинкаларга өтө жука атомдук катмарларда жайгаштырылат.
CVD жабдууларында субстратты түздөн-түз металлга же жөн эле эпитаксиалдык чөктүрүүгө негизге коюуга болбойт, анткени ага көптөгөн факторлор таасир этет. Ошондуктан, субстратты кармап туруу үчүн сезгич же лоток керек, андан кийин субстраттагы эпитаксиалдык чөктүрүүнү жүзөгө ашыруу үчүн CVD технологиясын колдонуңуз. Бул сезгич аMOCVD графит сезгич(ошондой эле деп аталатMOCVD графит табак).
Анын түзүмү төмөндөгү сүрөттө көрсөтүлгөн:
Графиттин сезгичине эмне үчүн CVD каптоо керек?
Графиттүү сезгич MOCVD жабдууларынын негизги компоненттеринин бири болуп саналат. Бул субстраттын алып жүрүүчү жана жылытуу элементи болуп саналат. Анын жылуулук туруктуулугу жана жылуулук бирдейлиги сыяктуу иштөө параметрлери эпитаксиалдык материалдын өсүү сапатында чечүүчү роль ойнойт жана эпитаксиалдык жука пленкалуу материалдардын бирдейлигин жана тазалыгын түздөн-түз аныктайт. Ошондуктан анын сапаты эпитаксиалдык пластинкаларды даярдоого түздөн-түз таасирин тийгизет. Ошону менен бирге, колдонуунун санынын көбөйүшү жана иштөө шарттарынын өзгөрүшү менен кийүү жана эскирүү абдан жеңил, ал керектөөчү материал болуп саналат. Графиттин эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана туруктуулугу MOCVD жабдууларынын негизги компоненти катары ага чоң артыкчылык берет.
Бирок, ал таза графит гана болсо, анда кээ бир көйгөйлөр пайда болот. Өндүрүш процессинде калдык дат газдар жана металл органикалык заттар болот, ал эми графит кабылдагыч дат басып, кулап калат, бул графиттүү сезгичтин кызмат мөөнөтүн бир топ кыскартат. Ошол эле учурда, түшкөн графит порошок да пластинанын булганышына алып келет, ошондуктан бул көйгөйлөр базаны даярдоо процессинде чечилиши керек. Каптоо технологиясы беттик порошок бекитүүнү камсыздай алат, жылуулук өткөрүмдүүлүктү жогорулатат жана жылуулук бөлүштүрүүнү тең салмактайт жана бул көйгөйдү чечүүнүн негизги технологиясы болуп калды.
Колдонуу чөйрөсүнө жана графит базасын колдонуу талаптарына ылайык, беттик каптоо төмөнкүдөй мүнөздөмөлөргө ээ болушу керек:
1. Жогорку тыгыздык жана толук камтуу:Графит базасы жогорку температурада жана коррозиялуу жумушчу чөйрөдө. бети толугу менен жабылган болушу керек, жана жабуу жакшы коргоочу ролду ойноо үчүн жакшы тыгыздыкка ээ болушу керек.
2. Жакшы беттик тегиздик:Монокристалл өстүрүү үчүн колдонулган графит негизи өтө жогорку беттик тегиздикти талап кылгандыктан, каптама даярдалгандан кийин негиздин баштапкы тегиздиги сакталышы керек, башкача айтканда, каптоо бети бирдей болушу керек.
3. Жакшы байланыш күчү:Графит базасы менен каптоочу материалдын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициентинин айырмасын азайтуу экөөнүн ортосундагы байланыш күчүн натыйжалуу жакшыртат. Жогорку жана төмөнкү температуранын жылуулук циклдерин башынан өткөргөндөн кийин, каптоо жарака оңой эмес.
4. Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк:Жогорку сапаттагы чиптин өсүшү графит базасын тез жана бирдей жылуулук менен камсыз кылууну талап кылат, ошондуктан каптоочу материал жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ болушу керек.
5. Жогорку эрүү чекити, жогорку температура кычкылданууга каршылык жана коррозияга каршылык:Каптоо жогорку температурада жана коррозиялуу жумушчу чөйрөдө туруктуу иштей алышы керек.
жылуулук туруктуулугу, жылуулук бирдейлиги жана башка аткаруу параметрлериSiC капталган графит сезгичэпитаксиалдык материалдык өсүү сапатында чечүүчү ролду ойнойт, ошондуктан ал MOCVD жабдуулардын негизги негизги компоненти болуп саналат.
β-SiC (3C-SiC) кристалл түрү каптоо катары тандалып алынган. Башка кристалл түрлөрү менен салыштырганда, бул кристалл түрү жакшы термодинамикалык туруктуулук, кычкылданууга каршылык жана коррозияга туруктуулук сыяктуу бир катар сонун касиеттерге ээ. Ошол эле учурда, ал негизинен графит менен шайкеш келген жылуулук өткөрүмдүүлүккө ээ, ошентип графит негизине өзгөчө касиеттерди берет. Ал жогорку температурадагы кычкылдануу жана коррозиядан жана тейлөө учурунда порошок жоготуудан келип чыккан графит базасынын бузулушун натыйжалуу чече алат жана графит базасынын бетин тыгыз, тешиктүү эмес, жогорку температурага туруктуу, коррозияга каршы, кычкылданууга жана башка мүнөздөмөлөргө ээ кылып, ошону менен кристаллдын эпитаксиалдык сапатын жана кызмат мөөнөтүн жакшыртат. мештер).
Жогорку температурага жана коррозияга туруктуу MOCVD графит табагын/сусепторду кантип тандоо керек?
тандоодо аграфит лоток же MOCVD үчүн сезгичжогорку температурадагы коррозияга туруктуу, төмөнкү негизги факторлорду эске алуу керек:
1. Материалдык тазалык:Жогорку тазалыктагы графит материалдары жогорку температурада коррозияга жана кычкылданууга жакшыраак туруштук бере алат жана чөкмө процесске кирлердин таасирин азайтат.
2. Тыгыздыгы жана көзөнөктүүлүгү:Жогорку тыгыздыктагы жана аз көзөнөктүүлүгү менен Graphite лотоктор жакшы механикалык күчкө жана коррозияга туруктуулугуна ээ жана газдын өтүшүн жана материалдык эрозияны натыйжалуу алдын алат.
3. Жылуулук өткөргүчтүк:Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктөгү графит лоток жылуулукту бир калыпта бөлүштүрүүгө, жылуулук стрессти азайтууга жана жабдуулардын туруктуулугун жана кызмат мөөнөтүн жакшыртууга жардам берет.
4. Беттик тазалоо:Каптоо же каптоо сыяктуу атайын беттик тазалоодон өткөн графит паллеттери алардын коррозияга туруктуулугун жана эскирүүгө туруктуулугун дагы жогорулата алат.
5. Көлөмү жана формасы:MOCVD жабдууларынын конкреттүү талаптарына ылайык, лотоктун жабдуулар менен шайкештигин жана иштөөнүн ыңгайлуулугун камсыз кылуу үчүн ылайыктуу өлчөмүн жана формасын тандаңыз.
6. Өндүрүүчүнүн репутациясы:Продукциянын сапатынын жана сатуудан кийинки тейлөөнүн ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн жакшы репутацияга жана бай тажрыйбага ээ өндүрүүчүнү тандаңыз.
7. Эффективдүүлүк:Техникалык талаптарга жооп берүү шартында экономикалык эффективдүүлүктү карап, баасы жогору болгон продукцияны тандаңыз.
VET Energy – бул жогорку тазалыктагы графиттүү сезгич жеткирүүчү, биз кеңири категорияларды сунуштайбыз жана ар кандай бренддердин, моделдердин жана спецификациялардын MOCVD жабдууларында колдонулушу мүмкүн. TheSiC капталган графит сезгичVET Energy тарабынан өндүрүлгөн каптоо байланыш чекиттери жана алсыз шилтемелери жок. Тейлөө мөөнөтү боюнча, алар ар кандай муктаждыктары бар кардарлардын талаптарын канааттандыра алат (анын ичинде хлор камтыган атмосфераны колдонуу), кардарлар консультация жана сурамжылоого чакырышат.
Посттун убактысы: Мар-01-2025