MOCVD графит лоток деген эмне?

Пластинанын эпитаксиалдык өсүшү металл органикалык химиялык буу чөктүрүү (MOCVD) технологиясы аркылуу ишке ашат, анда реакторго өтө таза газдар куюлуп, майда өлчөнөт, ошондуктан алар жогорку температурада биригип, химиялык өз ара аракеттенүүнү пайда кылат жана материалдардын жана кошулма жарым өткөргүчтөрдүн эпитаксиясын түзүү үчүн өтө жука атомдук катмарлардагы жарым өткөргүч пластиналарга чөктүрүлөт.

Жүрөк-кан тамыр системасынын жабдууларында, негизди түздөн-түз металлга же жөн гана эпитаксиалдык чөкмө үчүн негизге коюуга болбойт, анткени ага көптөгөн факторлор таасир этет. Ошондуктан, негизди кармап туруу үчүн сусцептор же лоток керек, андан кийин негизге эпитаксиалдык чөкмө жасоо үчүн CVD технологиясын колдонуу керек. Бул сусцептор...MOCVD графит сусцептору(ошондой эле деп аталатMOCVD графит лоток).

Анын түзүлүшү төмөнкү сүрөттө көрсөтүлгөн:

Эмне үчүн графит сусцепторуна жүрөк-кан тамыр каптоосу керек?

Графит сусцептору MOCVD жабдууларынын негизги компоненттеринин бири болуп саналат. Ал субстраттын ташуучусу жана жылытуучу элементи болуп саналат. Анын жылуулук туруктуулугу жана жылуулук бирдейлиги сыяктуу иштөө параметрлери эпитаксиалдык материалдын өсүшүнүн сапатында чечүүчү ролду ойнойт жана эпитаксиалдык жука пленкалуу материалдардын бирдейлигин жана тазалыгын түздөн-түз аныктайт. Ошондуктан, анын сапаты эпитаксиалдык пластиналарды даярдоого түздөн-түз таасир этет. Ошол эле учурда, колдонуулардын санынын көбөйүшү жана иштөө шарттарынын өзгөрүшү менен, ал абдан оңой эскирип, сарпталуучу буюм болуп саналат. Графиттин эң сонун жылуулук өткөрүмдүүлүгү жана туруктуулугу ага MOCVD жабдууларынын негизги компоненти катары чоң артыкчылык берет.

Бирок, эгерде ал таза графит гана болсо, анда бир катар көйгөйлөр жаралат. Өндүрүш процессинде калдык дат басуучу газдар жана металл органикалык заттары калат, ал эми графит сусцептору дат басып, түшүп калат, бул графит сусцепторунун кызмат мөөнөтүн бир топ кыскартат. Ошол эле учурда, графит порошогунун түшүп кетиши пластинанын булганышына алып келет, андыктан бул көйгөйлөрдү негизди даярдоо процессинде чечүү керек. Каптоо технологиясы беттик порошокту бекитүүнү камсыздай алат, жылуулук өткөрүмдүүлүгүн жогорулатат жана жылуулук бөлүштүрүүнү тең салмактайт жана бул көйгөйдү чечүүнүн негизги технологиясына айланды.

Графит негизинин колдонуу чөйрөсүнө жана колдонуу талаптарына ылайык, беттик каптоо төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ болушу керек:

1. Жогорку тыгыздык жана толук камтуу:Графит негизи жогорку температурада жана коррозияга туруктуу жумушчу чөйрөдө жайгашкан. Бети толугу менен капталган болушу керек жана жакшы коргоочу ролду ойношу үчүн каптоо жакшы тыгыздыкка ээ болушу керек.

2. Жакшы беттик тегиздик:Монокристалл өстүрүү үчүн колдонулган графит негизи өтө жогорку беттик тегиздикти талап кылгандыктан, каптоо даярдалгандан кийин негиздин баштапкы тегиздиги сакталышы керек, башкача айтканда, каптоо бети бирдей болушу керек.

3. Жакшы байланыш күчү:Графит негизи менен каптоо материалынын ортосундагы жылуулук кеңейүү коэффициентинин айырмасын азайтуу экөөнүн ортосундагы байланыш күчүн натыйжалуу жакшырта алат. Жогорку жана төмөнкү температурадагы жылуулук циклдерин башынан өткөргөндөн кийин, каптоо оңой менен жарака кетпейт.

4. Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү:Жогорку сапаттагы чиптердин өсүшү тез жана бирдей жылуулукту камсыз кылуу үчүн графит негизин талап кылат, андыктан каптоочу материал жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө ээ болушу керек.

5. Жогорку эрүү температурасы, жогорку температурадагы кычкылданууга жана коррозияга туруктуулук:Каптоо жогорку температурада жана коррозияга туруктуу иштөөгө жөндөмдүү болушу керек.

Термикалык туруктуулук, жылуулук бирдейлиги жана башка иштөө параметрлериSiC менен капталган графит сусцепторуэпитаксиалдык материалдын өсүшүнүн сапатында чечүүчү ролду ойнойт, ошондуктан ал MOCVD жабдууларынын негизги компоненти болуп саналат.

β-SiC (3C-SiC) кристалл формасы каптоо катары тандалып алынган. Башка кристалл формаларына салыштырмалуу, бул кристалл формасы жакшы термодинамикалык туруктуулук, кычкылданууга туруктуулук жана коррозияга туруктуулук сыяктуу бир катар мыкты касиеттерге ээ. Ошол эле учурда, ал жылуулук өткөрүмдүүлүгүнө негизинен графиттикине шайкеш келет, ошону менен графит негизине өзгөчө касиеттерди берет. Ал жогорку температурадагы кычкылдануудан жана коррозиядан жана тейлөө учурунда порошоктун жоголушунан улам графит негизинин бузулушун натыйжалуу чечип, графит негизинин бетин тыгыз, тешиксиз, жогорку температурага туруктуу, коррозияга каршы, кычкылданууга каршы жана башка мүнөздөмөлөрдү жасай алат, ошону менен кристаллдын эпитаксиалдык сапатын жана графит негизинин иштөө мөөнөтүн жакшыртат (SiC менен капталган графит негизинин иштөө мөөнөтү мештерде өлчөнөт).

Жогорку температурага жана коррозияга туруктуу MOCVD графит лотокту/сусцепторду кантип тандоо керек?

Тандоодографит лоток же MOCVD үчүн сезгичжогорку температурадагы коррозияга туруктуу, төмөнкү негизги факторлорду эске алуу керек:

1. Материалдын тазалыгы:Жогорку тазалыктагы графит материалдары жогорку температурада коррозияга жана кычкылданууга жакшыраак туруштук бере алат жана кошулмалардын чөкмө процессине тийгизген таасирин азайтат.

2. Тыгыздык жана кеуектүүлүк:Жогорку тыгыздыктагы жана төмөн тешиктүүлүккө ээ болгон графит лотоктору механикалык бекемдикке жана коррозияга туруктуулукка ээ, ошондой эле газдын кирип кетишине жана материалдын эрозиясына натыйжалуу жол бербейт.

3. Жылуулук өткөрүмдүүлүгү:Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү бар графит табакчасы жылуулукту бирдей бөлүштүрүүгө, жылуулук чыңалуусун азайтууга жана жабдуулардын туруктуулугун жана кызмат мөөнөтүн жакшыртууга жардам берет.

4. Беттик иштетүү:Каптоо же каптоо сыяктуу атайын беттик иштетүүдөн өткөн графит паллеттери алардын коррозияга жана эскирүүгө туруктуулугун андан ары жогорулата алат.

5. Өлчөмү жана формасы:MOCVD жабдууларынын өзгөчө талаптарына ылайык, лотоктун жабдуулар менен шайкештигин жана иштөөнүн ыңгайлуулугун камсыз кылуу үчүн тиешелүү өлчөмдү жана форманы тандаңыз.

6. Өндүрүүчүнүн кадыр-баркы:Продукциянын сапатынын жана сатуудан кийинки тейлөөнүн ишенимдүүлүгүн камсыз кылуу үчүн жакшы кадыр-баркка жана бай тажрыйбага ээ өндүрүүчүнү тандаңыз.

7. Чыгымдардын натыйжалуулугу:Техникалык талаптарга жооп берүүнүн негизинде, чыгымдардын натыйжалуулугун эске алып, жогорку баалуулукка ээ продукцияларды тандаңыз.

VET Energy жогорку тазалыктагы графит сусцепторлорун жеткирүүчү болуп саналат, биз ар кандай категорияларды сунуштайбыз жана ар кандай бренддердин, моделдердин жана мүнөздөмөлөрдүн MOCVD жабдууларында колдонулушу мүмкүн.SiC менен капталган графит сусцепторуVET Energy тарабынан чыгарылган каптоо чекиттери жана алсыз байланыштары жок. Кызмат мөөнөтү боюнча, алар ар кандай муктаждыктары бар кардарлардын талаптарын канааттандыра алат (анын ичинде хлор камтыган атмосфераны колдонуу) жана кардарлар консультация жана суроо-талап менен кайрыла алышат.