MOCVD ग्रेफाइट ट्रे भनेको के हो?

वेफर एपिटेक्सियल वृद्धि धातु जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेपण (MOCVD) प्रविधि मार्फत प्राप्त गरिन्छ, जसमा अति-शुद्ध ग्याँसहरू रिएक्टरमा इन्जेक्ट गरिन्छ र राम्रोसँग मापन गरिन्छ, जसले गर्दा तिनीहरू उच्च तापक्रममा संयोजन भएर रासायनिक अन्तरक्रिया निम्त्याउँछन् र धेरै पातलो परमाणु तहहरूमा अर्धचालक वेफरहरूमा जम्मा हुन्छन्। सामग्री र यौगिक अर्धचालकहरूको एपिटेक्सी बनाउँछ।

CVD उपकरणहरूमा, सब्सट्रेटलाई सिधै धातुमा वा एपिटेक्सियल निक्षेपणको लागि आधारमा राख्न सकिँदैन, किनभने यो धेरै कारकहरूद्वारा प्रभावित हुनेछ। त्यसकारण, सब्सट्रेटलाई समात्नको लागि ससेप्टर वा ट्रे आवश्यक पर्दछ, र त्यसपछि सब्सट्रेटमा एपिटेक्सियल निक्षेपण गर्न CVD प्रविधि प्रयोग गर्नुहोस्। यो ससेप्टर एक होMOCVD ग्रेफाइट ससेप्टर(जसलाई पनि भनिन्छMOCVD ग्रेफाइट ट्रे).

यसको संरचना तलको चित्रमा देखाइएको छ:

ग्रेफाइट ससेप्टरलाई किन CVD कोटिंग चाहिन्छ?

ग्रेफाइट ससेप्टर MOCVD उपकरणको मुख्य घटकहरू मध्ये एक हो। यो सब्सट्रेटको वाहक र ताप तत्व हो। यसको कार्यसम्पादन प्यारामिटरहरू जस्तै थर्मल स्थिरता र थर्मल एकरूपताले एपिटेक्सियल सामग्रीको वृद्धिको गुणस्तरमा निर्णायक भूमिका खेल्छ, र एपिटेक्सियल पातलो फिल्म सामग्रीको एकरूपता र शुद्धतालाई प्रत्यक्ष रूपमा निर्धारण गर्दछ। त्यसकारण, यसको गुणस्तरले एपिटेक्सियल वेफरहरूको तयारीलाई प्रत्यक्ष रूपमा असर गर्छ। एकै समयमा, प्रयोगको संख्यामा वृद्धि र काम गर्ने अवस्थाहरूमा परिवर्तनहरूसँगै, यो लगाउन र च्यात्न धेरै सजिलो छ, यो उपभोग्य छ। ग्रेफाइटको उत्कृष्ट थर्मल चालकता र स्थिरताले यसलाई MOCVD उपकरणको आधार घटकको रूपमा ठूलो फाइदा दिन्छ।

यद्यपि, यदि यो केवल शुद्ध ग्रेफाइट हो भने, त्यहाँ केही समस्याहरू हुनेछन्। उत्पादन प्रक्रियामा, अवशिष्ट संक्षारक ग्याँसहरू र धातु जैविक पदार्थहरू हुनेछन्, र ग्रेफाइट ससेप्टर क्षय हुनेछ र खस्नेछ, जसले ग्रेफाइट ससेप्टरको सेवा जीवनलाई धेरै कम गर्दछ। एकै समयमा, खस्ने ग्रेफाइट पाउडरले वेफरमा प्रदूषण पनि निम्त्याउनेछ, त्यसैले आधारको तयारी प्रक्रियामा यी समस्याहरू समाधान गर्न आवश्यक छ। कोटिंग प्रविधिले सतह पाउडर फिक्सेसन प्रदान गर्न, थर्मल चालकता बढाउन र ताप वितरण सन्तुलन गर्न सक्छ, र यो समस्या समाधान गर्ने मुख्य प्रविधि बनेको छ।

ग्रेफाइट आधारको प्रयोग वातावरण र प्रयोग आवश्यकताहरू अनुसार, सतह कोटिंगमा निम्न विशेषताहरू हुनुपर्छ:

१. उच्च घनत्व र पूर्ण कभरेज:ग्रेफाइट आधार उच्च तापक्रम र संक्षारक काम गर्ने वातावरणमा छ। सतह पूर्ण रूपमा ढाकिएको हुनुपर्छ, र राम्रो सुरक्षात्मक भूमिका खेल्न कोटिंगमा राम्रो घनत्व हुनुपर्छ।

२. राम्रो सतह समतलता:एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिने ग्रेफाइट आधारलाई धेरै उच्च सतह समतलता आवश्यक पर्ने भएकोले, कोटिंग तयार भएपछि आधारको मूल समतलता कायम राख्नुपर्छ, अर्थात्, कोटिंग सतह एकरूप हुनुपर्छ।

३. राम्रो बन्धन बल:ग्रेफाइट आधार र कोटिंग सामग्री बीचको थर्मल विस्तार गुणांकमा भिन्नता घटाउनाले दुई बीचको बन्धन बललाई प्रभावकारी रूपमा सुधार गर्न सकिन्छ। उच्च र कम तापक्रम थर्मल चक्र अनुभव गरेपछि, कोटिंग फुट्न सजिलो हुँदैन।

४. उच्च तापीय चालकता:उच्च-गुणस्तरको चिप वृद्धिको लागि ग्रेफाइट आधारलाई छिटो र एकरूप ताप प्रदान गर्न आवश्यक पर्दछ, त्यसैले कोटिंग सामग्रीमा उच्च थर्मल चालकता हुनुपर्छ।

५. उच्च पग्लने बिन्दु, उच्च तापक्रम अक्सीकरण प्रतिरोध र जंग प्रतिरोध:कोटिंग उच्च तापक्रम र संक्षारक कार्य वातावरणमा स्थिर रूपमा काम गर्न सक्षम हुनुपर्छ।

थर्मल स्थिरता, थर्मल एकरूपता र अन्य कार्यसम्पादन प्यारामिटरहरूSiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरएपिटेक्सियल सामग्रीको वृद्धिको गुणस्तरमा निर्णायक भूमिका खेल्छ, त्यसैले यो MOCVD उपकरणको मुख्य प्रमुख घटक हो।

β-SiC (3C-SiC) क्रिस्टल रूप कोटिंगको रूपमा छनोट गरिएको छ। अन्य क्रिस्टल रूपहरूको तुलनामा, यो क्रिस्टल रूपहरूमा राम्रो थर्मोडायनामिक स्थिरता, अक्सिडेशन प्रतिरोध र जंग प्रतिरोध जस्ता उत्कृष्ट गुणहरूको श्रृंखला छ। साथै, यसमा थर्मल चालकता छ जुन मूल रूपमा ग्रेफाइटसँग मिल्दोजुल्दो छ, जसले गर्दा ग्रेफाइट आधारलाई विशेष गुणहरू प्राप्त हुन्छन्। यसले उच्च-तापमान अक्सिडेशन र जंग र सेवाको क्रममा पाउडरको क्षतिको कारणले हुने ग्रेफाइट आधारको विफलतालाई प्रभावकारी रूपमा समाधान गर्न सक्छ, र ग्रेफाइट आधारको सतहलाई बाक्लो, गैर-छिद्रयुक्त, उच्च-तापमान प्रतिरोधी, एन्टी-जंग, एन्टी-अक्सिडेशन र अन्य विशेषताहरू बनाउन सक्छ, जसले गर्दा क्रिस्टल एपिटेक्सियल गुणस्तर र ग्रेफाइट आधारको सेवा जीवनमा सुधार हुन्छ (SiC लेपित ग्रेफाइट आधारको सेवा जीवन भट्टीहरूमा मापन गरिन्छ)।

उच्च तापक्रम र क्षरण प्रतिरोधी MOCVD ग्रेफाइट ट्रे/ससेप्टर कसरी छनौट गर्ने?

छनौट गर्दाMOCVD को लागि ग्रेफाइट ट्रे वा ससेप्टरउच्च तापक्रमको क्षरण प्रतिरोधी, निम्न मुख्य कारकहरूलाई विचार गर्नुपर्छ:

१. भौतिक शुद्धता:उच्च-शुद्धता भएका ग्रेफाइट सामग्रीहरूले उच्च तापक्रममा क्षरण र अक्सिडेशनलाई राम्रोसँग प्रतिरोध गर्न सक्छन् र निक्षेपण प्रक्रियामा अशुद्धताको प्रभावलाई कम गर्न सक्छन्।

२. घनत्व र छिद्रता:उच्च घनत्व र कम पोरोसिटी भएका ग्रेफाइट ट्रेहरूमा राम्रो मेकानिकल शक्ति र क्षरण प्रतिरोध हुन्छ, र यसले ग्यास प्रवेश र सामग्रीको क्षरणलाई प्रभावकारी रूपमा रोक्न सक्छ।

३. तापीय चालकता:उच्च थर्मल चालकता भएको ग्रेफाइट ट्रेले समान रूपमा ताप वितरण गर्न, थर्मल तनाव कम गर्न र उपकरणको स्थिरता र सेवा जीवन सुधार गर्न मद्दत गर्छ।

४. सतह उपचार:कोटिंग वा प्लेटिङ जस्ता विशेष सतह उपचारबाट गुज्रिएका ग्रेफाइट प्यालेटहरूले तिनीहरूको जंग प्रतिरोध र पहिरन प्रतिरोधलाई अझ बढाउन सक्छन्।

५. आकार र आकार:MOCVD उपकरणको विशिष्ट आवश्यकताहरू अनुसार, उपकरणसँग ट्रेको अनुकूलता र सञ्चालनको सुविधा सुनिश्चित गर्न उपयुक्त आकार र आकार चयन गर्नुहोस्।

६. निर्माताको प्रतिष्ठा:उत्पादनको गुणस्तर र बिक्री पछिको सेवाको विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्न राम्रो प्रतिष्ठा र समृद्ध अनुभव भएको निर्माता छनौट गर्नुहोस्।

७. लागत-प्रभावकारिता:प्राविधिक आवश्यकताहरू पूरा गर्ने आधारमा, लागत-प्रभावकारितालाई विचार गर्नुहोस् र उच्च लागत प्रदर्शन भएका उत्पादनहरू छनौट गर्नुहोस्।

VET Energy एक उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट ससेप्टर आपूर्तिकर्ता हो, हामी विभिन्न प्रकारका वर्गहरू प्रदान गर्दछौं, र विभिन्न ब्रान्ड, मोडेल र विशिष्टताहरूको MOCVD उपकरणहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरVET Energy द्वारा उत्पादित उत्पादनहरूमा कुनै कोटिंग सम्पर्क बिन्दुहरू छैनन् र कमजोर लिङ्कहरू छैनन्। सेवा जीवनको सन्दर्भमा, तिनीहरूले विभिन्न आवश्यकताहरू (क्लोरीन युक्त वायुमण्डलको प्रयोग सहित) भएका ग्राहकहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छन्, र ग्राहकहरूलाई परामर्श र सोधपुछ गर्न स्वागत छ।