Епитаксиалният растеж на пластини се постига чрез технологията за металоорганично химическо отлагане от пари (MOCVD), при която ултрачисти газове се инжектират в реактора и се дозират фино, така че те се комбинират при повишени температури, за да предизвикат химични взаимодействия и се отлагат върху полупроводникови пластини в много тънки атомни слоеве, за да образуват епитаксия от материали и съставни полупроводници.
В CVD оборудването, субстратът не може да бъде поставен директно върху метал или просто върху основа за епитаксиално отлагане, тъй като ще бъде повлиян от много фактори. Следователно е необходим токусептор или тава, за да се задържи субстратът, а след това да се използва CVD технология за извършване на епитаксиално отлагане върху субстрата. Този токусептор е...MOCVD графитен токусептор(наричан ощеMOCVD графитна тава).
Структурата му е показана на фигурата по-долу:
Защо графитният токусептор се нуждае от CVD покритие?
Графитният токоприемник е един от основните компоненти в MOCVD оборудването. Той е носещият и нагревателният елемент на субстрата. Неговите параметри, като термична стабилност и термична еднородност, играят решаваща роля в качеството на епитаксиалния растеж на материала и директно определят еднородността и чистотата на епитаксиалните тънкослойни материали. Следователно, качеството му влияе пряко върху получаването на епитаксиални пластини. В същото време, с увеличаването на броя на употребите и промените в условията на работа, той се износва много лесно и е консуматив. Отличната топлопроводимост и стабилност на графита му дават голямо предимство като основен компонент на MOCVD оборудването.
Ако обаче е само чист графит, ще възникнат някои проблеми. В производствения процес ще има остатъчни корозивни газове и метални органични вещества, а графитният токоприемник ще корозира и ще падне, което значително ще намали експлоатационния му живот. В същото време, падащият графитен прах ще замърси и пластината, така че тези проблеми трябва да бъдат решени в процеса на подготовка на основата. Технологията на покритие може да осигури фиксиране на повърхностния прах, да подобри топлопроводимостта и да балансира разпределението на топлината и се е превърнала в основна технология за решаване на този проблем.
В зависимост от средата на приложение и изискванията за употреба на графитната основа, повърхностното покритие трябва да има следните характеристики:
1. Висока плътност и пълно покритие:Графитната основа е във високотемпературна и корозивна работна среда. Повърхността трябва да бъде напълно покрита, а покритието трябва да има добра плътност, за да играе добра защитна роля.
2. Добра плоскост на повърхността:Тъй като графитната основа, използвана за растеж на монокристали, изисква много висока повърхностна плоскост, първоначалната плоскост на основата трябва да се поддържа след приготвяне на покритието, т.е. повърхността на покритието трябва да бъде равномерна.
3. Добра здравина на свързване:Намаляването на разликата в коефициента на термично разширение между графитната основа и материала на покритието може ефективно да подобри здравината на свързване между тях. След циклично излагане на високи и ниски температури, покритието не се напуква лесно.
4. Висока топлопроводимост:Висококачественият растеж на чипове изисква графитната основа да осигурява бързо и равномерно нагряване, така че материалът на покритието трябва да има висока топлопроводимост.
5. Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура и устойчивост на корозия:Покритието трябва да може да работи стабилно при висока температура и корозивна работна среда.
Термичната стабилност, термичната еднородност и други параметри на производителността наГрафитен токусептор с покритие от SiCиграят решаваща роля в качеството на епитаксиалния растеж на материалите, така че са основният ключов компонент на MOCVD оборудването.
Като покритие е избрана кристална форма β-SiC (3C-SiC). В сравнение с други кристални форми, тази кристална форма има серия от отлични свойства, като добра термодинамична стабилност, устойчивост на окисление и устойчивост на корозия. В същото време, тя има топлопроводимост, която е почти съвместима с тази на графита, като по този начин придава на графитната основа специални свойства. Тя може ефективно да реши проблемите с повреди на графитната основа, причинени от високотемпературно окисление и корозия и загуба на прах по време на експлоатация, и да направи повърхността на графитната основа плътна, непореста, устойчива на високи температури, антикорозионна, антиокислителна и други характеристики, като по този начин подобрява качеството на кристалната епитаксия и експлоатационния живот на графитната основа (експлоатационният живот на покритата със SiC графитна основа се измерва в пещи).
Как да изберем MOCVD графитна тава/тоскупер, която е устойчива на висока температура и корозия?
При избора награфитена тава или приемник за MOCVDкойто е устойчив на корозия при висока температура, трябва да се вземат предвид следните ключови фактори:
1. Чистота на материала:Високочистите графитни материали могат по-добре да устоят на корозия и окисляване при високи температури и да намалят въздействието на примесите върху процеса на отлагане.
2. Плътност и порьозност:Графитните тави с висока плътност и ниска порьозност имат по-добра механична якост и устойчивост на корозия и могат ефективно да предотвратят проникването на газове и ерозията на материала.
3. Топлопроводимост:Графитната тава с висока топлопроводимост спомага за равномерното разпределение на топлината, намаляване на термичното напрежение и подобряване на стабилността и експлоатационния живот на оборудването.
4. Повърхностна обработка:Графитните палети, които са претърпели специална повърхностна обработка, като например покритие или галванизиране, могат допълнително да подобрят тяхната устойчивост на корозия и износоустойчивост.
5. Размер и форма:Според специфичните изисквания на MOCVD оборудването, изберете подходящия размер и форма, за да осигурите съвместимост на тавата с оборудването и удобство при работа.
6. Репутация на производителя:Изберете производител с добра репутация и богат опит, за да гарантирате надеждността на качеството на продукта и следпродажбеното обслужване.
7. Икономическа ефективност:Като се има предвид спазването на техническите изисквания, помислете за рентабилността и изберете продукти с по-висока цена.
VET Energy е доставчик на високочисти графитни токоприемници. Ние предлагаме широка гама от категории, които могат да се използват в MOCVD оборудване от различни марки, модели и спецификации.Графитен токусептор с покритие от SiCПроизведените от VET Energy продукти нямат контактни точки с покритието и нямат слаби звена. По отношение на експлоатационния живот те могат да отговорят на изискванията на клиенти с различни нужди (включително използване на хлорсъдържащи атмосфери) и клиентите са добре дошли за консултации и запитвания.
Време на публикуване: 01.03.2025 г.