Terei ea graphite ea MOCVD ke eng?

Kgolo ya Wafer epitaxial e fihlellwa ka theknoloji ya metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), moo dikgase tse hlwekileng haholo di kenngwang ka hara reactor mme di lekanngwa hantle, e le hore di kopane mochesong o phahameng ho baka dikamano tsa dikhemikhale mme di kenngwa hodima di-wafer tsa semiconductor ka dikarolo tse tshesane haholo tsa athomo ho theha epitaxy ya thepa le di-semiconductor tse kopaneng.

Lisebelisoang tsa CVD, substrate e ke ke ea beoa ka ho toba holim'a tšepe kapa feela motheong oa ho beoa ha epitaxial, hobane e tla angoa ke lintlha tse ngata. Ka hona, ho hlokahala susceptor kapa terei ho tšoara substrate, ebe ho sebelisoa theknoloji ea CVD ho etsa epitaxial deposition holim'a substrate. susceptor ena keMOCVD graphite susceptor(e boetse e bitsoaTerei ea graphite ea MOCVD).

Sebopeho sa yona se bontshitswe setshwantshong se ka tlase:

Ke hobane'ng ha susceptor ea graphite e hloka ho koaheloa ke CVD?

Sesebediswa sa graphite ke e 'ngoe ea likarolo tsa mantlha tsa lisebelisoa tsa MOCVD. Ke karolo ea ho jara le ho futhumatsa ea substrate. Litekanyetso tsa eona tsa ts'ebetso tse kang botsitso ba mocheso le ho tšoana ha mocheso li bapala karolo ea bohlokoa boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, 'me li khetholla ka kotloloho ho tšoana le bohloeki ba thepa ea filimi e tšesaane ea epitaxial. Ka hona, boleng ba eona bo ama ka kotloloho ho lokisoa ha li-wafer tsa epitaxial. Ka nako e ts'oanang, ka keketseho ea palo ea ts'ebeliso le liphetoho maemong a ts'ebetso, ho bonolo haholo ho e roala le ho e tabola, ke ntho e ka jeoang. Ho tsamaisa mocheso hantle le botsitso ba graphite ho e fa monyetla o moholo e le karolo ea motheo ea lisebelisoa tsa MOCVD.

Leha ho le jwalo, haeba e le graphite e hlwekileng feela, ho tla ba le mathata a itseng. Ts'ebetsong ya tlhahiso, ho tla ba le dikgase tse setseng tse senyang le dintho tse phelang tsa tshepe, mme susceptor ya graphite e tla bola le ho wa, e leng se fokotsang haholo bophelo ba tshebeletso ya susceptor ya graphite. Ka nako e ts'oanang, phofo ya graphite e welang le yona e tla baka tshilafatso ho wafer, kahoo mathata ana a hloka ho rarollwa tshebetsong ya ho lokisa motheo. Theknoloji ya ho kwahela e ka fana ka ho tiisa phofo ya bokahodimo, ho ntlafatsa ho tsamaisa mocheso, le ho leka-lekanya kabo ya mocheso, mme e se e le theknoloji e ka sehloohong ya ho rarolla bothata bona.

Ho latela tikoloho ea ts'ebeliso le litlhoko tsa ts'ebeliso ea motheo oa graphite, sekoahelo sa bokaholimo se lokela ho ba le litšobotsi tse latelang:

1. Boima bo phahameng le ho koahela ka botlalo:Botlaase ba graphite bo sebakeng se chesang haholo le se senyang. Bokaholimo bo lokela ho koaheloa ka botlalo, 'me lesela le tlameha ho ba le boima bo botle ho bapala karolo e ntle ea tšireletso.

2. Bophara bo botle ba bokaholimo:Kaha motheo oa graphite o sebelisetsoang kholo ea kristale e le 'ngoe o hloka ho batalatsa holimo haholo, ho batalatsa ha motheo ho lokela ho bolokoa ka mor'a hore ho lokisoe ho koahetsoe, ke hore, bokaholimo ba ho koahela bo tlameha ho lekana.

3. Matla a matle a ho kopanya:Ho fokotsa phapang pakeng tsa coefficient ea katoloso ea mocheso pakeng tsa motheo oa graphite le thepa ea ho roala ho ka ntlafatsa matla a ho kopanya pakeng tsa tse peli ka katleho. Kamora ho ba le lipotoloho tsa mocheso tse phahameng le tse tlase, ho roala ha ho bonolo ho ho petsoha.

4. Ho khanna ha mocheso o phahameng:Kgolo ya di-chip tsa boleng bo hodimo e hloka motheo wa graphite ho fana ka mocheso o potlakileng le o tshwanang, kahoo thepa ya ho roala e lokela ho ba le phallo e phahameng ya mocheso.

5. Sebaka se phahameng sa ho qhibiliha, ho hanyetsa ho qhibiliha ha mocheso o phahameng le ho hanyetsa ho bola:Seaparo se lokela ho kgona ho sebetsa ka botsitso mochesong o phahameng le tikolohong ya mosebetsi e senyang.

Botsitso ba mocheso, ho tšoana ha mocheso le liparamente tse ling tsa ts'ebetso tsaSesebelisi sa graphite se koahetsoeng ka SiCli bapala karolo ea bohlokoa boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, kahoo ke karolo ea bohlokoa ea lisebelisoa tsa MOCVD.

Sebopeho sa kristale sa β-SiC (3C-SiC) se khethiloe e le seaparo. Ha se bapisoa le mefuta e meng ea kristale, mofuta ona oa kristale o na le letoto la litšobotsi tse ntle tse kang botsitso bo botle ba thermodynamic, khanyetso ea oxidation le khanyetso ea mafome. Ka nako e ts'oanang, e na le conductivity ea mocheso e lumellanang hantle le ea graphite, kahoo e fa motheo oa graphite litšobotsi tse ikhethang. E ka rarolla ka katleho ho hloleha ha motheo oa graphite ho bakoang ke oxidation ea mocheso o phahameng le mafome le tahlehelo ea phofo nakong ea ts'ebeletso, 'me ea etsa hore bokaholimo ba motheo oa graphite bo be teteaneng, bo se nang masoba, bo hanelang mocheso o phahameng, bo khahlanong le mafome, bo khahlanong le oxidation le litšobotsi tse ling, ka hona bo ntlafatsa boleng ba kristale epitaxial le bophelo ba ts'ebeletso ba motheo oa graphite (bophelo ba ts'ebeletso ba motheo oa graphite o koahetsoeng ke SiC bo lekanngoa ka liontong).

Mokhoa oa ho khetha terei/sesepe sa graphite sa MOCVD se hanelang mocheso o phahameng le mafome?

Ha o kgethaterei ea graphite kapa susceptor bakeng sa MOCVDe hanelang mafome a mocheso o phahameng, lintlha tse latelang tsa bohlokoa li lokela ho nahanoa:

1. Bohloeki ba thepa:Lisebelisoa tsa graphite tse hloekileng haholo li ka hanela ho bola le ho oxidation hamolemo mochesong o phahameng le ho fokotsa tšusumetso ea litšila ts'ebetsong ea ho beoa ha lintho.

2. Botenya le masoba:Literei tsa graphite tse nang le botebo bo phahameng le masoba a tlase li na le matla a betere a mechini le ho hanyetsa mafome, 'me li ka thibela ho kenella ha khase le khoholeho ea thepa ka katleho.

3. Ho tsamaisa mocheso:Terei ea grafiti e nang le motlakase o phahameng e thusa ho aba mocheso ka ho lekana, ho fokotsa khatello ea mocheso, le ho ntlafatsa botsitso le bophelo ba tšebeletso ea lisebelisoa.

4. Kalafo ea bokaholimo:Lipalete tsa graphite tse kileng tsa phekoloa ka tsela e khethehileng holim'a metsi, joalo ka ho penta kapa ho poleitisa, li ka ntlafatsa ho hanyetsa ha tsona mafome le ho hanyetsa ho tsofala.

5. Boholo le sebopeho:Ho latela ditlhoko tse ikgethang tsa disebediswa tsa MOCVD, kgetha boholo le sebopeho se loketseng ho netefatsa hore terei e a tsamaisana le disebediswa le bonolo ba ho di sebedisa.

6. Botumo ba moetsi:Khetha moetsi ea nang le botumo bo botle le boiphihlelo bo bongata ho netefatsa botšepehi ba boleng ba sehlahisoa le tšebeletso ea kamora thekiso.

7. Katleho ea litšenyehelo:Ka lebaka la ho fihlela litlhoko tsa tekheniki, nahana ka ho boloka litšenyehelo hantle 'me u khethe lihlahisoa tse nang le ts'ebetso e phahameng ea litšenyehelo.

VET Energy ke mofani oa thepa ea graphite e hloekileng haholo, re fana ka mefuta e mengata ea lihlopha, 'me e ka sebelisoa lisebelisoa tsa MOCVD tsa mefuta e fapaneng ea lihlahisoa, mehlala le litlhaloso.Sesebelisi sa graphite se koahetsoeng ka SiCtse hlahisitsoeng ke VET Energy ha li na libaka tsa ho kopana le ho koahela 'me ha li na lihokelo tse fokolang. Mabapi le bophelo ba tšebeletso, li ka fihlela litlhoko tsa bareki ba nang le litlhoko tse fapaneng (ho kenyeletsoa le ts'ebeliso ea sepakapaka se nang le chlorine), 'me bareki ba amohelehile ho buisana le ho botsa.