Terei ea graphite ea MOCVD ke eng?

Khōlo ea Wafer epitaxial e finyelloa ka theknoloji ea tšepe ea organic chemical vapor deposition (MOCVD), eo ho eona likhase tse hloekileng haholo li kenngoa ka har'a mochine o motlakase, e le hore li kopane ka mocheso o phahameng ho baka tšebelisano ea lik'hemik'hale 'me li kenngoa holim'a liphaphatha tsa semiconductor ka likarolo tse tšesaane haholo tsa athomo ho etsa li-semiconductors tsa lisebelisoa.

Ka thepa ea CVD, substrate e ke ke ea behoa ka ho toba ka tšepe kapa feela motheong oa epitaxial deposition, hobane e tla angoa ke lintlha tse ngata. Ka hona, ho hlokahala susceptor kapa tray ho tšoara substrate, ebe u sebelisa theknoloji ea CVD ho etsa deposition epitaxial holim'a substrate. Sena se susceptor ke aMOCVD graphite susceptor(hape e bitsoaMOCVD graphite tray).

Sebopeho sa eona se bontšoa setšoantšong se ka tlase:

Hobaneng ha susceptor ea graphite e hloka ho roala CVD?

graphite susceptor ke e 'ngoe ea likarolo tsa mantlha tsa thepa ea MOCVD. Ke ntho e tsamaisang le ho futhumatsa ea substrate. Likarolo tsa eona tsa ts'ebetso tse kang botsitso ba mocheso le ho tšoana ha mocheso li phetha karolo ea bohlokoa ho boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, 'me ka ho toba li khetholla ho tšoana le ho hloeka ha lisebelisoa tsa filimi tse tšesaane tsa epitaxial. Ka hona, boleng ba eona bo ama ka ho toba ho lokisoa ha li-wafers tsa epitaxial. Ka nako e ts'oanang, ka ho eketseha ha palo ea lisebelisoa le liphetoho tsa maemo a sebetsang, ho bonolo haholo ho apara le ho senya, ke ntho e ka sebelisoang. Ts'ebetso e ntle ea mocheso le botsitso ba graphite e fana ka monyetla o moholo e le karolo ea motheo ea lisebelisoa tsa MOCVD.

Leha ho le joalo, haeba e le graphite e hloekileng feela, ho tla ba le mathata a itseng. Ts'ebetsong ea tlhahiso, ho tla ba le likhase tse senyang tse setseng le lintho tse entsoeng ka tšepe, 'me susceptor ea graphite e tla senyeha ebe e oa, e leng ho fokotsang haholo bophelo ba tšebeletso ea graphite susceptor. Ka nako e ts'oanang, phofshoana e oelang ea graphite e tla boela e bake tšilafalo ho sephaphatha, kahoo mathata ana a hloka ho rarolloa ha ho lokisoa setsi. Theknoloji ea ho roala e ka fana ka ho lokisa phofo ea holim'a metsi, ho ntlafatsa conductivity ea mocheso, le ho leka-lekanya ho arola mocheso, 'me e fetohile theknoloji e ka sehloohong ea ho rarolla bothata bona.

Ho ea ka tikoloho ea ts'ebeliso le litlhoko tsa ts'ebeliso ea setsi sa graphite, ho roala holimo ho lokela ho ba le litšobotsi tse latelang:

1. Boima bo phahameng le tšireletso e felletseng:Setsi sa graphite se maemong a phahameng a mocheso le tikoloho ea ts'ebetso e senyang. Sebaka se ka holimo se tlameha ho koaheloa ka ho feletseng, 'me seaparo se tlameha ho ba le sekhahla se setle ho phetha karolo e ntle ea tšireletso.

2. Bophahamo bo botle ba bokaholimo:Kaha setsi sa graphite se sebelisetsoang khōlo ea kristale e le 'ngoe se hloka sebaka se phahameng haholo se holimo, sephahla sa pele sa setsi se tlameha ho bolokoa ka mor'a hore ho lokisoe ho lokisoa, ke hore, holim'a seaparo se lokela ho ba se tšoanang.

3. Matla a matle a tlamahano:Ho fokotsa phapang pakeng tsa motheo oa graphite le thepa ea ho roala ho ka ntlafatsa ka katleho matla a ho kopanya pakeng tsa tse peli. Ka mor'a ho ba le mocheso o phahameng le o tlaase oa mocheso oa mocheso, ho roala ha ho bonolo ho senya.

4. High thermal conductivity:Khōlo ea boleng bo phahameng ba chip e hloka setsi sa graphite ho fana ka mocheso o potlakileng le o ts'oanang, kahoo thepa ea ho roala e lokela ho ba le mocheso o phahameng oa mocheso.

5. Sebaka se phahameng sa ho qhibiliha, ho hanyetsa mocheso o phahameng oa oxidation le ho hanyetsa kutu:Ho roala ho lokela ho sebetsa ka mokhoa o tsitsitseng mocheso o phahameng le tikoloho ea ho sebetsa e senyang.

The mogote botsitso, mogote ho tšoana le likarolo tse ling tsa tshebetso yaSiC e koahetsoeng ka graphite susceptorbapala karolo ea bohlokoa boleng ba kholo ea thepa ea epitaxial, ka hona ke karolo ea mantlha ea lisebelisoa tsa MOCVD.

β-SiC (3C-SiC) foromo ea kristale e khethoa e le ho roala. Ha ho bapisoa le mefuta e meng ea kristale, mofuta ona oa kristale o na le letoto la lisebelisoa tse ntle tse kang botsitso bo botle ba thermodynamic, khanyetso ea oxidation le ho hanyetsa kutu. Ka nako e ts'oanang, e na le conductivity ea mocheso eo ha e le hantle e lumellanang le ea graphite, kahoo e fana ka lisebelisoa tse khethehileng tsa motheo oa graphite. E ka rarolla ka katleho ho hlōleha ha setsi sa graphite se bakoang ke mocheso o phahameng oa oxidation le ho senyeha ha phofshoana nakong ea tšebeletso, 'me ea etsa hore bokaholimo ba graphite bo be boima, bo se nang porous, mocheso o phahameng oa mocheso, anti-corrosion, anti-oxidation le litšobotsi tse ling, ka tsela eo, ho ntlafatsa boleng ba kristale epitaxial le bophelo ba tšebeletso ea graphite ea bophelo bo botle ba graphite. libopi).

Mokhoa oa ho khetha terei ea graphite ea MOCVD / susceptor e hanyetsanang le mocheso o phahameng le ho bola?

Ha u khetha aterei ea graphite kapa susceptor bakeng sa MOCVDe hanyetsanang le kutu e phahameng ea mocheso, lintlha tse latelang tsa bohlokoa li lokela ho nahanoa:

1. Bohloeki ba lintho tse bonahalang:Lisebelisoa tsa graphite tse hloekileng haholo li ka hanela kutu le oxidation ka mocheso o phahameng le ho fokotsa tšusumetso ea litšila ts'ebetsong ea deposition.

2. Boima le porosity:Li-trays tsa graphite tse nang le sekhahla se phahameng le porosity e tlase li na le matla a betere a mochini le ho hanyetsa kutu, 'me li ka thibela ka nepo ho kenella ha khase le khoholeho ea thepa.

3. Thermal conductivity:The high thermal conductivity graphite tray e thusa ho arola mocheso ka ho lekana, ho fokotsa khatello ea mocheso, le ho ntlafatsa botsitso le bophelo ba tšebeletso ea thepa.

4. Phekolo ea sefahleho:Li-pallets tsa graphite tse kileng tsa etsoa kalafo e khethehileng ea holim'a metsi, joalo ka ho roala kapa ho roala, li ka ntlafatsa ho hanyetsa ha tsona le ho se mamelle.

5. Boholo le sebopeho:Ho ea ka litlhoko tse khethehileng tsa thepa ea MOCVD, khetha boholo bo loketseng le sebōpeho ho netefatsa ho lumellana ha terei le lisebelisoa le boiketlo ba ts'ebetso.

6. Setumo sa Moetsi:Khetha moetsi ea nang le botumo bo botle le phihlelo e ruileng ho netefatsa ho tšepahala ha boleng ba sehlahisoa le tšebeletso ea ka mor'a thekiso.

7. Ho boloka litšenyehelo:Motheong oa ho fihlela litlhoko tsa tekheniki, nahana ka ho boloka litšenyehelo 'me u khethe lihlahisoa tse nang le litšenyehelo tse holimo.

VET Energy ke mofani oa thepa e phahameng ea graphite susceptor, re fana ka mefuta e mengata e fapaneng, 'me e ka sebelisoa ho thepa ea MOCVD ea mefuta e sa tšoaneng, mehlala le litlhaloso. TheSiC e koahetsoeng ka graphite susceptore hlahisoang ke VET Energy ha e na lintlha tsa ho ikopanya le li-coating le lihokelo tse fokolang. Mabapi le bophelo ba ts'ebeletso, ba ka fihlela litlhoko tsa bareki ba nang le litlhoko tse fapaneng (ho kenyeletsoa tšebeliso ea li-atmospheres tse nang le chlorine), 'me bareki ba amoheleha ho buisana le ho botsa.