MOCVD گرافىت تەخسىسى دېگەن نېمە؟

ۋافېر ئېپىتاكسىيال ئۆسۈشى مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك پار چۆكمىسى (MOCVD) تېخنىكىسى ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشىدۇ، بۇ تېخنىكىدا ئىنتايىن ساپ گازلار رېئاكتورغا قۇيۇلىدۇ ۋە ئىنچىكە ئۆلچەنگەندىن كېيىن، ئۇلار يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىرلىشىپ خىمىيىلىك ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدۇ ھەمدە ئىنتايىن نېپىز ئاتوم قەۋىتىدىكى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلارغا چۆكۈپ، ماتېرىياللار ۋە بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچلەرنىڭ ئېپىتاكسىيىسىنى ھاسىل قىلىدۇ.

CVD ئۈسكۈنىلىرىدە، ئاساسىي تاختىنى بىۋاسىتە مېتالغا ياكى ئاددىيلا ئېپىتاكسىيال چۆكمە ئاساسىغا قويۇشقا بولمايدۇ، چۈنكى ئۇ نۇرغۇن ئامىللارنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ. شۇڭا، ئاساسىي تاختىنى تۇتۇش ئۈچۈن بىر سېپتور ياكى تەخسە لازىم، ئاندىن CVD تېخنىكىسى ئارقىلىق ئاساسىي تاختىغا ئېپىتاكسىيال چۆكمە قىلىش كېرەك. بۇ سېپتور بىرMOCVD گرافىت سۇسسېپتورى(يەنە دېيىلىدۇMOCVD گرافت تەخسىسى).

ئۇنىڭ قۇرۇلمىسى تۆۋەندىكى رەسىمدە كۆرسىتىلدى:

نېمە ئۈچۈن گرافىت توسۇش سېپتورى CVD قاپلىمىسىغا موھتاج؟

گرافىت سۇسسېپتورى MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق زاپچاسلىرىنىڭ بىرى. ئۇ ئاساسىي قاتلامنىڭ توشۇغۇچىسى ۋە قىزىتىش ئېلېمېنتى. ئۇنىڭ ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ۋە ئىسسىقلىق بىردەكلىكى قاتارلىق ئىقتىدار پارامېتىرلىرى ئېپىتاكسىيە ماتېرىيال ئۆسۈش سۈپىتىگە ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ ھەمدە ئېپىتاكسىيە نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنىڭ بىردەكلىكى ۋە ساپلىقىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ. شۇڭا، ئۇنىڭ سۈپىتى ئېپىتاكسىيە ۋافرىلىرىنى تەييارلاشقا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئىشلىتىش سانىنىڭ ئېشىشى ۋە خىزمەت شارائىتىنىڭ ئۆزگىرىشىگە ئەگىشىپ، ئۇنى ئىشلىتىش ئاسان، ئۇ ئىستېمال قىلىنىدىغان بۇيۇم. گرافىتنىڭ ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە مۇقىملىقى ئۇنىڭغا MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسىي زاپچاسلىرى سۈپىتىدە زور ئەۋزەللىك بېرىدۇ.

ئەمما، ئەگەر ئۇ پەقەت ساپ گرافىت بولسا، بەزى مەسىلىلەر كۆرۈلىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا، قالدۇق چىرىش گازلىرى ۋە مېتال ئورگانىك ماددىلار بولىدۇ، گرافىت سىم قاپلىمىسى چىرىپ چۈشۈپ كېتىدۇ، بۇ گرافىت سىم قاپلىمىسىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى زور دەرىجىدە قىسقارتىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، چۈشۈپ كەتكەن گرافىت پاراشوكىمۇ ۋافلىنىڭ بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، شۇڭا بۇ مەسىلىلەرنى ئاساسنى تەييارلاش جەريانىدا ھەل قىلىش كېرەك. قاپلاش تېخنىكىسى يۈزەكى پاراشوكنى بېكىتىش، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى ئاشۇرۇش ۋە ئىسسىقلىق تەقسىماتىنى تەڭشەشنى تەمىنلىيەلەيدۇ، ھەمدە بۇ مەسىلىنى ھەل قىلىشتىكى ئاساسلىق تېخنىكىغا ئايلاندى.

گرافىت ئاساسىنىڭ قوللىنىش مۇھىتى ۋە ئىشلىتىش تەلىپىگە ئاساسەن، يۈزەكى قاپلاش تۆۋەندىكى ئالاھىدىلىكلەرگە ئىگە بولۇشى كېرەك:

1. يۇقىرى زىچلىق ۋە تولۇق قاپلاش:گرافىت ئاساسى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشچان خىزمەت مۇھىتىدا بولىدۇ. يۈزى تولۇق قاپلانغان بولۇشى، ھەمدە ياخشى قوغداش رولىنى ئويناش ئۈچۈن قاپلاش زىچلىقى ياخشى بولۇشى كېرەك.

2. يۈزەكى تۈزلۈك ياخشى:يەككە كىرىستال ئۆستۈرۈشتە ئىشلىتىلىدىغان گرافىت ئاساسى ناھايىتى يۇقىرى يۈز تۈزلۈكىنى تەلەپ قىلغاچقا، قاپلاش تەييارلانغاندىن كېيىن ئاساسنىڭ دەسلەپكى تۈزلۈكىنى ساقلاش كېرەك، يەنى قاپلاش يۈزى بىردەك بولۇشى كېرەك.

3. ياخشى باغلىنىش كۈچى:گرافىت ئاساسى بىلەن قاپلاش ماتېرىيالى ئوتتۇرىسىدىكى ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ پەرقىنى ئازايتىش ئارقىلىق ئىككىسىنىڭ باغلىنىش كۈچىنى ئۈنۈملۈك ياخشىلىغىلى بولىدۇ. يۇقىرى ۋە تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق ئىسسىقلىق دەۋرىيلىكىنى باشتىن كەچۈرگەندىن كېيىن، قاپلاش ئاسان يېرىلىپ كەتمەيدۇ.

4. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:يۇقىرى سۈپەتلىك چىپس ئۆستۈرۈش ئۈچۈن، تېز ۋە بىردەك ئىسسىقلىق بىلەن تەمىنلەش ئۈچۈن گرافىت ئاساسى تەلەپ قىلىنىدۇ، شۇڭا قاپلاش ماتېرىيالى يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىغا ئىگە بولۇشى كېرەك.

5. يۇقىرى ئېرىش نۇقتىسى، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئوكسىدلىنىشقا چىداملىق ۋە چىرىشكە چىداملىق:بۇ قاپلاش يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشچان خىزمەت مۇھىتىدا مۇقىم ئىشلىيەلەيدىغان بولۇشى كېرەك.

ئىسسىقلىق مۇقىملىقى، ئىسسىقلىق بىردەكلىكى ۋە باشقا ئىقتىدار پارامېتىرلىرىSiC قاپلانغان گرافىت سېپتورىئېپىتاكسىيەلىك ماتېرىيال ئۆسۈش سۈپىتىگە ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ، شۇڭا ئۇ MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسلىق تەركىبىي قىسمى.

β-SiC (3C-SiC) كىرىستال شەكلى قاپلاش سۈپىتىدە تاللانغان. باشقا كىرىستال شەكىللىرى بىلەن سېلىشتۇرغاندا، بۇ كىرىستال شەكلى ياخشى تېرمودىنامىكىلىق مۇقىملىق، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش قاتارلىق بىر قاتار ئەلا سۈپەتلىك خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، ئۇنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئاساسەن گرافىت بىلەن ئوخشاش بولۇپ، گرافىت ئاساسىغا ئالاھىدە خۇسۇسىيەت بېرىدۇ. ئۇ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئوكسىدلىنىش، چىرىش ۋە ئىشلىتىش جەريانىدا پاراشوك يوقىلىشى سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان گرافىت ئاساسىنىڭ بۇزۇلۇشىنى ئۈنۈملۈك ھەل قىلالايدۇ، ھەمدە گرافىت ئاساسىنىڭ يۈزىنى زىچ، تۆشۈكسىز، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق، چىرىشكە قارشى تۇرۇش، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش قاتارلىق خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە قىلىپ، كىرىستال ئېپىتاكسىيال سۈپىتى ۋە گرافىت ئاساسىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرىنى ياخشىلايدۇ (SiC قاپلانغان گرافىت ئاساسىنىڭ ئىشلىتىش ئۆمرى ئوچاقلاردا ئۆلچىنىدۇ).

يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشكە چىداملىق MOCVD گرافت تەخسىسى/سۇسېپتورىنى قانداق تاللاش كېرەك؟

تاللىغانداMOCVD نىڭ گرافت تەخسى ياكى سۈمۈرگۈچيۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق چىرىشكە چىداملىق بولۇش ئۈچۈن، تۆۋەندىكى ئاساسلىق ئامىللارنى ئويلىشىش كېرەك:

1. ماتېرىيالنىڭ ساپلىقى:يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا چىرىش ۋە ئوكسىدلىنىشقا تېخىمۇ ياخشى قارشى تۇرالايدۇ ھەمدە ئارىلاشمىلارنىڭ چۆكمە جەريانىغا بولغان تەسىرىنى ئازايتىدۇ.

2. زىچلىق ۋە تۆشۈكلۈك:يۇقىرى زىچلىقتىكى ۋە تۆۋەن تۆشۈكلۈكتىكى گرافىت تەخسىلىرىنىڭ مېخانىكىلىق كۈچى ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى يۇقىرى بولۇپ، گازنىڭ سىڭىپ كىرىشى ۋە ماتېرىيالنىڭ ئېروزىيەسىنىڭ ئۈنۈملۈك ئالدىنى ئالىدۇ.

3. ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىغا ئىگە گرافىت تەخسىسى ئىسسىقلىقنى تەكشى تارقىتىشقا، ئىسسىقلىق بېسىمىنى ئازايتىشقا ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقى ۋە ئىشلىتىش ئۆمرىنى ياخشىلاشقا ياردەم بېرىدۇ.

4. يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىش:سىرلاش ياكى قاپلاش قاتارلىق ئالاھىدە يۈزەكى بىر تەرەپ قىلىنىشتىن ئۆتكەن گرافىت پالتىلىرى ئۇلارنىڭ چىرىشكە چىدامچانلىقى ۋە ئۇپراشقا چىدامچانلىقىنى تېخىمۇ ئاشۇرالايدۇ.

5. چوڭ-كىچىكلىكى ۋە شەكلى:MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كونكرېت تەلىپىگە ئاساسەن، تەخسىنىڭ ئۈسكۈنىلەر بىلەن ماسلىشىشى ۋە ئىشلىتىشنىڭ قولايلىقلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن مۇۋاپىق چوڭلۇق ۋە شەكىلنى تاللاڭ.

6. ئىشلەپچىقارغۇچىنىڭ ئابرويى:مەھسۇلات سۈپىتى ۋە سېتىشتىن كېيىنكى مۇلازىمەتنىڭ ئىشەنچلىكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىش ئۈچۈن، ياخشى ئابرويغا ۋە مول تەجرىبىگە ئىگە ئىشلەپچىقارغۇچىنى تاللاڭ.

7. چىقىمنىڭ ئۈنۈملۈكلۈكى:تېخنىكىلىق تەلەپلەرگە ئۇيغۇن بولۇش ئاساسىدا، تەننەرخ ئۈنۈمىنى ئويلىشىپ، تەننەرخى يۇقىرى بولغان مەھسۇلاتلارنى تاللاڭ.

VET Energy شىركىتى يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافىت سۇسسېپتور تەمىنلىگۈچىسى بولۇپ، بىز كەڭ دائىرىلىك تۈرلەرنى تەمىنلەيمىز، ھەمدە ھەر خىل ماركىلىق، مودېللىق ۋە ئۆلچەمدىكى MOCVD ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ.SiC قاپلانغان گرافىت سېپتورىVET Energy شىركىتى ئىشلەپچىقارغان بۇ مەھسۇلاتلارنىڭ قاپلاش نۇقتىسى ۋە ئاجىز ھالقىسى يوق. ئىشلىتىش مۇددىتى جەھەتتە، ئۇلار ئوخشىمىغان ئېھتىياجدىكى خېرىدارلارنىڭ تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ (خلور تەركىبلىك ئاتموسفېرا ئىشلىتىشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ)، خېرىدارلار مەسلىھەت سوراپ مەسلىھەت سورايدۇ.