Wafer epitaxial نىڭ ئۆسۈشى مېتال ئورگانىك خىمىيىلىك ھور چۆكمىسى (MOCVD) تېخنىكىسى ئارقىلىق ئەمەلگە ئاشىدۇ ، بۇ تېخنىكىدا دەرىجىدىن تاشقىرى ساپ گازلار رېئاكتورغا ئوكۇل قىلىنىدۇ ۋە ئىنچىكە ئۆلچەم قىلىنىدۇ ، شۇڭا ئۇلار يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا بىرىكىپ خىمىيىلىك ئۆز-ئارا تەسىر پەيدا قىلىدۇ ھەمدە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرغا قويۇلۇپ ، ماتېرىيال ۋە بىرىكمە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ھاسىل قىلىدۇ.
CVD ئۈسكۈنىلىرىدە ، ئاستىرتتىن بىۋاسىتە مېتالغا ياكى ئاددىيلا يەر تەۋرەشنىڭ چۆكمىسىگە قويۇشقا بولمايدۇ ، چۈنكى ئۇ نۇرغۇن ئامىللارنىڭ تەسىرىگە ئۇچرايدۇ. شۇڭلاشقا ، سۈمۈرگۈچ ياكى تەخسە يەر ئاستى سۈيىنى ساقلاپ قېلىشقا ئېھتىياجلىق ، ئاندىن CVD تېخنىكىسىنى ئىشلىتىپ يەر ئاستى قىسمىغا تۇتقاقلىق چۆكۈش ئېلىپ بارىدۇ. بۇ سېزىمچانMOCVD گرافت سۈمۈرگۈچ(دەپمۇ ئاتىلىدۇMOCVD گرافىك تەخسى).
ئۇنىڭ قۇرۇلمىسى تۆۋەندىكى رەسىمدە كۆرسىتىلدى:
نېمىشقا گرافت سۈمۈرگۈچ CVD سىرغا ئېھتىياجلىق؟
گرافت سېزىمچانلىقى MOCVD ئۈسكۈنىلىرىدىكى يادرولۇق تەركىبلەرنىڭ بىرى. ئۇ تارماق بالا توشۇغۇچى ۋە ئىسسىنىش ئېلېمېنتى. ئۇنىڭ ئىسسىقلىق تۇراقلىقلىقى ۋە ئىسسىقلىق بىردەكلىكى قاتارلىق ئىقتىدار پارامېتىرلىرى يەر شارى خاراكتېرلىك ماددىلارنىڭ ئۆسۈشىدە ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ ھەمدە تۇتقاقلىق نېپىز پەردە ماتېرىياللىرىنىڭ بىردەكلىكى ۋە ساپلىقىنى بىۋاسىتە بەلگىلەيدۇ. شۇڭلاشقا ، ئۇنىڭ سۈپىتى تۇتقاقلىق ۋافېرنىڭ تەييارلىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئىشلىتىش قېتىم سانىنىڭ ئېشىشى ۋە خىزمەت شارائىتىنىڭ ئۆزگىرىشى بىلەن ، كىيىش ۋە يىرتىش ناھايىتى ئاسان ، ئۇ ئىستېمال قىلىشقا بولىدۇ. گرافتنىڭ ئېسىل ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە مۇقىملىقى ئۇنى MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ ئاساسى تەركىبىي قىسمى سۈپىتىدە زور ئەۋزەللىككە ئىگە قىلىدۇ.
قانداقلا بولمىسۇن ، ئۇ پەقەت ساپ گرافت بولسا ، بەزى مەسىلىلەر كېلىپ چىقىدۇ. ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا قالدۇق چىرىتكۈچى گاز ۋە مېتال ئورگانىك ماددىلار بولىدۇ ، گرافت سۈمۈرگۈچ چىرىتىپ يىقىلىدۇ ، بۇ گرافت سۈمۈرگۈچنىڭ خىزمەت ئۆمرىنى زور دەرىجىدە قىسقارتىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، چۈشۈپ كەتكەن گرافت پاراشوكىمۇ ۋافېرنىڭ بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، شۇڭا بۇ مەسىلىلەرنى بازىنىڭ تەييارلىق جەريانىدا ھەل قىلىش كېرەك. سىرلاش تېخنىكىسى يەر ئۈستى پاراشوكىنى ئوڭشاش ، ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقىنى ئاشۇرۇش ۋە ئىسسىقلىق تارقىتىشنى تەڭپۇڭلاشتۇرالايدۇ ھەمدە بۇ مەسىلىنى ھەل قىلىدىغان ئاساسلىق تېخنىكىغا ئايلاندى.
گرافىك بازىسىنىڭ قوللىنىش مۇھىتى ۋە ئىشلىتىش تەلىپىگە ئاساسەن ، يەر يۈزىگە تۆۋەندىكىدەك ئالاھىدىلىكلەر بولۇشى كېرەك:
1. يۇقىرى زىچلىق ۋە تولۇق قاپلاش:گرافت ئاساسى يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىشچان خىزمەت مۇھىتىدا. يۈزى چوقۇم تولۇق يېپىلىشى كېرەك ، سىرنىڭ ياخشى زىچلىقى بولۇشى كېرەك.
2. يەر يۈزىنىڭ تەكشىلىكى:يەككە كىرىستالنىڭ ئۆسۈشىگە ئىشلىتىلىدىغان گرافت ئاساسى ئىنتايىن يۇقىرى يەر يۈزى تەكشىلىكىنى تەلەپ قىلىدىغان بولغاچقا ، سىر تەييارلانغاندىن كېيىن چوقۇم ئەسلىدىكى تەكشىلىكنى ساقلاش كېرەك ، يەنى سىر يۈزى چوقۇم بىردەك بولۇشى كېرەك.
3. ياخشى باغلىنىش كۈچى:گرافت ئاساسى بىلەن سىر ماتېرىياللىرى ئارىسىدىكى ئىسسىقلىق كېڭىيىش كوئېففىتسېنتىنىڭ پەرقىنى ئازايتىش ئىككىسىنىڭ باغلىنىش كۈچىنى ئۈنۈملۈك يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ. يۇقىرى ۋە تۆۋەن تېمپېراتۇرا ئىسسىقلىق دەۋرىنى باشتىن كەچۈرگەندىن كېيىن ، سىرنى ئاسان يېرىش ئاسان ئەمەس.
4. يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:ئەلا سۈپەتلىك ئۆزەكنىڭ ئۆسۈشى گرافت بازىسىنىڭ تېز ۋە بىردەك ئىسسىقلىق بىلەن تەمىنلىشىنى تەلەپ قىلىدۇ ، شۇڭا سىر ماتېرىياللىرىنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى يۇقىرى بولۇشى كېرەك.
5. يۇقىرى ئېرىتىش نۇقتىسى ، يۇقىرى تېمپېراتۇرا ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە چىرىشكە چىداملىق:سىر يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىتىشچان خىزمەت مۇھىتىدا مۇقىم ئىشلىيەلەيدىغان بولۇشى كېرەك.
ئىسسىقلىق مۇقىملىقى ، ئىسسىقلىق بىرلىكى ۋە باشقا ئىقتىدار پارامېتىرلىرىSiC قاپلانغان گرافت سۈمۈرگۈچتۇتقاقلىق ماددىنىڭ ئۆسۈشىدە ھەل قىلغۇچ رول ئوينايدۇ ، شۇڭا ئۇ MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ يادرولۇق مۇھىم تەركىبىي قىسمى.
β-SiC (3C-SiC) كىرىستال شەكلى سىر سۈپىتىدە تاللانغان. باشقا خرۇستال شەكىللەرگە سېلىشتۇرغاندا ، بۇ خرۇستال شەكىل ياخشى تېرمودىنامىكىلىق مۇقىملىق ، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش قاتارلىق بىر قاتار ئېسىل خۇسۇسىيەتلەرگە ئىگە. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا ، ئۇنىڭ ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى بار بولۇپ ، گرافت بىلەن ئاساسەن ماس كېلىدۇ ، شۇڭا گرافت ئاساسى ئالاھىدە خۇسۇسىيەتكە ئىگە. ئۇ مۇلازىمەت جەريانىدا يۇقىرى تېمپېراتۇرىلىق ئوكسىدلىنىش ۋە چىرىش ۋە پاراشوك يوقىتىش سەۋەبىدىن كېلىپ چىققان گرافت بازىسىنىڭ مەغلۇبىيىتىنى ئۈنۈملۈك ھەل قىلالايدۇ ، ھەمدە گرافت بازىسىنىڭ يۈزىنى قويۇق ، تۆشۈكسىز ، يۇقىرى تېمپېراتۇرىغا چىداملىق ، چىرىشكە قارشى تۇرۇش ، ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرۇش ۋە باشقا ئالاھىدىلىكلەرگە ئايلاندۇرالايدۇ ، بۇ ئارقىلىق كرىستال تۇتقاقلىق سۈپىتىنى ئۆستۈرىدۇ ۋە گرافت بازىسىنىڭ مۇلازىمەت ئۆمرى (SiC سىرلانغان گرافت بازىسىنىڭ مۇلازىمەت ئۆمرى).
يۇقىرى تېمپېراتۇرا ۋە چىرىشكە چىداملىق MOCVD گرافت تەخسىسى ياكى سۈمۈرگۈچنى قانداق تاللاش كېرەك؟
A نى تاللىغانداMOCVD نىڭ گرافت تەخسىسى ياكى سۈمۈرگۈچيۇقىرى تېمپېراتۇرىنىڭ چىرىشىگە چىداملىق ، تۆۋەندىكى مۇھىم ئامىللارنى ئويلىشىش كېرەك:
1. ماتېرىيال ساپلىقى:يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافت ماتېرىياللىرى يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا چىرىش ۋە ئوكسىدلىنىشقا قارشى تۇرالايدۇ ھەمدە بۇلغانمىلارنىڭ چۆكمە جەريانىغا بولغان تەسىرىنى ئازايتالايدۇ.
2. زىچلىقى ۋە جۇشقۇنلۇقى:زىچلىقى يۇقىرى ، جەلپكارلىقى تۆۋەن بولغان گرافت تەخسىسىنىڭ مېخانىك كۈچى ۋە چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارى تېخىمۇ ياخشى بولۇپ ، گازنىڭ سىڭىپ كىرىشى ۋە ماددىنىڭ ئېقىپ كېتىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ.
3. ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچانلىقى:يۇقىرى ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈشچان گرافت تەخسى ئىسسىقلىقنى تەكشى تەقسىملەشكە ، ئىسسىقلىق بېسىمىنى تۆۋەنلىتىشكە ۋە ئۈسكۈنىلەرنىڭ مۇقىملىقى ۋە مۇلازىمەت ئۆمرىنى ياخشىلاشقا ياردەم بېرىدۇ.
4. يۈزەكى داۋالاش:سىرلاش ياكى تەخسە قاتارلىق ئالاھىدە يۈزەكى داۋالاشنى باشتىن كەچۈرگەن گرافىك پەلەمپەيلەر ئۇلارنىڭ چىرىشكە قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى ۋە ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش ئىقتىدارىنى تېخىمۇ يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.
5. چوڭلۇقى ۋە شەكلى:MOCVD ئۈسكۈنىلىرىنىڭ كونكرېت تەلىپىگە ئاساسەن ، مۇۋاپىق چوڭلۇق ۋە شەكىلنى تاللاڭ ، تەخسەنىڭ ئۈسكۈنىلەر بىلەن ماسلىشىشچانلىقى ۋە مەشغۇلات قولايلىقلىقىغا كاپالەتلىك قىلىڭ.
6. ئىشلەپچىقارغۇچىنىڭ ئىناۋىتى:ياخشى نام ۋە مول تەجرىبىگە ئىگە ئىشلەپچىقارغۇچىنى تاللاڭ ، مەھسۇلات سۈپىتى ۋە سېتىشتىن كېيىنكى مۇلازىمەتنىڭ ئىشەنچلىك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىڭ.
7. تەننەرخ ئۈنۈمى:تېخنىكىلىق تەلەپنى قاندۇرۇش ئالدىنقى شەرتى ئاستىدا ، تەننەرخنى تېجەشنى ئويلىشىپ ، تەننەرخى يۇقىرى مەھسۇلاتلارنى تاللاڭ.
VET ئېنىرگىيىسى يۇقىرى ساپلىقتىكى گرافت سۈمۈرگۈچ بىلەن تەمىنلىگۈچى ، بىز نۇرغۇن تۈرلەرنى تەمىنلەيمىز ، ئوخشىمىغان ماركا ، مودېل ۋە ئۆلچەمدىكى MOCVD ئۈسكۈنىلىرىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ. TheSiC قاپلانغان گرافت سۈمۈرگۈچVET ئېنېرگىيىسى ئىشلەپچىقارغان سىرلاش ئالاقىلىشىش نۇقتىسى ۋە ئاجىز ئۇلىنىشى يوق. مۇلازىمەت ئۆمرى جەھەتتە ، ئۇلار ئوخشىمىغان ئېھتىياج (خېرىدارلارنىڭ تەركىبىدە خلور بار ئاتموسفېرا ئىشلىتىشنىمۇ ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ) نىڭ تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ ، خېرىدارلارنىڭ مەسلىھەت سوراش ۋە سۈرۈشتۈرۈشىنى قارشى ئالىمىز.
يوللانغان ۋاقتى: 01-مارتتىن 2025-يىلغىچە