Trei ya grafiti ya MOCVD ni nini?

Ukuaji wa epitaxial ya wafer hupatikana kupitia teknolojia ya uwekaji wa mvuke wa kemikali hai ya metali (MOCVD), ambapo gesi safi sana huingizwa kwenye mtambo na kupimiwa vizuri, ili ziungane kwenye halijoto ya juu ili kusababisha mwingiliano wa kemikali na huwekwa kwenye wafer za semiconductor katika tabaka nyembamba sana za atomiki ili kuunda epitaxy ya vifaa na semiconductor misombo.

Katika vifaa vya CVD, sehemu ya chini haiwezi kuwekwa moja kwa moja kwenye chuma au kwenye msingi wa uwekaji wa epitaxial, kwa sababu itaathiriwa na mambo mengi. Kwa hivyo, susceptor au trei inahitajika kushikilia sehemu ya chini, na kisha kutumia teknolojia ya CVD kutekeleza uwekaji wa epitaxial kwenye sehemu ya chini. susceptor hii nikidhibiti cha grafiti cha MOCVD(pia huitwaTrei ya grafiti ya MOCVD).

Muundo wake unaonyeshwa kwenye mchoro ufuatao:

Kwa nini kifaa cha grafiti kinahitaji mipako ya CVD?

Kifaa cha grafiti ni mojawapo ya vipengele muhimu katika vifaa vya MOCVD. Ni kipengele cha kubeba na kupasha joto cha substrate. Vigezo vyake vya utendaji kama vile uthabiti wa joto na ulinganifu wa joto huchukua jukumu muhimu katika ubora wa ukuaji wa nyenzo za epitaxial, na huamua moja kwa moja ulinganifu na usafi wa vifaa vya filamu nyembamba vya epitaxial. Kwa hivyo, ubora wake huathiri moja kwa moja utayarishaji wa wafers za epitaxial. Wakati huo huo, pamoja na ongezeko la idadi ya matumizi na mabadiliko katika hali ya kazi, ni rahisi sana kuvaa na kurarua, ni kifaa kinachoweza kuliwa. Upitishaji bora wa joto na uthabiti wa grafiti huipa faida kubwa kama sehemu ya msingi ya vifaa vya MOCVD.

Hata hivyo, ikiwa ni grafiti safi tu, kutakuwa na matatizo fulani. Katika mchakato wa uzalishaji, kutakuwa na mabaki ya gesi babuzi na vitu vya kikaboni vya chuma, na susceptor ya grafiti itaharibika na kuanguka, ambayo hupunguza sana maisha ya huduma ya susceptor ya grafiti. Wakati huo huo, unga wa grafiti unaoanguka pia utasababisha uchafuzi kwenye kaki, kwa hivyo matatizo haya yanahitaji kutatuliwa katika mchakato wa maandalizi ya msingi. Teknolojia ya mipako inaweza kutoa urekebishaji wa unga wa uso, kuongeza upitishaji wa joto, na kusawazisha usambazaji wa joto, na imekuwa teknolojia kuu ya kutatua tatizo hili.

Kulingana na mazingira ya matumizi na mahitaji ya matumizi ya msingi wa grafiti, mipako ya uso inapaswa kuwa na sifa zifuatazo:

1. Msongamano mkubwa na chanjo kamili:Msingi wa grafiti uko katika mazingira ya kazi yenye joto la juu na babuzi. Uso lazima ufunikwe kikamilifu, na mipako lazima iwe na msongamano mzuri ili kuchukua jukumu nzuri la kinga.

2. Uso mzuri wa gorofa:Kwa kuwa msingi wa grafiti unaotumika kwa ukuaji wa fuwele moja unahitaji uthabiti wa uso wa juu sana, uthabiti wa asili wa msingi lazima udumishwe baada ya mipako kutayarishwa, yaani, uso wa mipako lazima uwe sare.

3. Nguvu nzuri ya kuunganisha:Kupunguza tofauti katika mgawo wa upanuzi wa joto kati ya msingi wa grafiti na nyenzo za mipako kunaweza kuboresha kwa ufanisi nguvu ya kuunganisha kati ya hizo mbili. Baada ya kupitia mizunguko ya joto ya juu na ya chini, mipako si rahisi kupasuka.

4. Upitishaji joto wa hali ya juu:Ukuaji wa chipu zenye ubora wa juu unahitaji msingi wa grafiti ili kutoa joto la haraka na sawa, kwa hivyo nyenzo za mipako zinapaswa kuwa na upitishaji wa joto wa juu.

5. Kiwango cha juu cha kuyeyuka, upinzani wa oksidi ya joto la juu na upinzani wa kutu:Mipako inapaswa kuwa na uwezo wa kufanya kazi kwa utulivu katika mazingira ya kazi yenye joto la juu na babuzi.

Uthabiti wa joto, usawa wa joto na vigezo vingine vya utendaji waKifaa cha grafiti kilichofunikwa na SiCZina jukumu muhimu katika ubora wa ukuaji wa nyenzo za epitaxial, kwa hivyo ni sehemu muhimu ya vifaa vya MOCVD.

Umbo la fuwele la β-SiC (3C-SiC) huchaguliwa kama mipako. Ikilinganishwa na aina zingine za fuwele, umbo hili la fuwele lina mfululizo wa sifa bora kama vile uthabiti mzuri wa thermodynamic, upinzani wa oksidi na upinzani wa kutu. Wakati huo huo, lina upitishaji joto ambao kimsingi unaendana na ule wa grafiti, hivyo kutoa sifa maalum za msingi wa grafiti. Inaweza kutatua kwa ufanisi kushindwa kwa msingi wa grafiti unaosababishwa na oksidi ya halijoto ya juu na kutu na upotevu wa unga wakati wa huduma, na kufanya uso wa msingi wa grafiti kuwa mnene, usio na vinyweleo, sugu ya halijoto ya juu, kuzuia kutu, kuzuia oksidi na sifa zingine, na hivyo kuboresha ubora wa epitaxial ya fuwele na maisha ya huduma ya msingi wa grafiti (maisha ya huduma ya msingi wa grafiti iliyofunikwa na SiC hupimwa katika tanuru).

Jinsi ya kuchagua trei/kifaa cha grafiti cha MOCVD ambacho kinaweza kustahimili joto la juu na kutu?

Wakati wa kuchaguatrei ya grafiti au susceptor kwa MOCVDambayo ni sugu kwa kutu ya halijoto ya juu, mambo muhimu yafuatayo yanapaswa kuzingatiwa:

1. Usafi wa nyenzo:Vifaa vya grafiti vyenye usafi wa hali ya juu vinaweza kupinga kutu na oksidi vyema zaidi katika halijoto ya juu na kupunguza athari za uchafu kwenye mchakato wa utuaji.

2. Uzito na unyeti:Trei za grafiti zenye msongamano mkubwa na porosity ndogo zina nguvu bora ya mitambo na upinzani wa kutu, na zinaweza kuzuia kwa ufanisi kupenya kwa gesi na mmomonyoko wa nyenzo.

3. Upitishaji joto:Trei ya grafiti yenye upitishaji joto mwingi husaidia kusambaza joto sawasawa, kupunguza msongo wa joto, na kuboresha uthabiti na maisha ya huduma ya vifaa.

4. Matibabu ya uso:Pallet za grafiti ambazo zimefanyiwa matibabu maalum ya uso, kama vile mipako au upako, zinaweza kuongeza zaidi upinzani wao wa kutu na upinzani wa uchakavu.

5. Ukubwa na umbo:Kulingana na mahitaji mahususi ya vifaa vya MOCVD, chagua ukubwa na umbo linalofaa ili kuhakikisha utangamano wa trei na vifaa na urahisi wa uendeshaji.

6. Sifa ya mtengenezaji:Chagua mtengenezaji mwenye sifa nzuri na uzoefu mzuri ili kuhakikisha uaminifu wa ubora wa bidhaa na huduma ya baada ya mauzo.

7. Ufanisi wa gharama:Kwa kuzingatia mahitaji ya kiufundi, fikiria ufanisi wa gharama na uchague bidhaa zenye utendaji wa gharama ya juu.

VET Energy ni muuzaji wa grafiti safi sana, tunatoa aina mbalimbali za kategoria, na inaweza kutumika katika vifaa vya MOCVD vya chapa, modeli na vipimo tofauti.Kifaa cha grafiti kilichofunikwa na SiCZinazozalishwa na VET Energy hazina sehemu za kugusana na mipako na hazina viungo dhaifu. Kwa upande wa maisha ya huduma, zinaweza kukidhi mahitaji ya wateja wenye mahitaji tofauti (ikiwa ni pamoja na matumizi ya angahewa zenye klorini), na wateja wanakaribishwa kushauriana na kuuliza maswali.