Tray ya grafiti ya MOCVD ni nini?

Ukuaji wa epitaxial ya kaki hupatikana kupitia teknolojia ya uwekaji wa mvuke wa kemikali ya kikaboni (MOCVD) ya chuma, ambapo gesi safi zaidi hudungwa kwenye reactor na kupimwa vyema, ili zichanganyike kwenye halijoto ya juu kusababisha mwingiliano wa kemikali na huwekwa kwenye kaki za semiconductor katika tabaka nyembamba sana za atomiki ili kuunda semiconduct ya semiconductors.

Katika vifaa vya CVD, substrate haiwezi kuwekwa moja kwa moja kwenye chuma au tu kwa msingi wa utuaji wa epitaxial, kwa sababu itaathiriwa na mambo mengi. Kwa hiyo, susceptor au tray inahitajika ili kushikilia substrate, na kisha kutumia teknolojia ya CVD kufanya utuaji wa epitaxial kwenye substrate. Kishawishi hiki ni aKinasa cha grafiti cha MOCVD(pia inaitwatrei ya grafiti ya MOCVD).

Muundo wake umeonyeshwa kwenye takwimu hapa chini:

Kwa nini susceptor ya grafiti inahitaji mipako ya CVD?

Susceptor ya grafiti ni moja ya vipengele vya msingi katika vifaa vya MOCVD. Ni carrier na kipengele cha kupokanzwa cha substrate. Vigezo vyake vya utendakazi kama vile uthabiti wa joto na usawa wa mafuta huchukua jukumu muhimu katika ubora wa ukuaji wa nyenzo za epitaxial, na huamua moja kwa moja usawa na usafi wa nyenzo za filamu nyembamba za epitaxial. Kwa hiyo, ubora wake huathiri moja kwa moja maandalizi ya wafers epitaxial. Wakati huo huo, pamoja na ongezeko la idadi ya matumizi na mabadiliko katika hali ya kazi, ni rahisi sana kuvaa na kubomoa, ni ya matumizi. Conductivity bora ya mafuta na utulivu wa grafiti huipa faida kubwa kama sehemu ya msingi ya vifaa vya MOCVD.

Hata hivyo, ikiwa ni grafiti safi tu, kutakuwa na matatizo fulani. Katika mchakato wa uzalishaji, kutakuwa na mabaki ya gesi za babuzi na vitu vya kikaboni vya chuma, na susceptor ya grafiti itaharibika na kuanguka, ambayo hupunguza sana maisha ya huduma ya susceptor ya grafiti. Wakati huo huo, poda ya grafiti inayoanguka pia itasababisha uchafuzi wa kaki, hivyo matatizo haya yanahitajika kutatuliwa katika mchakato wa maandalizi ya msingi. Teknolojia ya mipako inaweza kutoa fixation ya poda ya uso, kuimarisha conductivity ya mafuta, na kusawazisha usambazaji wa joto, na imekuwa teknolojia kuu ya kutatua tatizo hili.

Kulingana na mazingira ya maombi na mahitaji ya matumizi ya msingi wa grafiti, mipako ya uso inapaswa kuwa na sifa zifuatazo:

1. Msongamano mkubwa na chanjo kamili:Msingi wa grafiti iko katika hali ya joto ya juu na mazingira ya kazi ya babuzi. Uso lazima ufunikwa kikamilifu, na mipako lazima iwe na wiani mzuri ili kucheza nafasi nzuri ya kinga.

2. Uso mzuri wa kujaa:Kwa kuwa msingi wa grafiti unaotumiwa kwa ukuaji wa kioo moja unahitaji gorofa ya juu sana ya uso, gorofa ya awali ya msingi lazima ihifadhiwe baada ya mipako kutayarishwa, yaani, uso wa mipako lazima uwe sare.

3. Nguvu nzuri ya kuunganisha:Kupunguza tofauti katika mgawo wa upanuzi wa mafuta kati ya msingi wa grafiti na nyenzo za mipako kunaweza kuboresha kwa ufanisi nguvu ya kuunganisha kati ya hizo mbili. Baada ya kupata mzunguko wa joto la juu na la chini la joto, mipako si rahisi kupasuka.

4. Uendeshaji wa juu wa mafuta:Ukuaji wa ubora wa chip unahitaji msingi wa grafiti ili kutoa joto la haraka na sare, hivyo nyenzo za mipako zinapaswa kuwa na conductivity ya juu ya mafuta.

5. Kiwango cha juu cha myeyuko, upinzani wa oxidation ya joto la juu na upinzani wa kutu:Mipako inapaswa kuwa na uwezo wa kufanya kazi kwa utulivu katika hali ya joto ya juu na mazingira ya kazi ya babuzi.

Utulivu wa joto, usawa wa mafuta na vigezo vingine vya utendajiSiC coated grafiti suceptorina jukumu muhimu katika ubora wa ukuaji wa nyenzo za epitaxial, kwa hivyo ni sehemu kuu ya vifaa vya MOCVD.

β-SiC (3C-SiC) fomu ya kioo huchaguliwa kama mipako. Ikilinganishwa na aina nyingine za fuwele, umbo hili la fuwele lina mfululizo wa sifa bora kama vile uthabiti mzuri wa thermodynamic, upinzani wa oxidation na ukinzani kutu. Wakati huo huo, ina conductivity ya mafuta ambayo kimsingi inafanana na ya grafiti, na hivyo kutoa msingi wa grafiti mali maalum. Inaweza kutatua kwa ufanisi kushindwa kwa msingi wa grafiti unaosababishwa na oxidation ya juu ya joto na kutu na upotevu wa poda wakati wa huduma, na kufanya uso wa msingi wa grafiti kuwa mnene, usio na porous, sugu ya joto la juu, kupambana na kutu, oxidation na sifa nyingine, na hivyo kuboresha ubora wa kioo epitaxial na maisha ya huduma ya msingi wa graphite iliyopimwa. tanuru).

Jinsi ya kuchagua trei ya grafiti ya MOCVD / suceptor ambayo ni sugu kwa joto la juu na kutu?

Wakati wa kuchagua atrei ya grafiti au susceptor kwa MOCVDambayo ni sugu kwa kutu ya joto la juu, mambo muhimu yafuatayo yanapaswa kuzingatiwa:

1. Usafi wa nyenzo:Nyenzo zenye ubora wa juu za grafiti zinaweza kustahimili kutu na oksidi kwenye joto la juu na kupunguza athari za uchafu kwenye mchakato wa uwekaji.

2. Msongamano na porosity:Trei za grafiti zilizo na msongamano mkubwa na porosity ya chini zina nguvu bora za mitambo na upinzani wa kutu, na zinaweza kuzuia kwa ufanisi kupenya kwa gesi na mmomonyoko wa nyenzo.

3. Uendeshaji wa joto:Tray ya grafiti ya conductivity ya juu ya mafuta husaidia kusambaza joto sawasawa, kupunguza matatizo ya joto, na kuboresha utulivu na maisha ya huduma ya vifaa.

4. Matibabu ya uso:Paleti za grafiti ambazo zimefanyiwa matibabu maalum ya uso, kama vile kupaka au kupaka, zinaweza kuongeza upinzani wao wa kutu na upinzani wa kuvaa.

5. Ukubwa na umbo:Kwa mujibu wa mahitaji maalum ya vifaa vya MOCVD, chagua ukubwa unaofaa na sura ili kuhakikisha utangamano wa tray na vifaa na urahisi wa uendeshaji.

6. Sifa ya mtengenezaji:Chagua mtengenezaji mwenye sifa nzuri na uzoefu tajiri ili kuhakikisha kuaminika kwa ubora wa bidhaa na huduma ya baada ya mauzo.

7. Ufanisi wa gharama:Kwa msingi wa kukidhi mahitaji ya kiufundi, zingatia ufaafu wa gharama na uchague bidhaa zenye utendakazi wa gharama ya juu.

VET Energy ni muuzaji wa susceptor wa ubora wa juu wa grafiti, tunatoa aina mbalimbali za makundi, na inaweza kutumika katika vifaa vya MOCVD vya chapa tofauti, mifano na vipimo. TheSiC coated grafiti suceptorzinazozalishwa na VET Energy hazina sehemu za mawasiliano za mipako na hakuna viungo dhaifu. Kwa upande wa maisha ya huduma, wanaweza kukidhi mahitaji ya wateja wenye mahitaji tofauti (ikiwa ni pamoja na matumizi ya angahewa zenye klorini), na wateja wanakaribishwa kushauriana na kuuliza.