A na-enweta uto epitaxial Wafer site na teknụzụ metal organic chemical deposition (MOCVD), nke a na-etinye gas dị ọcha nke ukwuu n'ime reactor ma tụọ ha nke ọma, nke mere na ha na-ejikọta na okpomọkụ dị elu iji mee ka mmekọrịta kemịkalụ dị n'etiti ha ma tinye ha na semiconductor wafers n'ime akwa atọm dị gịrịgịrị iji mepụta epitaxy nke ihe na semiconductor compound.
N'ime ngwa CVD, enweghị ike itinye ihe mkpuchi ahụ kpọmkwem na ígwè ma ọ bụ naanị na ntọala maka itinye ihe mkpuchi epitaxial, n'ihi na ọtụtụ ihe ga-emetụta ya. Ya mere, achọrọ ihe mkpuchi ma ọ bụ tray iji jide ihe mkpuchi ahụ, wee jiri teknụzụ CVD mee ihe mkpuchi epitaxial na ihe mkpuchi ahụ. Ihe mkpuchi a bụIhe na-egbochi MOCVD graphite(a na-akpọkwa yaTray graphite MOCVD).
E gosipụtara usoro ya na foto dị n'okpuru:
Gịnị mere ihe na-egbochi graphite ji achọ mkpuchi CVD?
Ihe na-egbochi graphite bụ otu n'ime ihe ndị dị mkpa na akụrụngwa MOCVD. Ọ bụ ihe na-ebu ma na-ekpo ọkụ nke substrate ahụ. Ihe ndị dị mkpa dịka nkwụsi ike okpomọkụ na ịdị n'otu okpomọkụ na-arụ ọrụ dị mkpa na ogo uto ihe epitaxial, ma na-ekpebi ozugbo otu na ịdị ọcha nke ihe nkiri dị gịrịgịrị nke epitaxial. Ya mere, ịdị mma ya na-emetụta nkwadebe nke wafers epitaxial. N'otu oge ahụ, na mmụba nke ọnụọgụ ojiji na mgbanwe na ọnọdụ ọrụ, ọ dị mfe iyi ma dọka, ọ bụ ihe a na-eri. Oke ike okpomọkụ na nkwụsi ike nke graphite na-enye ya nnukwu uru dịka ihe dị mkpa na akụrụngwa MOCVD.
Agbanyeghị, ọ bụrụ na ọ bụ naanị graphite dị ọcha, a ga-enwe nsogbu ụfọdụ. N'ime usoro mmepụta, a ga-enwe gas ndị na-emebi emebi na ihe ndị sitere n'okike nke ígwè, ihe na-egbochi graphite ga-emebi ma daa, nke na-ebelata ndụ ọrụ nke ihe na-egbochi graphite nke ukwuu. N'otu oge ahụ, ntụ graphite na-ada ada ga-ebutekwa mmetọ na wafer ahụ, yabụ a ga-edozi nsogbu ndị a na usoro nkwadebe nke ntọala ahụ. Teknụzụ mkpuchi nwere ike inye ndozi ntụ ntụ elu, melite ike okpomọkụ, ma dozie nkesa okpomọkụ, ọ ghọwokwa teknụzụ bụ isi iji dozie nsogbu a.
Dịka gburugburu ebe a na-etinye ihe na ihe achọrọ maka iji graphite base, mkpuchi elu kwesịrị inwe njirimara ndị a:
1. Oke njupụta na mkpuchi zuru oke:Ntọala graphite ahụ dị n'ebe okpomọkụ dị elu ma na-arụ ọrụ nke ọma. A ghaghị ikpuchi elu ya nke ọma, mkpuchi ahụ ga-enwerịrị njupụta dị mma iji rụọ ọrụ nchebe dị mma.
2. Ọdịdị dị mma nke elu:Ebe ọ bụ na ntọala graphite e ji eme otu kristal chọrọ ịdị larịị nke elu, a ga-edobe ịdị larịị mbụ nke ntọala ahụ mgbe akwadebechara mkpuchi ahụ, ya bụ, elu mkpuchi ahụ ga-adị otu.
3. Ike njikọ dị mma:Ibelata ọdịiche dị na oke mgbasawanye okpomọkụ dị n'etiti ntọala graphite na ihe mkpuchi ahụ nwere ike ime ka ike njikọ dị n'etiti ha dịkwuo mma. Mgbe ha nwesịrị usoro okpomọkụ dị elu na nke dị ala, mkpuchi ahụ adịghị mfe ịgbawa.
4. Oke ike okpomọkụ:Ọganihu dị elu nke chip chọrọ ka isi graphite nye okpomọkụ ngwa ngwa na nke otu, yabụ ihe mkpuchi ahụ kwesịrị inwe oke okpomọkụ.
5. Ebe agbaze agbaze dị elu, iguzogide oxidation okpomọkụ dị elu na iguzogide nchara:Mkpuchi ahụ kwesịrị ịrụ ọrụ nke ọma n'ebe okpomọkụ dị elu na ebe ọrụ na-emebi emebi.
Nkwụsi ike nke okpomọkụ, otu nha okpomọkụ na ihe ndị ọzọ na-egosi arụmọrụ nkeIhe na-egbochi graphite nke SiCna-arụ ọrụ dị mkpa n'ịdị mma nke uto ihe epitaxial, yabụ ọ bụ isi ihe dị mkpa nke akụrụngwa MOCVD.
A na-ahọrọ ụdị kristal β-SiC (3C-SiC) dị ka mkpuchi. Ma e jiri ya tụnyere ụdị kristal ndị ọzọ, ụdị kristal a nwere usoro ihe onwunwe dị mma dịka ezigbo nkwụsi ike thermodynamic, iguzogide oxidation na iguzogide corrosion. N'otu oge ahụ, ọ nwere ike ịhazi okpomọkụ nke kwekọrọ na nke graphite, si otú a na-enye ntọala graphite ihe pụrụ iche. Ọ nwere ike idozi ọdịda nke ntọala graphite nke sitere na oxidation okpomọkụ dị elu na mmebi na ntụ ntụ n'oge ọrụ, ma mee ka elu nke ntọala graphite dị nkọ, na-enweghị oghere, na-eguzogide okpomọkụ dị elu, na-egbochi corrosion, na-egbochi oxidation na njirimara ndị ọzọ, si otú a na-eme ka ịdị mma nke kristal epitaxial na ndụ ọrụ nke ntọala graphite dịkwuo mma (a na-atụ ndụ ọrụ nke ntọala graphite a kpụchara SiC na ọkụ ọkụ).
Kedu otu esi ahọrọ tray/ihe na-egbochi MOCVD graphite nke na-eguzogide oke okpomọkụ na nchara?
Mgbe ị na-ahọrọtray graphite ma ọ bụ susceptor maka MOCVDnke na-eguzogide oke okpomọkụ, a ga-atụle isi ihe ndị a:
1. Ịdị ọcha nke ihe onwunwe:Ihe ndị dị na graphite dị ọcha nwere ike iguzogide mmebi na oxidation nke ọma na oke okpomọkụ ma belata mmetụta nke ihe ndị na-adịghị ọcha na usoro nkwụnye ego.
2. Njupụta na porosity:Traịji graphite nwere nnukwu njupụta na obere porosity nwere ike igwe na iguzogide nchara ka mma, ha nwekwara ike igbochi ịbanye gas na mbuze ihe nke ọma.
3. Ọgbakọ okpomọkụ:Tray graphite nke nwere ike ime ka okpomọkụ dị elu na-enye aka kesaa okpomọkụ n'otu aka ahụ, belata nrụgide okpomọkụ, ma melite nkwụsi ike na ndụ ọrụ nke akụrụngwa ahụ.
4. Ọgwụgwọ elu:Pallet graphite ndị e ji ihe pụrụ iche kpuchie elu ha, dịka mkpuchi ma ọ bụ mkpuchi, nwere ike ime ka ha ghara ire ere ma ghara iyi ihe.
5. Nha na ọdịdị:Dịka ihe achọrọ kpọmkwem maka akụrụngwa MOCVD si dị, họrọ nha na ọdịdị kwesịrị ekwesị iji hụ na tray ahụ dakọtara na akụrụngwa ahụ yana ịdị mfe nke ọrụ.
6. Aha ọma nke onye nrụpụta:Họrọ onye nrụpụta nwere aha ọma na ahụmịhe bara ụba iji hụ na ngwaahịa ahụ dị mma ma na-arụ ọrụ mgbe erechara ya.
7. Ịdị irè ọnụ ahịa:Dabere na ihe achọrọ maka teknụzụ, tụlee uru dị na ọnụ ahịa ma họrọ ngwaahịa nwere arụmọrụ dị elu.
VET Energy bụ ụlọ ọrụ na-enye ihe na-egbochi graphite nke dị ọcha nke ukwuu, anyị na-enye ọtụtụ ụdị dị iche iche, enwere ike iji ya na ngwa MOCVD nke ụdị dị iche iche, ụdị na nkọwapụta dị iche iche.Ihe na-egbochi graphite nke SiCVET Energy mepụtara enweghị ebe kọntaktị mkpuchi na njikọ adịghị ike. Maka ndụ ọrụ, ha nwere ike imezu ihe ndị ahịa chọrọ nwere mkpa dị iche iche (gụnyere iji ikuku nwere chlorine), a na-anabatakwa ndị ahịa ka ha gaa leta ma jụọ ajụjụ.
Oge ozi: Maachị-01-2025