A na-enweta uto epitaxial wafer site na teknụzụ metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), nke a na-etinye gas dị ọcha n'ime reactor na nke ọma meter, nke mere na ha na-ejikọta na okpomọkụ dị elu iji mee ka mmekọrịta kemịkal na-etinye ya na semiconductor wafers n'ime akwa atomic dị mkpa iji mepụta semiconductors nke ihe na ihe.
N'ime akụrụngwa CVD, enweghị ike itinye mkpụrụ osisi ahụ ozugbo na igwe ma ọ bụ naanị na ntọala maka ntinye epitaxial, n'ihi na ọtụtụ ihe ga-emetụta ya. Ya mere, a chọrọ onye susceptor ma ọ bụ tray iji jide mkpụrụ osisi ahụ, wee jiri teknụzụ CVD mee ntinye epitaxial na mkpụrụ. Nke a susceptor bụ aMOCVD graphite susceptor(a na-akpọkwaMOCVD graphite tray).
E gosipụtara nhazi ya na foto dị n'okpuru:
Kedu ihe kpatara onye susceptor graphite ji chọọ mkpuchi CVD?
Ihe nkedo graphite bụ otu n'ime isi ihe dị na akụrụngwa MOCVD. Ọ bụ ihe na-ebu na ikpo ọkụ nke mkpụrụ. Akụkụ ọrụ ya dị ka nkwụsi ike nke okpomọkụ na ịdị n'otu okpomọkụ na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịdị mma nke uto epitaxial, na-ekpebi kpọmkwem ịdị n'otu na ịdị ọcha nke ihe nkiri ihe nkiri epitaxial. Ya mere, àgwà ya na-emetụta kpọmkwem nkwadebe nke wafers epitaxial. N'otu oge ahụ, na-abawanye na ọnụ ọgụgụ nke ojiji na mgbanwe na ọnọdụ ọrụ, ọ dị nnọọ mfe iyi na-adọwa, ọ bụ ihe oriri. Igwe ọkụ ọkụ dị mma na nkwụsi ike nke graphite na-enye ya nnukwu uru dị ka ihe ndabere nke akụrụngwa MOCVD.
Otú ọ dị, ọ bụrụ na ọ bụ naanị graphite dị ọcha, a ga-enwe nsogbu ụfọdụ. N'ime usoro mmepụta ihe, a ga-enwe gas na-emebi emebi na ihe ndị na-emepụta ihe na-emepụta ihe na metal, na graphite susceptor ga-emebi ma daa, nke na-ebelata ọrụ ndụ nke graphite susceptor. N'otu oge ahụ, ntụ ntụ graphite na-ada ada ga-emekwa ka mmetọ dị na wafer, n'ihi ya, ọ dị mkpa ka edozi nsogbu ndị a na usoro nkwadebe nke isi. Nkà na ụzụ mkpuchi mkpuchi nwere ike inye nhazi ntụ ntụ n'elu, kwalite conductivity thermal, na nguzozi nkesa okpomọkụ, ma ghọọ teknụzụ bụ isi iji dozie nsogbu a.
Dabere na mpaghara ngwa na ojiji achọrọ nke ntọala graphite, mkpuchi elu kwesịrị inwe njirimara ndị a:
1. Njupụta dị elu na mkpuchi zuru oke:Ntọala graphite dị na oke okpomọkụ na gburugburu ebe ọrụ na-emebi emebi. A ghaghị kpuchie elu ahụ nke ọma, na mkpuchi ahụ ga-enwekwa njupụta dị mma iji rụọ ọrụ nchebe dị mma.
2. Ọmarịcha elu elu:Ebe ọ bụ na ntọala graphite nke a na-eji maka otu kristal na-eto eto chọrọ oke elu elu dị elu, a ghaghị ịnọgide na-enwe ọkwa mbụ nke isi ahụ mgbe edozichara mkpuchi ahụ, ya bụ, mkpuchi mkpuchi ga-adị otu.
3. Ezi njikọ ike:Mbelata ọdịiche dị na ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ dị n'etiti ntọala graphite na ihe mkpuchi nwere ike imeziwanye ike njikọ dị n'etiti abụọ ahụ. Mgbe ị nwetasịrị okirikiri okpomọkụ dị elu na nke dị ala, mkpuchi ahụ adịghị mfe ịgbawa.
4. High thermal conductivity:Ọganihu mgbawa dị elu na-achọ ntọala graphite na-enye ọkụ ngwa ngwa na otu, ya mere ihe mkpuchi ahụ kwesịrị inwe nnukwu okpomọkụ.
5. Ebe mgbaze dị elu, nguzogide ikuku oxidation dị elu na nguzogide corrosion:Ihe mkpuchi ahụ kwesịrị inwe ike ịrụ ọrụ nke ọma na okpomọkụ dị elu na gburugburu ebe ọrụ na-emebi emebi.
The thermal kwụsie ike, thermal uniformity na ndị ọzọ arụmọrụ paramita nkeSiC mkpuchi graphite susceptorna-arụ ọrụ dị mkpa n'ịdị mma nke uto ihe onwunwe epitaxial, yabụ na ọ bụ isi ihe dị mkpa nke akụrụngwa MOCVD.
A na-ahọrọ ụdị kristal β-SiC (3C-SiC) dị ka mkpuchi. E jiri ya tụnyere ụdị kristal ndị ọzọ, ụdị kristal a nwere usoro ọmarịcha ihe dị ka ezigbo nkwụsi ike nke thermodynamic, nguzogide oxidation na nguzogide corrosion. N'otu oge ahụ, ọ nwere conductivity thermal nke na-adabere na nke graphite, si otú a na-enye graphite isi ihe pụrụ iche. Ọ nwere ike n'ụzọ dị irè dozie ọdịda nke graphite isi mere site elu-okpomọkụ oxidation na corrosion na ntụ ntụ ọnwụ n'oge ọrụ, na-eme ka elu nke graphite isi ok, na-abụghị porous, elu okpomọkụ na-eguzogide ọgwụ, mgbochi corrosion, mgbochi oxidation na ndị ọzọ e ji mara, si otú melite crystal epitaxial àgwà na ndụ ọrụ ndụ nke graphite bases (nke ọrụ ndụ nke tụrụ na graphite base). ọkụ).
Otu esi ahọrọ MOCVD graphite tray/suceptor nke na-eguzogide okpomọkụ dị elu na corrosion?
Mgbe ị na-ahọrọ atray graphite ma ọ bụ susceptor maka MOCVDnke na-eguzogide corrosion okpomọkụ dị elu, ekwesịrị ịtụle isi ihe ndị a:
1. Ihe dị ọcha:Ihe graphite dị elu nwere ike iguzogide corrosion na oxidation na okpomọkụ dị elu ma belata mmetụta nke adịghị ọcha na usoro ntinye.
2. Njupụta na porosity:Traịs eserese nke nwere njupụta dị elu na obere porosity nwere ike arụ ọrụ ka mma yana nguzogide corrosion, ma nwee ike igbochi ntinye gas nke ọma na mbuze ihe.
3. Thermal conductivity:Igwe graphite dị elu nke thermal conductivity na-enyere aka kesaa okpomọkụ nke ọma, belata nrụgide okpomọkụ, ma melite nkwụsi ike na ndụ ọrụ nke akụrụngwa.
4. Ọgwụgwọ elu:Ihe eserese eserese nke emerela ọgwụgwọ elu pụrụ iche, dị ka mkpuchi ma ọ bụ ihe mkpuchi, nwere ike ịkwalite nguzogide corrosion ha na iyi nguzogide.
5. nha na ọdịdị:Dị ka ihe ndị a chọrọ kpọmkwem nke ngwá ọrụ MOCVD, họrọ nha kwesịrị ekwesị na ọdịdị iji hụ na ndakọrịta nke tray na ngwá ọrụ na ịdị mma nke ọrụ.
6. Aha onye nrụpụta:Họrọ onye nrụpụta nwere aha ọma na ahụmịhe bara ụba iji hụ na ntụkwasị obi nke ịdị mma ngwaahịa na ọrụ ire ere.
7. Ọnụ ego:N'ihe gbasara nzute teknụzụ chọrọ, tụlee uru bara uru ma họrọ ngwaahịa nwere arụmọrụ dị elu.
VET Energy bụ onye na-eweta graphite susceptor dị ọcha, anyị na-enye ụdị dị iche iche, enwere ike iji ya na ngwa MOCVD nke ụdị dị iche iche, ụdị na nkọwapụta. NkeSiC mkpuchi graphite susceptornke VET Energy mepụtara enweghị isi kọntaktị mkpuchi yana enweghị njikọ adịghị ike. N'ihe gbasara ndụ ọrụ, ha nwere ike imezu ihe ndị ahịa chọrọ ndị nwere mkpa dị iche iche (gụnyere iji ikuku nwere chlorine), ndị ahịa na-anabata ndị ahịa na ịjụ ajụjụ.
Oge nzipu: Mar-01-2025