Oblearen epitaxial hazkuntza metal-organikoen lurrun-deposizio kimikoaren (MOCVD) teknologiaren bidez lortzen da, non gas ultrapuruak erreaktorean injektatzen diren eta fin-fin neurtzen diren, tenperatura altuetan konbinatu daitezen elkarrekintza kimikoak eragiteko eta erdieroale-obleetan metatzeko geruza atomiko oso meheetan, materialen eta konposatu erdieroaleen epitaxia eratzeko.
CVD ekipamenduan, substratua ezin da zuzenean metalaren gainean edo epitaxial deposiziorako oinarri baten gainean jarri, faktore askok eragingo baitute. Beraz, suszeptore edo erretilu bat behar da substratua eusteko, eta ondoren CVD teknologia erabili substratuan epitaxial deposizioa egiteko. Suszeptore hau...MOCVD grafito suszeptorea(deitua ereMOCVD grafito erretilua).
Bere egitura beheko irudian ageri da:
Zergatik behar du grafito suszeptoreak CVD estaldura?
Grafito suszeptorea MOCVD ekipamenduen osagai nagusietako bat da. Substratuaren euskarria eta berogailu elementua da. Bere errendimendu parametroek, hala nola egonkortasun termikoak eta uniformetasun termikoak, erabakigarriak dira material epitaxialaren hazkuntzaren kalitatean, eta zuzenean zehazten dute film mehe epitaxialen materialen uniformetasuna eta purutasuna. Beraz, bere kalitateak zuzenean eragiten dio oblea epitaxialen prestaketari. Aldi berean, erabilera kopurua handitzearekin eta lan-baldintzen aldaketekin, oso erraza da higatzea eta haustea, kontsumigarria da. Grafitoaren eroankortasun termiko eta egonkortasun bikainak abantaila handia ematen diote MOCVD ekipamenduen oinarrizko osagai gisa.
Hala ere, grafito purua bakarrik bada, arazo batzuk egongo dira. Ekoizpen-prozesuan, gas korrosiboak eta materia organiko metalikoak geratuko dira, eta grafito-suszeptorea korroditu eta erori egingo da, eta horrek grafito-suszeptorearen bizitza erabilgarria asko murrizten du. Aldi berean, erortzen den grafito-hautsa ere kutsadura eragingo dio obleari, beraz, arazo hauek oinarriaren prestaketa-prozesuan konpondu behar dira. Estaldura-teknologiak gainazaleko hautsaren finkapena eman dezake, eroankortasun termikoa hobetu eta beroaren banaketa orekatu, eta arazo hau konpontzeko teknologia nagusia bihurtu da.
Grafito oinarriaren aplikazio ingurunearen eta erabilera eskakizunen arabera, gainazaleko estaldurak ezaugarri hauek izan behar ditu:
1. Dentsitate handia eta estaldura osoa:Grafito oinarria tenperatura altuko eta korrosiboko lan-ingurune batean dago. Gainazala guztiz estalita egon behar da, eta estaldurak dentsitate ona izan behar du babes-eginkizun ona betetzeko.
2. Gainazalaren lautasun ona:Kristal bakarreko hazkuntzarako erabiltzen den grafito-oinarrak gainazaleko lautasun oso handia behar duenez, oinarriaren jatorrizko lautasuna mantendu behar da estaldura prestatu ondoren, hau da, estalduraren gainazala uniformea izan behar da.
3. Lotura-indar ona:Grafito oinarriaren eta estaldura materialaren arteko hedapen termikoaren koefizientearen aldea murrizteak bien arteko lotura-indarra hobetu dezake eraginkortasunez. Tenperatura altuko eta baxuko ziklo termikoak jasan ondoren, estaldura ez da erraz pitzatzen.
4. Eroankortasun termiko handia:Kalitate handiko txiparen hazkuntzak grafito oinarriak bero azkarra eta uniformea eman behar du, beraz, estaldura materialak eroankortasun termiko handia izan behar du.
5. Urtze-puntu altua, tenperatura altuko oxidazio-erresistentzia eta korrosio-erresistentzia:Estaldurak tenperatura altuko eta korrosiboko lan-inguruneetan egonkor funtzionatu ahal izan behar du.
Egonkortasun termikoa, uniformetasun termikoa eta beste errendimendu-parametro batzukSiC estalitako grafito suszeptoreaEpitaxial materialaren hazkuntzaren kalitatean erabakigarria den zeregina dute, beraz, MOCVD ekipamenduen osagai nagusia da.
β-SiC (3C-SiC) kristal forma hautatu da estaldura gisa. Beste kristal forma batzuekin alderatuta, kristal forma honek propietate bikain sorta bat du, hala nola egonkortasun termodinamiko ona, oxidazioarekiko erresistentzia eta korrosioarekiko erresistentzia. Aldi berean, grafitoaren eroankortasun termikoa du, funtsean grafitoarekin bat datorrena, eta horrek grafito oinarriari propietate bereziak ematen dizkio. Tenperatura altuko oxidazioak eta korrosioak eta zerbitzuan zehar hauts galerak eragindako grafito oinarriaren akatsa modu eraginkorrean konpondu dezake, eta grafito oinarriaren gainazala trinkoa, ez-porotsua, tenperatura altuko erresistentea, korrosioaren aurkakoa, oxidazioaren aurkakoa eta beste ezaugarri batzuk bihurtzen ditu, horrela kristalaren epitaxial kalitatea eta grafito oinarriaren zerbitzu-bizitza hobetuz (SiC estalitako grafito oinarriaren zerbitzu-bizitza labeetan neurtzen da).
Nola aukeratu tenperatura altuekiko eta korrosioarekiko erresistentea den MOCVD grafitozko erretilu/suszeptore bat?
Aukeratzerakoan.grafitozko erretilua edo susceptor MOCVDrakotenperatura altuko korrosioarekiko erresistentea den arren, honako faktore nagusi hauek hartu behar dira kontuan:
1. Materialaren purutasuna:Grafitozko materialek purutasun handikoek korrosioari eta oxidazioari hobeto aurre egin diezaiokete tenperatura altuetan, eta ezpurutasunek deposizio-prozesuan duten eragina murriztu dezakete.
2. Dentsitatea eta porositatea:Dentsitate handiko eta porositate txikiko grafitozko erretiluek erresistentzia mekaniko eta korrosioarekiko erresistentzia hobea dute, eta gasaren sartzea eta materialen higadura eraginkortasunez saihestu ditzakete.
3. Eroankortasun termikoa:Eroankortasun termiko handiko grafitozko erretiluak beroa uniformeki banatzen, tentsio termikoa murrizten eta ekipamenduaren egonkortasuna eta bizitza erabilgarria hobetzen laguntzen du.
4. Gainazaleko tratamendua:Grafitozko paletek gainazaleko tratamendu bereziak, hala nola estaldura edo plakaketa, areagotu dezakete korrosioarekiko eta higaduraren aurkako erresistentzia.
5. Tamaina eta forma:MOCVD ekipamenduaren eskakizun espezifikoen arabera, hautatu tamaina eta forma egokiak erretilua ekipamenduarekin bateragarria dela eta funtzionamenduaren erosotasuna bermatzeko.
6. Fabrikatzailearen ospea:Aukeratu ospe ona eta esperientzia aberatsa duen fabrikatzaile bat produktuaren kalitatearen eta salmenta osteko zerbitzuaren fidagarritasuna bermatzeko.
7. Kostu-eraginkortasuna:Eskakizun teknikoak betetzeko premisan, kontuan hartu kostu-eraginkortasuna eta aukeratu kostu-errendimendu handiagoa duten produktuak.
VET Energy grafito suszeptoreen hornitzaile purua da, kategoria ugari eskaintzen ditugu, eta marka, modelo eta zehaztapen desberdinetako MOCVD ekipamenduetan erabil daitezke.SiC estalitako grafito suszeptoreaVET Energy-k ekoitzitakoek ez dute estaldura-kontaktu-punturik eta ez dute lotura ahulik. Zerbitzu-bizitzari dagokionez, behar desberdinak dituzten bezeroen eskakizunak ase ditzakete (kloroa duten atmosferak erabiltzea barne), eta bezeroek kontsultak eta kontsultak egin ditzakete.
Argitaratze data: 2025eko martxoaren 1a