Kukula kwa Wafer epitaxial kumachitika kudzera mu ukadaulo wa metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), momwe mpweya woyera kwambiri umalowetsedwa mu reactor ndikuyesedwa bwino, kuti uphatikizidwe kutentha kwambiri kuti upangitse kuyanjana kwa mankhwala ndipo umayikidwa pa ma wafer a semiconductor m'magawo ochepa kwambiri a atomiki kuti apange epitaxy ya zinthu ndi ma semiconductor ophatikizika.
Mu zida za CVD, gawo lapansi silingaikidwe mwachindunji pachitsulo kapena pa maziko oti liyike epitaxial, chifukwa lidzakhudzidwa ndi zinthu zambiri. Chifukwa chake, susceptor kapena thireyi imafunika kuti igwire gawo lapansi, kenako gwiritsani ntchito ukadaulo wa CVD kuti ipange epitaxial pa gawo lapansi. Susceptor iyi ndiMOCVD graphite susceptor(yotchedwansothireyi ya graphite ya MOCVD).
Kapangidwe kake kakuwonetsedwa pachithunzi chili pansipa:
Chifukwa chiyani graphite susceptor imafunika CVD?
Chotsukira cha graphite ndi chimodzi mwa zigawo zazikulu mu zida za MOCVD. Ndi chonyamulira ndi chotenthetsera cha substrate. Zigawo zake zogwirira ntchito monga kukhazikika kwa kutentha ndi kufanana kwa kutentha zimagwira ntchito yofunika kwambiri pakukula kwa zinthu za epitaxial, ndipo zimatsimikizira mwachindunji kufanana ndi kuyera kwa zipangizo za epitaxial thin film. Chifukwa chake, ubwino wake umakhudza mwachindunji kukonzekera kwa ma wafer a epitaxial. Nthawi yomweyo, ndi kuchuluka kwa magwiritsidwe ntchito komanso kusintha kwa magwiridwe antchito, ndizosavuta kuvala ndi kung'amba, ndi chinthu chogwiritsidwa ntchito. Kuyenda bwino kwa kutentha ndi kukhazikika kwa graphite kumapatsa mwayi waukulu ngati gawo loyambira la zida za MOCVD.
Komabe, ngati ndi graphite yokha, padzakhala mavuto ena. Pakupanga, padzakhala mpweya wotsalira wowononga ndi zinthu zachilengedwe zachitsulo, ndipo susceptor ya graphite idzawononga ndi kugwa, zomwe zimachepetsa kwambiri moyo wa ntchito ya susceptor ya graphite. Nthawi yomweyo, ufa wa graphite womwe ukugwa udzayambitsanso kuipitsa kwa wafer, kotero mavutowa ayenera kuthetsedwa pokonzekera maziko. Ukadaulo wopaka utoto ukhoza kupereka kukhazikika kwa ufa pamwamba, kuwonjezera kutentha, ndikugawa kutentha moyenera, ndipo wakhala ukadaulo waukulu wothetsera vutoli.
Malinga ndi malo ogwiritsira ntchito ndi zofunikira pakugwiritsa ntchito maziko a graphite, chophimba pamwamba chiyenera kukhala ndi makhalidwe awa:
1. Kuchulukana kwambiri komanso kufalikira kwathunthu:Maziko a graphite ali pamalo ogwirira ntchito otentha kwambiri komanso owononga. Pamwamba pake payenera kuphimbidwa mokwanira, ndipo chophimbacho chiyenera kukhala ndi kuchulukana kwabwino kuti chiteteze bwino.
2. Malo abwino okhala ndi kusalala:Popeza maziko a graphite omwe amagwiritsidwa ntchito pakukula kwa kristalo imodzi amafunikira kusalala kwambiri pamwamba, kusalala koyambirira kwa maziko kuyenera kusungidwa pambuyo poti chophimbacho chakonzedwa, ndiko kuti, pamwamba pake pakuyenera kukhala kofanana.
3. Mphamvu yabwino yolumikizirana:Kuchepetsa kusiyana kwa kuchuluka kwa kutentha pakati pa maziko a graphite ndi zinthu zophikira kungathandize kwambiri kulimbitsa mphamvu yolumikizirana pakati pa ziwirizi. Pambuyo pokumana ndi kutentha kwambiri komanso kotsika, chophimbacho sichikhala chosavuta kusweka.
4. Kutentha kwambiri:Kukula kwa chips chapamwamba kumafuna maziko a graphite kuti apereke kutentha kwachangu komanso kofanana, kotero kuti chophimbacho chiyenera kukhala ndi kutentha kwakukulu.
5. Malo osungunuka kwambiri, kukana kutentha kwambiri kwa okosijeni komanso kukana dzimbiri:Chophimbacho chiyenera kugwira ntchito bwino pamalo otentha kwambiri komanso owononga.
Kukhazikika kwa kutentha, kufanana kwa kutentha ndi magawo ena a magwiridwe antchito aSiC yokutidwa ndi graphite susceptorAmagwira ntchito yofunika kwambiri pakukula kwa zinthu za epitaxial, motero ndiye gawo lofunika kwambiri la zida za MOCVD.
Mtundu wa kristalo wa β-SiC (3C-SiC) umasankhidwa kukhala chophimba. Poyerekeza ndi mitundu ina ya kristalo, mawonekedwe a kristalo awa ali ndi zinthu zabwino kwambiri monga kukhazikika kwa thermodynamic, kukana okosijeni ndi kukana dzimbiri. Nthawi yomweyo, uli ndi mphamvu yoyendetsera kutentha yomwe imagwirizana ndi ya graphite, motero imapatsa maziko a graphite zinthu zapadera. Imatha kuthetsa bwino kulephera kwa maziko a graphite komwe kumachitika chifukwa cha okosijeni ndi dzimbiri komanso kutayika kwa ufa panthawi yogwira ntchito, ndikupanga pamwamba pa maziko a graphite kukhala wokhuthala, wopanda mabowo, wosagwirizana ndi kutentha kwambiri, wotsutsana ndi dzimbiri, wotsutsana ndi okosijeni ndi zina, motero kukonza khalidwe la kristalo epitaxial ndi moyo wa ntchito ya maziko a graphite (moyo wa ntchito wa maziko a graphite okhala ndi SiC umayesedwa mu uvuni).
Kodi mungasankhe bwanji thireyi/chitsulo cha graphite cha MOCVD chomwe chimapirira kutentha kwambiri komanso dzimbiri?
Mukasankhathireyi ya graphite kapena susceptor ya MOCVDyomwe imapirira dzimbiri kutentha kwambiri, zinthu zofunika izi ziyenera kuganiziridwa:
1. Kuyera kwa zinthu zakuthupi:Zipangizo za graphite zoyera kwambiri zimatha kupirira dzimbiri ndi okosijeni kutentha kwambiri ndikuchepetsa mphamvu ya zinyalala pakuyika zinthuzo.
2. Kuchulukana ndi kutseguka kwa pores:Ma tray a grafiti okhala ndi ma porosity ambiri komanso otsika amakhala ndi mphamvu yabwino yamakina komanso kukana dzimbiri, ndipo amatha kuletsa bwino kulowa kwa mpweya ndi kuwonongeka kwa zinthu.
3. Kutentha kwa mpweya:Thireyi ya graphite yotenthetsera kwambiri imathandiza kugawa kutentha mofanana, kuchepetsa kupsinjika kwa kutentha, komanso kukonza kukhazikika ndi moyo wautumiki wa zida.
4. Chithandizo cha pamwamba:Ma graphite pallets omwe agwiritsidwa ntchito pakhungu mwapadera, monga kuphimba kapena kuphimba, amatha kuwonjezera kukana kwawo dzimbiri komanso kukana kukalamba.
5. Kukula ndi mawonekedwe:Malinga ndi zofunikira zenizeni za zida za MOCVD, sankhani kukula ndi mawonekedwe oyenera kuti muwonetsetse kuti thireyi ikugwirizana ndi zidazo komanso kuti ikhale yosavuta kugwiritsa ntchito.
6. Mbiri ya wopanga:Sankhani wopanga yemwe ali ndi mbiri yabwino komanso wodziwa zambiri kuti atsimikizire kudalirika kwa mtundu wa malonda ndi ntchito yogulitsa pambuyo pogulitsa.
7. Kugwiritsa ntchito bwino ndalama:Pofuna kukwaniritsa zofunikira zaukadaulo, ganizirani zotsika mtengo ndipo sankhani zinthu zomwe zimakhala ndi mtengo wokwera.
VET Energy ndi kampani yopereka graphite susceptor yoyera kwambiri, timapereka mitundu yosiyanasiyana, ndipo ingagwiritsidwe ntchito mu zida za MOCVD zamitundu yosiyanasiyana, mitundu ndi zofunikira.SiC yokutidwa ndi graphite susceptorZopangidwa ndi VET Energy zilibe malo olumikizirana ndi zokutira komanso zolumikizira zofooka. Ponena za nthawi yogwirira ntchito, zimatha kukwaniritsa zosowa za makasitomala omwe ali ndi zosowa zosiyanasiyana (kuphatikizapo kugwiritsa ntchito mpweya wokhala ndi chlorine), ndipo makasitomala amalandiridwa kuti akafunse mafunso.
Nthawi yotumizira: Mar-01-2025