Ano ang MOCVD graphite tray?

Ang paglaki ng wafer epitaxial ay nakakamit sa pamamagitan ng teknolohiyang metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), kung saan ang mga ultra-pure na gas ay itinuturok sa reactor at pinong sinukat, upang pagsamahin ang mga ito sa matataas na temperatura upang magdulot ng mga pakikipag-ugnayan ng kemikal at idineposito sa mga semiconductor wafer sa napakanipis na atomic layer upang bumuo ng epitaxy ng mga materyales at compound semiconductors.

Sa kagamitan ng CVD, ang substrate ay hindi maaaring ilagay nang direkta sa metal o sa isang base lamang para sa epitaxial deposition, dahil maaapektuhan ito ng maraming mga kadahilanan. Samakatuwid, kinakailangan ang isang susceptor o tray upang hawakan ang substrate, at pagkatapos ay gamitin ang teknolohiyang CVD upang maisagawa ang epitaxial deposition sa substrate. Ang susceptor na ito ay aMOCVD graphite susceptor(tinatawag dinMOCVD graphite tray).

Ang istraktura nito ay ipinapakita sa figure sa ibaba:

Bakit kailangan ng graphite susceptor ng CVD coating?

Ang graphite susceptor ay isa sa mga pangunahing bahagi sa MOCVD equipment. Ito ang carrier at heating element ng substrate. Ang mga parameter ng pagganap nito tulad ng thermal stability at thermal uniformity ay gumaganap ng isang mapagpasyang papel sa kalidad ng paglaki ng epitaxial na materyal, at direktang tinutukoy ang pagkakapareho at kadalisayan ng mga epitaxial thin film na materyales. Samakatuwid, ang kalidad nito ay direktang nakakaapekto sa paghahanda ng mga epitaxial wafer. Kasabay nito, sa pagtaas ng bilang ng mga gamit at ang mga pagbabago sa mga kondisyon ng pagtatrabaho, napakadaling magsuot at mapunit, ito ay isang consumable. Ang mahusay na thermal conductivity at katatagan ng graphite ay nagbibigay ito ng isang mahusay na kalamangan bilang isang base component ng MOCVD equipment.

Gayunpaman, kung ito ay purong grapayt lamang, magkakaroon ng ilang mga problema. Sa proseso ng produksyon, magkakaroon ng mga natitirang corrosive na gas at metal na organikong bagay, at ang graphite susceptor ay kaagnasan at mahuhulog, na lubos na binabawasan ang buhay ng serbisyo ng graphite susceptor. Kasabay nito, ang pagbagsak ng graphite powder ay magdudulot din ng polusyon sa wafer, kaya ang mga problemang ito ay kailangang malutas sa proseso ng paghahanda ng base. Ang teknolohiya ng coating ay maaaring magbigay ng surface powder fixation, mapahusay ang thermal conductivity, at balanse ang pamamahagi ng init, at naging pangunahing teknolohiya upang malutas ang problemang ito.

Ayon sa kapaligiran ng aplikasyon at mga kinakailangan sa paggamit ng graphite base, ang ibabaw na patong ay dapat magkaroon ng mga sumusunod na katangian:

1. Mataas na density at buong saklaw:Ang graphite base ay nasa isang mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na kapaligiran sa pagtatrabaho. Ang ibabaw ay dapat na ganap na natatakpan, at ang patong ay dapat na may magandang density upang maglaro ng isang mahusay na proteksiyon na papel.

2. Magandang patag na ibabaw:Dahil ang graphite base na ginagamit para sa solong paglaki ng kristal ay nangangailangan ng napakataas na flatness sa ibabaw, ang orihinal na flatness ng base ay dapat mapanatili pagkatapos maihanda ang coating, iyon ay, ang coating surface ay dapat na pare-pareho.

3. Magandang lakas ng pagkakabuklod:Ang pagbabawas ng pagkakaiba sa koepisyent ng pagpapalawak ng thermal sa pagitan ng base ng grapayt at ng materyal na patong ay maaaring epektibong mapabuti ang lakas ng pagbubuklod sa pagitan ng dalawa. Pagkatapos makaranas ng mataas at mababang temperatura na mga thermal cycle, ang patong ay hindi madaling pumutok.

4. Mataas na thermal conductivity:Ang mataas na kalidad na paglaki ng chip ay nangangailangan ng graphite base upang magbigay ng mabilis at pare-parehong init, kaya ang materyal na patong ay dapat na may mataas na thermal conductivity.

5. Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperatura na paglaban sa oksihenasyon at paglaban sa kaagnasan:Ang patong ay dapat na gumana nang matatag sa isang mataas na temperatura at kinakaing unti-unti na kapaligiran sa pagtatrabaho.

Ang thermal stability, thermal pagkakapareho at iba pang mga parameter ng pagganap ngSiC coated graphite susceptorgumaganap ng isang mapagpasyang papel sa kalidad ng paglaki ng materyal na epitaxial, kaya ito ang pangunahing pangunahing bahagi ng kagamitan ng MOCVD.

Ang β-SiC (3C-SiC) na anyo ng kristal ay pinili bilang patong. Kung ikukumpara sa iba pang mga anyo ng kristal, ang anyo ng kristal na ito ay may isang serye ng mga mahuhusay na katangian tulad ng magandang thermodynamic stability, oxidation resistance at corrosion resistance. Kasabay nito, mayroon itong thermal conductivity na karaniwang pare-pareho sa grapayt, kaya nagbibigay ng mga espesyal na katangian ng graphite base. Mabisa nitong malulutas ang kabiguan ng graphite base na dulot ng mataas na temperatura na oksihenasyon at kaagnasan at pagkawala ng pulbos sa panahon ng serbisyo, at gawing siksik, hindi buhaghag, mataas na temperatura na lumalaban, anti-corrosion, anti-oxidation at iba pang mga katangian ang ibabaw ng graphite base at ang buhay ng serbisyo ng graphite base ng SiC ay nagpapabuti sa kalidad ng kristal na epitaxial at ang buhay ng serbisyo ng base ng graphite na pinahiran ng serbisyo (ang base ng graphite coated ng serbisyo ay ang SiC. mga hurno).

Paano pumili ng MOCVD graphite tray/susceptor na lumalaban sa mataas na temperatura at kaagnasan?

Kapag pumipili ng agraphite tray o susceptor para sa MOCVDna lumalaban sa mataas na temperatura na kaagnasan, ang mga sumusunod na pangunahing salik ay dapat isaalang-alang:

1. Kadalisayan ng materyal:Ang mga materyal na grapayt na may mataas na kadalisayan ay maaaring mas mahusay na labanan ang kaagnasan at oksihenasyon sa mataas na temperatura at mabawasan ang epekto ng mga impurities sa proseso ng pagtitiwalag.

2. Density at porosity:Ang mga graphite tray na may mataas na density at mababang porosity ay may mas mahusay na mekanikal na lakas at corrosion resistance, at maaaring epektibong maiwasan ang pagtagos ng gas at pagguho ng materyal.

3. Thermal conductivity:Ang mataas na thermal conductivity na graphite tray ay nakakatulong upang pantay na ipamahagi ang init, bawasan ang thermal stress, at pahusayin ang katatagan at buhay ng serbisyo ng kagamitan.

4. Paggamot sa ibabaw:Ang mga graphite pallet na sumailalim sa espesyal na paggamot sa ibabaw, tulad ng coating o plating, ay maaaring higit pang mapahusay ang kanilang corrosion resistance at wear resistance.

5. Sukat at hugis:Ayon sa mga partikular na kinakailangan ng kagamitan ng MOCVD, piliin ang naaangkop na laki at hugis upang matiyak ang pagiging tugma ng tray sa kagamitan at ang kaginhawaan ng operasyon.

6. Reputasyon ng tagagawa:Pumili ng isang tagagawa na may magandang reputasyon at mayamang karanasan upang matiyak ang pagiging maaasahan ng kalidad ng produkto at serbisyo pagkatapos ng pagbebenta.

7. Pagiging epektibo sa gastos:Sa saligan ng pagtugon sa mga teknikal na kinakailangan, isaalang-alang ang pagiging epektibo sa gastos at pumili ng mga produktong may mas mataas na pagganap sa gastos.

Ang VET Energy ay isang high-purity graphite susceptor supplier, nag-aalok kami ng malawak na hanay ng mga kategorya, at maaaring gamitin sa MOCVD equipment ng iba't ibang brand, modelo at detalye. AngSiC coated graphite susceptorna ginawa ng VET Energy ay walang coating contact point at walang mahinang link. Sa mga tuntunin ng buhay ng serbisyo, maaari nilang matugunan ang mga kinakailangan ng mga customer na may iba't ibang pangangailangan (kabilang ang paggamit ng mga kapaligiran na naglalaman ng chlorine), at ang mga customer ay malugod na kumonsulta at magtanong.