Ano ang isang MOCVD graphite tray?

Ang epitaxial growth ng wafer ay nakakamit sa pamamagitan ng teknolohiyang metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), kung saan ang mga ultra-pure na gas ay iniinject sa reactor at pinong sinusukat, upang magsama-sama ang mga ito sa mataas na temperatura upang magdulot ng mga interaksyong kemikal at idineposito sa mga semiconductor wafer sa napakanipis na atomic layer upang bumuo ng epitaxy ng mga materyales at compound semiconductor.

Sa mga kagamitang CVD, ang substrate ay hindi maaaring ilagay nang direkta sa metal o sa isang base lamang para sa epitaxial deposition, dahil maaapektuhan ito ng maraming salik. Samakatuwid, kinakailangan ang isang susceptor o tray upang hawakan ang substrate, at pagkatapos ay gamitin ang teknolohiyang CVD upang maisagawa ang epitaxial deposition sa substrate. Ang susceptor na ito ay isangSuseptor ng grapayt ng MOCVD(tinatawag dingTray ng grapayt ng MOCVD).

Ang istruktura nito ay ipinapakita sa larawan sa ibaba:

Bakit kailangan ng CVD coating ang graphite susceptor?

Ang graphite susceptor ay isa sa mga pangunahing bahagi ng kagamitan ng MOCVD. Ito ang tagapagdala at elemento ng pag-init ng substrate. Ang mga parameter ng pagganap nito tulad ng thermal stability at thermal uniformity ay gumaganap ng isang mahalagang papel sa kalidad ng paglaki ng epitaxial material, at direktang tumutukoy sa pagkakapareho at kadalisayan ng mga epitaxial thin film material. Samakatuwid, ang kalidad nito ay direktang nakakaapekto sa paghahanda ng mga epitaxial wafer. Kasabay nito, kasabay ng pagtaas ng bilang ng mga gamit at mga pagbabago sa mga kondisyon ng pagtatrabaho, napakadaling masira at masira, ito ay isang consumable. Ang mahusay na thermal conductivity at stability ng graphite ay nagbibigay dito ng isang malaking kalamangan bilang isang base component ng kagamitan ng MOCVD.

Gayunpaman, kung purong grapayt lamang ito, magkakaroon ng ilang problema. Sa proseso ng produksyon, magkakaroon ng mga natitirang kinakaing unti-unting gas at organikong bagay na metal, at ang susceptor ng grapayt ay kinakaing at mahuhulog, na lubos na nakakabawas sa buhay ng serbisyo ng susceptor ng grapayt. Kasabay nito, ang nahuhulog na pulbos ng grapayt ay magdudulot din ng polusyon sa wafer, kaya ang mga problemang ito ay kailangang malutas sa proseso ng paghahanda ng base. Ang teknolohiya ng patong ay maaaring magbigay ng pag-aayos ng pulbos sa ibabaw, mapahusay ang thermal conductivity, at balansehin ang distribusyon ng init, at naging pangunahing teknolohiya upang malutas ang problemang ito.

Ayon sa kapaligiran ng aplikasyon at mga kinakailangan sa paggamit ng base ng grapayt, ang patong sa ibabaw ay dapat magkaroon ng mga sumusunod na katangian:

1. Mataas na densidad at buong saklaw:Ang base ng grapayt ay nasa isang mataas na temperatura at kinakaing unti-unting kapaligiran sa pagtatrabaho. Ang ibabaw ay dapat na ganap na natatakpan, at ang patong ay dapat na may mahusay na densidad upang gumanap ng isang mahusay na proteksiyon na papel.

2. Magandang patag na ibabaw:Dahil ang base ng grapayt na ginagamit para sa paglaki ng iisang kristal ay nangangailangan ng napakataas na kapatagan ng ibabaw, ang orihinal na kapatagan ng base ay dapat mapanatili pagkatapos ihanda ang patong, ibig sabihin, ang ibabaw ng patong ay dapat na pantay.

3. Mahusay na lakas ng pagdidikit:Ang pagbabawas ng pagkakaiba sa thermal expansion coefficient sa pagitan ng graphite base at ng coating material ay maaaring epektibong mapabuti ang bonding strength sa pagitan ng dalawa. Matapos makaranas ng high at low temperature thermal cycles, ang coating ay hindi madaling mabasag.

4. Mataas na kondaktibiti ng init:Ang mataas na kalidad na pagpapatubo ng chip ay nangangailangan ng graphite base upang makapagbigay ng mabilis at pantay na init, kaya ang materyal na patong ay dapat may mataas na thermal conductivity.

5. Mataas na punto ng pagkatunaw, mataas na temperaturang resistensya sa oksihenasyon at resistensya sa kalawang:Ang patong ay dapat na gumana nang matatag sa mataas na temperatura at kinakaing unti-unting kapaligiran sa pagtatrabaho.

Ang thermal stability, thermal uniformity at iba pang mga parameter ng pagganap ngSusceptor ng grapayt na pinahiran ng SiCay gumaganap ng isang mahalagang papel sa kalidad ng paglaki ng epitaxial na materyal, kaya ito ang pangunahing sangkap ng kagamitan ng MOCVD.

Ang anyong kristal na β-SiC (3C-SiC) ang pinipili bilang patong. Kung ikukumpara sa ibang mga anyong kristal, ang anyong kristal na ito ay may serye ng mga mahuhusay na katangian tulad ng mahusay na thermodynamic stability, oxidation resistance at corrosion resistance. Kasabay nito, mayroon itong thermal conductivity na halos kapareho ng sa graphite, kaya nagbibigay ito ng mga espesyal na katangian sa graphite base. Mabisa nitong malulutas ang pagkasira ng graphite base na dulot ng high-temperature oxidation at corrosion at powder loss habang ginagamit, at ginagawang siksik, hindi porous, high-temperature resistant, anti-corrosion, anti-oxidation at iba pang mga katangian ang ibabaw ng graphite base, sa gayon ay pinapabuti ang kalidad ng epitaxial ng kristal at ang buhay ng serbisyo ng graphite base (ang buhay ng serbisyo ng SiC coated graphite base ay sinusukat sa mga furnace).

Paano pumili ng MOCVD graphite tray/susceptor na lumalaban sa mataas na temperatura at kalawang?

Kapag pumipili nggraphite tray o susceptor para sa MOCVDna lumalaban sa mataas na temperaturang kalawang, ang mga sumusunod na pangunahing salik ay dapat isaalang-alang:

1. Kadalisayan ng materyal:Ang mga materyales na grapayt na may mataas na kadalisayan ay mas mahusay na nakakalaban sa kalawang at oksihenasyon sa mataas na temperatura at nakakabawas sa epekto ng mga dumi sa proseso ng pagdedeposito.

2. Densidad at porosidad:Ang mga graphite tray na may mataas na densidad at mababang porosity ay may mas mahusay na mekanikal na lakas at resistensya sa kalawang, at epektibong nakakapigil sa pagtagos ng gas at pagguho ng materyal.

3. Kondaktibiti ng init:Ang mataas na thermal conductivity graphite tray ay nakakatulong na pantay na ipamahagi ang init, mabawasan ang thermal stress, at mapabuti ang estabilidad at buhay ng serbisyo ng kagamitan.

4. Paggamot sa ibabaw:Ang mga graphite pallet na sumailalim sa espesyal na paggamot sa ibabaw, tulad ng patong o plating, ay maaaring higit pang mapahusay ang kanilang resistensya sa kalawang at pagkasira.

5. Sukat at hugis:Ayon sa mga partikular na pangangailangan ng kagamitan ng MOCVD, piliin ang naaangkop na laki at hugis upang matiyak ang pagiging tugma ng tray sa kagamitan at ang kaginhawahan ng paggamit.

6. Reputasyon ng tagagawa:Pumili ng tagagawa na may mabuting reputasyon at mayamang karanasan upang matiyak ang pagiging maaasahan ng kalidad ng produkto at serbisyo pagkatapos ng benta.

7. Pagiging epektibo sa gastos:Batay sa saligan ng pagtugon sa mga teknikal na kinakailangan, isaalang-alang ang pagiging epektibo sa gastos at pumili ng mga produktong may mas mataas na pagganap sa gastos.

Ang VET Energy ay isang supplier ng high-purity graphite susceptor, nag-aalok kami ng malawak na hanay ng mga kategorya, at maaaring gamitin sa mga kagamitan ng MOCVD ng iba't ibang tatak, modelo at detalye.Susceptor ng grapayt na pinahiran ng SiCAng mga produktong gawa ng VET Energy ay walang mga coating contact point at walang mga weak link. Kung pag-uusapan ang tagal ng serbisyo, natutugunan nila ang mga pangangailangan ng mga customer na may iba't ibang pangangailangan (kabilang ang paggamit ng mga atmospera na naglalaman ng chlorine), at malugod na tinatanggap ang mga customer na kumonsulta at magtanong.