Ny fitomboan'ny epitaxial wafer dia tanterahina amin'ny alàlan'ny teknolojia metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), izay ampidirana entona tena madio ao amin'ny reactor ary refesina tsara, mba hifangaroany amin'ny mari-pana avo mba hiteraka fifandraisana simika ary hapetraka eo amin'ny wafers semiconductor amin'ny sosona atomika manify dia manify mba hamorona epitaxy amin'ny fitaovana sy semiconductors mitambatra.
Amin'ny fitaovana CVD, ny substrate dia tsy azo apetraka mivantana eo amin'ny metaly na eo amin'ny fotony fotsiny mba hametrahana epitaxial, satria hisy fiantraikany amin'izany ny anton-javatra maro. Noho izany, ilaina ny susceptor na tray mba hihazonana ny substrate, ary avy eo dia mampiasa ny teknolojia CVD mba hanaovana fametrahana epitaxial eo amin'ny substrate. Ity susceptor ity diaMpanakanto grafita MOCVD(antsoina koa hoeLovia grafita MOCVD).
Aseho amin'ny sary etsy ambany ny firafiny:
Nahoana no mila coating CVD ny susceptor grafita?
Ny "susceptor" grafita dia iray amin'ireo singa fototra ao amin'ny fitaovana MOCVD. Izy no mpitatitra sy singa fanafanana ny substrate. Ny masontsivana momba ny fahombiazany toy ny fahamarinan'ny hafanana sy ny fitoviana mafana dia mitana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny fitaovana epitaxial, ary mamaritra mivantana ny fitoviana sy ny fahadiovan'ny fitaovana sarimihetsika manify epitaxial. Noho izany, ny kalitaony dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fanomanana ny "wafers epitaxial". Miaraka amin'izany, miaraka amin'ny fitomboan'ny isan'ny fampiasana sy ny fiovan'ny fepetra fiasana, dia mora simba sy rovitra izy io, ary azo ampiasaina amin'ny zavatra hafa. Ny conductivity mafana sy ny fahamarinan'ny grafita dia manome azy tombony lehibe amin'ny maha-singa fototra azy amin'ny fitaovana MOCVD.
Na izany aza, raha grafita madio fotsiny ihany no ampiasaina dia hisy olana sasany. Mandritra ny famokarana dia hisy entona manimba sy zavatra organika metaly sisa tavela, ary hiharatsy sy hianjera ny mpanelanelana grafita, izay mampihena be ny androm-piainan'ny mpanelanelana grafita. Mandritra izany fotoana izany, ny vovoka grafita mianjera dia hiteraka fahalotoana amin'ny wafer ihany koa, ka mila vahana ireo olana ireo mandritra ny fanomanana ny fotony. Ny teknolojia fanosorana dia afaka manome fikolokoloana ny vovoka ety ambonin'ny tany, manatsara ny fitarihana hafanana, ary mandanjalanja ny fizarana hafanana, ary lasa teknolojia lehibe hamahana ity olana ity.
Araka ny tontolo iainana fampiharana sy ny fepetra takian'ny fampiasana ny fototra grafita, ny sosona ambonin'ny sosona dia tokony hanana ireto toetra manaraka ireto:
1. Haavo matevina sy fandrakofana feno:Ny fotony grafita dia ao anaty tontolo fiasana amin'ny mari-pana avo sy mora harafesina. Tsy maintsy rakotra tanteraka ny velarana, ary tsy maintsy matevina tsara ny sosona mba hiarovana tsara.
2. Fisaka tsara ny velarana:Koa satria mitaky fisaka be dia be ny velaran'ny fototra grafita ampiasaina amin'ny fitomboan'ny kristaly tokana, dia tsy maintsy tazonina ny fisaka tany am-boalohany amin'ny fototra rehefa vita ny fanomanana ny sosona, izany hoe tsy maintsy mitovy ny velaran'ny sosona.
3. Tanjaky ny fifamatorana tsara:Ny fampihenana ny fahasamihafan'ny coefficient expansion mafana eo amin'ny fotony grafita sy ny fitaovana coating dia afaka manatsara ny tanjaky ny fifamatorana eo amin'izy roa. Rehefa avy niaina tsingerin'ny hafanana ambony sy ambany amin'ny mari-pana ambony dia tsy mora vaky ny coating.
4. Fitondran-tena mafana avo lenta:Ny fitomboan'ny poti-javatra avo lenta dia mitaky ny fotony grafita mba hanome hafanana haingana sy mitovy, noho izany dia tokony hanana conductivity mafana avo lenta ny fitaovana fanosotra.
5. Teboka mitsonika avo lenta, fanoherana ny oksidasiona amin'ny mari-pana avo ary fanoherana ny harafesina:Tokony ho afaka miasa tsara ao anatin'ny mari-pana avo sy tontolo iainana miasa manimba ny coating.
Ny fahamarinan'ny hafanana, ny fitoviana ara-hafanana ary ny masontsivana hafa momba ny fahombiazan'nyMpanindry grafita voarakotra SiCmitana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny fitaovana epitaxial, noho izany dia singa fototra fototra amin'ny fitaovana MOCVD.
Ny endrika kristaly β-SiC (3C-SiC) no nofidiana ho sosona. Raha ampitahaina amin'ny endrika kristaly hafa, ity endrika kristaly ity dia manana andiana toetra tsara dia tsara toy ny fahamarinan-toerana thermodynamic tsara, ny fanoherana ny oksidasiona ary ny fanoherana ny harafesina. Miaraka amin'izany, manana conductivity mafana izay mifanaraka amin'ny an'ny grafita izy, ka manome toetra manokana ho an'ny fotony grafita. Afaka mamaha tsara ny tsy fahombiazan'ny fotony grafita vokatry ny oksidasiona sy ny harafesina ary ny fahaverezan'ny vovoka mandritra ny fampiasana azy izy, ary mahatonga ny velaran'ny fotony grafita ho matevina, tsy misy lavaka, mahatohitra ny hafanana avo, manohitra ny harafesina, manohitra ny oksidasiona ary toetra hafa, ka manatsara ny kalitaon'ny kristaly epitaxial sy ny androm-piainan'ny fotony grafita (ny androm-piainan'ny fotony grafita voarakotra SiC dia refesina amin'ny lafaoro).
Ahoana no fisafidianana lovia/fitaovana famehezana grafita MOCVD izay mahatohitra ny mari-pana avo sy ny harafesina?
Rehefa misafidygrafita na susceptor ho an'ny MOCVDizay mahatohitra ny harafesina amin'ny mari-pana avo dia tokony hodinihina ireto lafin-javatra fototra manaraka ireto:
1. Fahadiovan'ny fitaovana:Ny akora grafita madio avo dia afaka mahatohitra tsara kokoa ny harafesina sy ny oksidasiona amin'ny mari-pana avo ary mampihena ny fiantraikan'ny loto amin'ny fizotran'ny fametrahana azy.
2. Hakitroky sy porosity:Ny lovia manjarano misy hakitroky avo sy porosity ambany dia manana tanjaka mekanika tsara kokoa sy fanoherana ny harafesina, ary afaka misoroka tsara ny fidiran'ny entona sy ny fahasimban'ny fitaovana.
3. Fitondran-tena mafana:Ny lovia grafita mitondra hafanana avo dia manampy amin'ny fizarana mitovy ny hafanana, mampihena ny tsindanjana mafana, ary manatsara ny fahamarinan-toerana sy ny androm-piainan'ny fitaovana.
4. Fikarakarana ny ety ambonin'ny tany:Ny paleta grafita izay efa nandalo fitsaboana manokana ho an'ny velarana, toy ny fanosorana na fametahana takelaka, dia afaka manatsara bebe kokoa ny fanoherany ny harafesina sy ny fikikisana.
5. Habe sy endrika:Araka ny fepetra takian'ny fitaovana MOCVD manokana, fidio ny habe sy ny endrika mety mba hahazoana antoka fa mifanaraka amin'ny fitaovana ny lovia ary mora ampiasaina.
6. Lazan'ny mpanamboatra:Misafidiana mpanamboatra manana laza tsara sy traikefa manankarena mba hahazoana antoka ny fahatokisana ny kalitaon'ny vokatra sy ny serivisy aorian'ny fivarotana.
7. Fahombiazana ara-bola:Mifototra amin'ny fanarahana ireo fepetra ara-teknika takiana, diniho ny fahombiazan'ny vidiny ary mifidiana vokatra izay mahomby kokoa amin'ny vidiny.
Mpamatsy fitaovana fanitso grafita madio avo lenta ny VET Energy, manolotra sokajy isan-karazany izahay, ary azo ampiasaina amin'ny fitaovana MOCVD amin'ny marika, modely ary fepetra samihafa.Mpanindry grafita voarakotra SiCTsy misy teboka fifandraisana amin'ny coating ary tsy misy rohy malemy ny vokatra vokarin'ny VET Energy. Raha ny momba ny androm-piainan'ny mpanjifa dia afaka mamaly ny filany samihafa izy ireo (anisan'izany ny fampiasana atmosfera misy klôro), ary raisina an-tanan-droa ny mpanjifa raha mila torohevitra sy fanontaniana.
Fotoana fandefasana: 01 Martsa 2025