Ny fitomboan'ny epitaxial wafer dia tratra amin'ny alàlan'ny teknolojia metaly organika simika vapor deposition (MOCVD), izay ny entona faran'izay madio dia manindrona ao amin'ny reactor ary mirefy tsara, ka mitambatra amin'ny mari-pana ambony izy ireo mba hiteraka fifandraisana simika ary apetraka amin'ny wafer semiconductor amin'ny sosona atomika tena manify mba hamoronana epitaxy amin'ny fitaovana sy semiconductor.
Amin'ny fitaovana CVD, ny substrate dia tsy azo apetraka mivantana amin'ny metaly na eo amin'ny fototra fotsiny ho an'ny fametrahana epitaxial, satria hisy fiantraikany amin'ny lafin-javatra maro izany. Noho izany dia ilaina ny susceptor na lovia hihazona ny substrate, ary avy eo dia mampiasa ny teknolojia CVD mba hanaovana epitaxial deposition amin'ny substrate. Ity susceptor ity dia aMOCVD graphite susceptor(antsoina koa hoeMOCVD graphite tray).
Ny firafiny dia aseho amin'ny sary etsy ambany:
Nahoana ny grafita susceptor mila CVD coating?
Ny susceptor graphite dia iray amin'ireo singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD. Izy io no singa mitondra sy manafana ny substrate. Ny masontsivana fampisehoana toy ny fahamarinan-toerana mafana sy ny fanamiana mafana dia manana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny akora epitaxial, ary mamaritra mivantana ny fitoviana sy ny fahadiovan'ny fitaovana sarimihetsika manify epitaxial. Noho izany, ny kalitaony dia misy fiantraikany mivantana amin'ny fanomanana ny epitaxial wafers. Mandritra izany fotoana izany, miaraka amin'ny fitomboan'ny isan'ny fampiasana sy ny fiovan'ny toe-javatra miasa, dia tena mora ny mitafy sy ny rovitra, dia consumable. Ny conductivity mafana tsara sy ny fahamarinan'ny graphite dia manome tombony lehibe ho toy ny singa fototra amin'ny fitaovana MOCVD.
Na izany aza, raha graphite madio ihany no hisy olana. Ao amin'ny dingan'ny famokarana dia hisy entona manimba sisa tavela sy zavatra organika metaly, ary ny grafit susceptor dia hanimba sy hianjera, izay mampihena be ny fiainan'ny graphite susceptor. Mandritra izany fotoana izany, ny vovoka grafit mianjera dia hiteraka fandotoana ny wafer, noho izany dia mila voavaha ireo olana ireo amin'ny fizotry ny fanomanana ny fototra. Ny teknôlôjia coating dia afaka manome fanamafisana ny vovo-tany, manatsara ny conductivity mafana, ary mandanjalanja ny fizarana hafanana, ary lasa teknolojia lehibe hamahana ity olana ity.
Araka ny tontolo iainana fampiharana sy ny fampiasana ny fototry ny grafit, ny coating ambonin'ny dia tokony hanana ireto toetra manaraka ireto:
1. High density sy fandrakofana feno:Ny fototry ny graphite dia ao anatin'ny hafanana avo sy ny tontolo iasana manimba. Tsy maintsy rakotra tanteraka ny ety ivelany, ary tsy maintsy manana hakitroky tsara ny coating mba hananana anjara fiarovana tsara.
2. Filaminana tsara ambonin'ny tany:Koa satria ny fototry ny grafit ampiasaina amin'ny fitomboan'ny kristaly tokana dia mitaky fisaka avo be, dia tsy maintsy tazonina ny fisaka voalohany amin'ny fotony aorian'ny fiomanana ny coating, izany hoe, ny tampon'ny coating dia tsy maintsy mitovy.
3. Hery fatorana tsara:Ny fampihenana ny fahasamihafan'ny fatran'ny fanitarana mafana eo amin'ny fototry ny grafit sy ny akora fanosotra dia afaka manatsara tsara ny tanjaky ny fifamatorana eo amin'ny roa. Rehefa avy niaina tsingerin'ny hafanana ambony sy ambany ny hafanana, ny coating dia tsy mora vaky.
4. Conductivity mafana mafana:Ny fitomboan'ny chip avo lenta dia mitaky ny fototry ny graphite mba hanomezana hafanana haingana sy fanamiana, noho izany dia tokony hanana conductivity mafana avo lenta ny akora coating.
5. Avo levona, hafanana avo oxidation fanoherana sy harafesina fanoherana:Ny coating dia tokony ho afaka miasa stably amin'ny hafanana ambony sy ny corrosive tontolo iainana.
Ny fahamarinan-toerana mafana, ny fitovian'ny hafanana ary ny mari-pamantarana hafa amin'ny fampisehoanaSiC coated graphite susceptormitana anjara toerana lehibe amin'ny kalitaon'ny fitomboan'ny akora epitaxial, noho izany no singa fototra fototra amin'ny fitaovana MOCVD.
β-SiC (3C-SiC) endrika kristaly no voafidy ho coating. Raha ampitahaina amin'ny endrika kristaly hafa, ity endrika kristaly ity dia manana andiana toetra tena tsara toy ny fahamarinan-toerana thermodynamic tsara, ny fanoherana ny oxidation ary ny fanoherana ny harafesina. Mandritra izany fotoana izany, manana conductivity mafana izay mifanaraka amin'ny an'ny graphite izy io, ka manome toetra manokana ny fototry ny graphite. Afaka mamaha amim-pahombiazana ny tsy fahombiazan'ny graphite fototra vokatry ny hafanana avo oxidation sy ny harafesiny sy ny vovoka very mandritra ny fanompoana, ary mahatonga ny ambonin'ny grafit fototra matevina, tsy porous, hafanana avo mahatohitra, anti-corrosion, anti-oxidation sy ny toetra hafa, amin'izany fanatsarana ny kristaly epitaxial kalitao sy ny fiainana fanompoana ny fiainana graphite fototra fandrefesana ny SiC. lafaoro).
Ahoana ny fisafidianana grafita MOCVD / susceptor izay mahatohitra ny hafanana sy ny harafesina?
Rehefa mifidy agrafit lovia na susceptor ho an'ny MOCVDizay mahatohitra ny harafesina amin'ny maripana ambony, dia tokony hodinihina ireto lafin-javatra manaraka ireto:
1. Fahadiovana ara-materialy:Ny fitaovana grafit madio dia afaka manohitra tsara kokoa ny harafesina sy ny oxidation amin'ny hafanana avo ary mampihena ny fiantraikan'ny loto eo amin'ny fizotran'ny deposition.
2. Haavo sy porosity:Graphite trays amin'ny hakitroky avo sy ambany porosity manana hery mekanika tsara kokoa sy ny harafesiny fanoherana, ary afaka amin'ny fomba mahomby hisorohana ny entona miditra sy ny fitaovana erosion.
3. Conductivity mafana:Ny lovia graphite conductivity mafana dia manampy amin'ny fizarana hafanana, mampihena ny adin-tsaina mafana, ary manatsara ny fahamendrehana sy ny fiainan'ny fitaovana.
4. Surface fitsaboana:Ny pallets graphite izay nandalo fitsaboana manokana, toy ny coating na plating, dia afaka manatsara kokoa ny fanoherana ny harafesiny sy ny fanoherana azy.
5. Habe sy endrika:Araka ny fepetra takiana manokana amin'ny fitaovana MOCVD, safidio ny habe sy ny endriny mety mba hiantohana ny fampifanarahana ny lovia amin'ny fitaovana sy ny fanamorana ny asa.
6. Lazan'ny mpanamboatra:Misafidiana mpanamboatra manana laza tsara sy traikefa manankarena mba hiantohana ny fahamendrehan'ny kalitaon'ny vokatra sy ny serivisy aorian'ny varotra.
7. Ny fahombiazan'ny vidiny:Eo amin'ny sehatry ny fanatanterahana ny fepetra ara-teknika, diniho ny fahombiazan'ny vidiny ary mifidiana vokatra manana vidiny ambony kokoa.
VET Energy dia mpamatsy susceptor graphite madio indrindra, manolotra sokajy maro isan-karazany izahay, ary azo ampiasaina amin'ny fitaovana MOCVD amin'ny marika, modely ary famaritana samihafa. nySiC coated graphite susceptornovokarin'ny VET Energy dia tsy manana teboka mifandray amin'ny coating ary tsy misy rohy malemy. Eo amin'ny fiainan'ny serivisy dia afaka mahafeno ny fepetra takian'ny mpanjifa manana filana samihafa izy ireo (anisan'izany ny fampiasana atmosfera misy chlorine), ary ny mpanjifa dia raisina an-tsaina sy manontany.
Fotoana fandefasana: Mar-01-2025