ලෝහ කාබනික රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (MOCVD) තාක්ෂණය හරහා වේෆර් එපිටැක්සියල් වර්ධනය සාක්ෂාත් කරගනු ලබන අතර, එහිදී අතිශය පිරිසිදු වායූන් ප්රතික්රියාකාරකයට එන්නත් කර සියුම් ලෙස මාපක කරනු ලැබේ, එවිට ඒවා ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ඒකාබද්ධ වී රසායනික අන්තර්ක්රියා ඇති කර ඉතා තුනී පරමාණුක ස්ථරවල අර්ධ සන්නායක වේෆර් මත තැන්පත් කර ද්රව්ය සහ සංයෝග අර්ධ සන්නායකවල එපිටැක්සි සාදයි.
CVD උපකරණවල, උපස්ථරය සෘජුවම ලෝහයක් මත හෝ එපිටැක්සියල් තැන්පත් කිරීම සඳහා පදනමක් මත තැබිය නොහැක, මන්ද එය බොහෝ සාධක මගින් බලපානු ඇත. එබැවින්, උපස්ථරය රඳවා තබා ගැනීමට සසෙප්ටරයක් හෝ තැටියක් අවශ්ය වන අතර, පසුව උපස්ථරය මත එපිටැක්සියල් තැන්පත් කිරීම සිදු කිරීමට CVD තාක්ෂණය භාවිතා කරයි. මෙම සසෙප්ටරය aMOCVD ග්රැෆයිට් ප්රතිග්රාහකය(ලෙසද හඳුන්වනු ලැබේMOCVD මිනිරන් තැටිය).
එහි ව්යුහය පහත රූපයේ දැක්වේ:
ග්රැෆයිට් සසෙප්ටරයට CVD ආලේපනය අවශ්ය වන්නේ ඇයි?
ග්රැෆයිට් සස්පෙක්ටරය MOCVD උපකරණවල මූලික සංරචක වලින් එකකි. එය උපස්ථරයේ වාහකය සහ තාපන මූලද්රව්යය වේ. තාප ස්ථායිතාව සහ තාප ඒකාකාරිත්වය වැනි එහි කාර්ය සාධන පරාමිතීන් එපිටැක්සියල් ද්රව්ය වර්ධනයේ ගුණාත්මකභාවය සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරන අතර එපිටැක්සියල් තුනී පටල ද්රව්යවල ඒකාකාරිත්වය සහ සංශුද්ධතාවය සෘජුවම තීරණය කරයි. එබැවින්, එහි ගුණාත්මකභාවය එපිටැක්සියල් වේෆර් සකස් කිරීමට සෘජුවම බලපායි. ඒ සමඟම, භාවිතයන් ගණන වැඩිවීම සහ සේවා කොන්දේසි වල වෙනස්කම් සමඟ, එය ඇඳීමට සහ ඉරීමට ඉතා පහසු වේ, එය පරිභෝජනය කළ හැකි ය. මිනිරන් වල විශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය සහ ස්ථායිතාව MOCVD උපකරණවල මූලික සංරචකයක් ලෙස එයට විශාල වාසියක් ලබා දෙයි.
කෙසේ වෙතත්, එය පිරිසිදු මිනිරන් පමණක් නම්, සමහර ගැටළු ඇති වේ. නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, අවශේෂ විඛාදන වායූන් සහ ලෝහ කාබනික ද්රව්ය ඇති අතර, මිනිරන් ග්රැෆයිට්
මිනිරන් පාදයේ යෙදුම් පරිසරය සහ භාවිත අවශ්යතා අනුව, මතුපිට ආලේපනයට පහත ලක්ෂණ තිබිය යුතුය:
1. ඉහළ ඝනත්වය සහ සම්පූර්ණ ආවරණය:මිනිරන් පදනම ඉහළ උෂ්ණත්වයක සහ විඛාදනයට ලක්වන වැඩ කරන පරිසරයක පවතී. මතුපිට සම්පූර්ණයෙන්ම ආවරණය කළ යුතු අතර, හොඳ ආරක්ෂිත කාර්යභාරයක් ඉටු කිරීම සඳහා ආලේපනය හොඳ ඝනත්වයක් තිබිය යුතුය.
2. හොඳ මතුපිට සමතලා බව:තනි ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා භාවිතා කරන මිනිරන් පාදයට ඉතා ඉහළ මතුපිට සමතලා බවක් අවශ්ය වන බැවින්, ආලේපනය සකස් කිරීමෙන් පසු පාදයේ මුල් සමතලා බව පවත්වා ගත යුතුය, එනම් ආලේපන මතුපිට ඒකාකාර විය යුතුය.
3. හොඳ බන්ධන ශක්තිය:මිනිරන් පාදය සහ ආලේපන ද්රව්ය අතර තාප ප්රසාරණ සංගුණකයේ වෙනස අඩු කිරීමෙන් දෙක අතර බන්ධන ශක්තිය ඵලදායී ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකිය. ඉහළ සහ අඩු උෂ්ණත්ව තාප චක්ර අත්විඳීමෙන් පසු, ආලේපනය ඉරිතලා යාම පහසු නොවේ.
4. ඉහළ තාප සන්නායකතාවය:උසස් තත්ත්වයේ චිප් වර්ධනය සඳහා මිනිරන් පදනම වේගවත් හා ඒකාකාර තාපයක් සැපයීම අවශ්ය වේ, එබැවින් ආලේපන ද්රව්යයට ඉහළ තාප සන්නායකතාවක් තිබිය යුතුය.
5. ඉහළ ද්රවාංකය, ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය:ආලේපනය ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී සහ විඛාදනයට ලක්වන වැඩ කරන පරිසරයකදී ස්ථායීව ක්රියා කිරීමට හැකි විය යුතුය.
තාප ස්ථායිතාව, තාප ඒකාකාරිත්වය සහ අනෙකුත් කාර්ය සාධන පරාමිතීන්SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් ප්රතිග්රාහකයඑපිටැක්සියල් ද්රව්ය වර්ධනයේ ගුණාත්මකභාවය සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, එබැවින් එය MOCVD උපකරණවල මූලික ප්රධාන අංගය වේ.
ආලේපනය ලෙස β-SiC (3C-SiC) ස්ඵටික ආකාරය තෝරාගෙන ඇත. අනෙකුත් ස්ඵටික ආකාර සමඟ සසඳන විට, මෙම ස්ඵටික ආකාරය හොඳ තාප ගතික ස්ථායිතාව, ඔක්සිකරණ ප්රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්රතිරෝධය වැනි විශිෂ්ට ගුණාංග මාලාවක් ඇත. ඒ සමඟම, එය ග්රැෆයිට් වලට මූලික වශයෙන් අනුකූල වන තාප සන්නායකතාවක් ඇති අතර එමඟින් ග්රැෆයිට් පදනමට විශේෂ ගුණාංග ලබා දෙයි. සේවය අතරතුර ඉහළ උෂ්ණත්ව ඔක්සිකරණය සහ විඛාදනය සහ කුඩු නැතිවීම නිසා ඇතිවන ග්රැෆයිට් පාදයේ අසාර්ථකත්වය ඵලදායී ලෙස විසඳා ගත හැකි අතර, ග්රැෆයිට් පාදයේ මතුපිට ඝන, සිදුරු රහිත, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධී, විඛාදන විරෝධී, ඔක්සිකරණ විරෝධී සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ ඇති කරයි, එමඟින් ස්ඵටික එපිටැක්සියල් ගුණාත්මකභාවය සහ ග්රැෆයිට් පාදයේ සේවා කාලය වැඩි දියුණු කරයි (SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් පාදයේ සේවා කාලය උදුන් වල මනිනු ලැබේ).
ඉහළ උෂ්ණත්වයට සහ විඛාදනයට ප්රතිරෝධී MOCVD මිනිරන් තැටිය/සස්පෙක්ටරය තෝරා ගන්නේ කෙසේද?
තෝරා ගැනීමේදීMOCVD සඳහා ග්රැෆයිට් තැටි හෝ susceptorඉහළ උෂ්ණත්ව විඛාදනයට ප්රතිරෝධී වන විට, පහත සඳහන් ප්රධාන සාධක සලකා බැලිය යුතුය:
1. ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය:අධි-පිරිසිදු මිනිරන් ද්රව්යවලට ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී විඛාදනයට හා ඔක්සිකරණයට වඩා හොඳින් ප්රතිරෝධය දැක්විය හැකි අතර තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලියට අපද්රව්යවල බලපෑම අඩු කළ හැකිය.
2. ඝනත්වය සහ සිදුරු බව:ඉහළ ඝනත්වයක් සහ අඩු සිදුරු සහිත මිනිරන් තැටි වඩා හොඳ යාන්ත්රික ශක්තියක් සහ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් ඇති අතර, වායු විනිවිද යාම සහ ද්රව්ය ඛාදනය ඵලදායී ලෙස වළක්වා ගත හැකිය.
3. තාප සන්නායකතාවය:ඉහළ තාප සන්නායකතා මිනිරන් තැටිය තාපය ඒකාකාරව බෙදා හැරීමට, තාප ආතතිය අඩු කිරීමට සහ උපකරණවල ස්ථායිතාව සහ සේවා කාලය වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ.
4. මතුපිට ප්රතිකාර:ආලේපනය හෝ ආලේපනය වැනි විශේෂ මතුපිට ප්රතිකාරයකට භාජනය වී ඇති ග්රැෆයිට් පැලට් වලට ඒවායේ විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය තවදුරටත් වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
5. ප්රමාණය සහ හැඩය:MOCVD උපකරණවල නිශ්චිත අවශ්යතා අනුව, උපකරණ සමඟ තැටියේ ගැළපුම සහ ක්රියාත්මක වීමේ පහසුව සහතික කිරීම සඳහා සුදුසු ප්රමාණය සහ හැඩය තෝරන්න.
6. නිෂ්පාදකයාගේ කීර්තිය:නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහ අලෙවියෙන් පසු සේවාවේ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා හොඳ නමක් සහ පොහොසත් අත්දැකීම් ඇති නිෂ්පාදකයෙකු තෝරන්න.
7. පිරිවැය-ඵලදායීතාවය:තාක්ෂණික අවශ්යතා සපුරාලීමේ පදනම මත, පිරිවැය-ඵලදායීතාවය සලකා බලා ඉහළ පිරිවැය කාර්ය සාධනයක් සහිත නිෂ්පාදන තෝරා ගන්න.
VET Energy යනු ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් සස්පෙක්ටර් සැපයුම්කරුවෙකි, අපි පුළුල් පරාසයක කාණ්ඩ පිරිනමන අතර විවිධ වෙළඳ නාම, මාදිලි සහ පිරිවිතරයන්ගෙන් යුත් MOCVD උපකරණවල භාවිතා කළ හැකිය.SiC ආලේපිත ග්රැෆයිට් ප්රතිග්රාහකයVET Energy විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද ඒවාට ආලේපන සම්බන්ධතා ස්ථාන සහ දුර්වල සම්බන්ධතා නොමැත.සේවා කාලය අනුව, ඔවුන්ට විවිධ අවශ්යතා ඇති (ක්ලෝරීන් අඩංගු වායුගෝල භාවිතය ඇතුළුව) පාරිභෝගිකයින්ගේ අවශ්යතා සපුරාලිය හැකි අතර, පාරිභෝගිකයින්ට උපදෙස් සහ විමසීම් සඳහා සාදරයෙන් පිළිගනිමු.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-01-2025