Plastinkanyň epitaksial ösüşi metal organiki himiki bug çökündisi (MOCVD) tehnologiýasy arkaly amala aşyrylýar, bu tehnologiýada ultra arassa gazlar reaktora guýulýar we inçe ölçenýär, şonuň üçin olar ýokary temperaturada birleşip himiki özara täsirleri döredýär we materiallaryň we birleşen ýarymgeçirijileriň epitaksiasyny emele getirmek üçin örän inçe atom gatlaklaryndaky ýarymgeçiriji plastinalara çökýär.
Ýürek-damar enjamlarynda substraty epitaksial çökündi üçin gönüden-göni metalyň üstüne ýa-da diňe esasyň üstüne goýup bolmaýar, sebäbi oňa köp faktorlar täsir eder. Şonuň üçin substraty saklamak üçin susseptor ýa-da tagta gerek, soňra substratda epitaksial çökündini amala aşyrmak üçin Ýürek-damar tehnologiýasyny ulanyň. Bu susseptorMOCVD grafit susseptory(şeýle hem diýilýärMOCVD grafit tabagy).
Onuň gurluşy aşakdaky suratda görkezilen:
Grafit susseptorynyň näme üçin CVD örtügine mätäçligi bar?
Grafit susseptory MOCVD enjamlarynyň esasy bölekleriniň biridir. Ol substratyň daşaýjysy we gyzdyryjy elementidir. Onuň termal durnuklylygy we termal deňligi ýaly iş görkezijileri epitaksial materialyň ösüşiniň hilinde aýgytlaýjy rol oýnaýar we epitaksial inçe plýonka materiallarynyň deňligini we arassalygyny gönüden-göni kesgitleýär. Şonuň üçin onuň hili epitaksial waferleriň taýýarlanmagyna gönüden-göni täsir edýär. Şol bir wagtyň özünde, ulanylyşlaryň sanynyň artmagy we iş şertleriniň üýtgemegi bilen, ony geýmek we ýyrtmak örän aňsat, ol sarp edilýän zatdyr. Grafitiň ajaýyp termal geçirijiligi we durnuklylygy oňa MOCVD enjamlarynyň esasy bölegi hökmünde uly artykmaçlyk berýär.
Ýöne, eger ol diňe arassa grafit bolsa, käbir kynçylyklar dörär. Önümçilik prosesinde galan poslaýjy gazlar we metal organiki maddalar bolar, şeýle hem grafit susseptory poslap, düşer, bu bolsa grafit susseptorynyň hyzmat möhletini ep-esli azaldýar. Şol bir wagtyň özünde, düşýän grafit poroşogy hem waferiň hapalanmagyna sebäp bolar, şonuň üçin bu kynçylyklary esas taýýarlamak prosesinde çözmeli. Örtük tehnologiýasy ýüz poroşogynyň berkidilmegini üpjün edip, ýylylyk geçirijiligini ýokarlandyryp we ýylylyk paýlanyşyny deňleşdirip biler we bu meseläni çözmegiň esasy tehnologiýasyna öwrüldi.
Grafit esasynyň ulanylyş gurşawyna we ulanylyş talaplaryna laýyklykda, ýüz örtügi aşakdaky häsiýetlere eýe bolmalydyr:
1. Ýokary dykyzlyk we doly örtük:Grafit esasy ýokary temperaturada we poslama iş gurşawynda ýerleşýär. Ýüzü doly örtülmeli we örtük gowy gorag rolyny oýnamagy üçin gowy dykyzlyga eýe bolmaly.
2. Gowy ýüzleý tekizlik:Monokristallaryň ösmegi üçin ulanylýan grafit esasy örän ýokary ýüz tekizligini talap edýändigi sebäpli, örtük taýýarlanandan soň esasyň asyl tekizligi saklanmalydyr, ýagny örtük ýüzi deň bolmalydyr.
3. Gowy baglanyş güýji:Grafit esasy bilen örtük materialynyň arasyndaky termal giňelme koeffisiýentiniň tapawudyny azaltmak, olaryň arasyndaky baglanyş güýjüni netijeli ýokarlandyryp biler. Ýokary we pes temperaturaly termal siklleri başdan geçirenden soň, örtük aňsatlyk bilen ýarylmaýar.
4. Ýokary ýylylyk geçirijiligi:Ýokary hilli çip ösüşi üçin grafit esasynyň çalt we birmeňzeş ýylylyk bermegi talap edilýär, şonuň üçin örtük materialy ýokary ýylylyk geçirijiligine eýe bolmalydyr.
5. Ýokary ereme nokady, ýokary temperatura oksidlenme garşylygy we korroziýa garşylygy:Örtük ýokary temperaturada we aşyndyryjy iş gurşawynda durnukly işläp bilmelidir.
Termal durnuklylygy, termal deňligi we beýleki iş görkezijileriSiC örtülen grafit susseptoryepitaksial materialyň ösüşiniň hilinde aýgytlaýjy rol oýnaýar, şonuň üçin ol MOCVD enjamlarynyň esasy esasy bölegidir.
β-SiC (3C-SiC) kristal görnüşi örtük hökmünde saýlanýar. Beýleki kristal görnüşleri bilen deňeşdirilende, bu kristal görnüşi gowy termodinamik durnuklylyk, oksidlenme garşylygy we korroziýa garşylygy ýaly birnäçe ajaýyp häsiýetlere eýedir. Şol bir wagtyň özünde, ol esasan grafidiňki bilen gabat gelýän ýylylyk geçirijiligine eýedir, şonuň üçin grafit esasyna ýörite häsiýetler berýär. Ol ýokary temperatura oksidlenmesi we korroziýa hem-de hyzmat wagtynda poroşok ýitgisi sebäpli grafit esasynyň zaýalanmagyny netijeli çözüp biler we grafit esasynyň ýüzüni dykyz, gözeneksiz, ýokary temperatura çydamly, korroziýa garşy, oksidlenme garşy we beýleki häsiýetlere öwürýär, şeýlelik bilen kristal epitaksial hilini we grafit esasynyň hyzmat möhletini gowulandyrýar (SiC örtülen grafit esasynyň hyzmat möhleti peçlerde ölçenýär).
Ýokary temperatura we korroziýa çydamly MOCVD grafit tabagyny/susseptoryny nädip saýlamaly?
SaýlanyňyzdaMOCVD üçin grafit lýubo ýa-da duýgurýokary temperaturadaky korroziýa garşy durnukly bolanda, aşakdaky esasy faktorlary göz öňünde tutmaly:
1. Materialyň arassalygy:Ýokary arassa grafit materiallary ýokary temperaturada korroziýa we oksidlenmä has gowy garşy durup, çökündi prosesine hapaçylyklaryň täsirini azaldyp biler.
2. Dykyzlyk we gözeneklilik:Ýokary dykyzlykly we pes gözeneklilikli grafit tabaklary has gowy mehaniki berklige we korroziýa garşylygyna eýedir, şeýle hem gazyň siňmeginiň we material eroziýasynyň öňüni netijeli alyp biler.
3. Ýylylyk geçirijiligi:Ýokary ýylylyk geçirijilik grafit tabagy ýylylygy deň derejede paýlamaga, ýylylyk stresini azaltmaga we enjamyň durnuklylygyny we hyzmat möhletini gowulandyrmaga kömek edýär.
4. Ýüzleý işleme:Örtük ýa-da örtük ýaly ýörite ýüzleý işleme geçirilen grafit palletleri olaryň korroziýa we aşynma garşylygyny has-da ýokarlandyryp biler.
5. Ölçegi we görnüşi:MOCVD enjamlarynyň anyk talaplaryna laýyklykda, tagtanyň enjam bilen utgaşyklylygyny we işlemegiň amatlylygyny üpjün etmek üçin degişli ululygy we görnüşi saýlaň.
6. Öndürijiniň abraýy:Önümiň hiliniň we satuwdan soňky hyzmatynyň ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin gowy abraýa we baý tejribe eýe bolan önüm öndürijini saýlaň.
7. Çykdajylaryň netijeliligi:Tehniki talaplara laýyk gelmek şerti bilen, çykdajylaryň netijeliligini göz öňünde tutuň we has ýokary çykdajy görkezijileri bolan önümleri saýlaň.
“VET Energy” ýokary arassa grafit susseptor üpjün edijisidir, biz dürli kategoriýalary hödürleýäris we dürli markalaryň, modelleriň we tehniki häsiýetnamalaryň MOCVD enjamlarynda ulanylyp bilner.SiC örtülen grafit susseptory“VET Energy” tarapyndan öndürilen örtük kontakt nokatlary we gowşak halkalary ýok. Hyzmat möhleti babatda olar dürli zerurlyklary bolan müşderileriň (şol sanda hlor saklaýan atmosferalary ulanmak) talaplaryny kanagatlandyryp bilýär we müşderiler maslahat we sorag bermäge hoş geldiňiz.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 1-nji marty