MOCVD grafit çüýşesi näme?

Wafer epitaksial ösüş, reaktora ultra arassa gazlar sanjylýar we inçe ölçegli metal organiki himiki buglary çökdürmek (MOCVD) tehnologiýasy arkaly gazanylýar, ýokary temperaturada birleşip, himiki täsirlere sebäp bolýar we ýarymgeçiriji waflere materiallaryň we birleşýän ýarymgeçirijileriň epitaksiýasyny emele getirýär.

CVD enjamlarynda substrat gönüden-göni metallara ýa-da epitaksial çöketlik üçin goýulyp bilinmez, sebäbi köp faktorlar täsir eder. Şonuň üçin substraty saklamak üçin bir duýgur ýa-da tarelka gerek, soň bolsa substratda epitaksial çöketligi ýerine ýetirmek üçin CVD tehnologiýasyny ulanyň. Bu duýgur aMOCVD grafit duýgur(diýilýärMOCVD grafit lagasy).

Gurluşy aşakdaky suratda görkezilýär:

Grafit duýgurlygyna näme üçin CVD örtügi gerek?

Grafit duýgurlygy MOCVD enjamlarynyň esasy böleklerinden biridir. Substratyň daşaýjy we ýyladyş elementidir. Malylylyk durnuklylygy we ýylylyk birmeňzeşligi ýaly öndürijilik parametrleri epitaksial materialyň ösmeginde aýgytly rol oýnaýar we epitaksial inçe film materiallarynyň birmeňzeşligini we arassalygyny gönüden-göni kesgitleýär. Şonuň üçin onuň hili epitaksial wafli taýýarlamaga gönüden-göni täsir edýär. Şol bir wagtyň özünde, ulanylyş sanynyň köpelmegi we iş şertleriniň üýtgemegi bilen geýmek we ýyrtmak gaty aňsat, sarp edilip bilner. Grafitiň ajaýyp ýylylyk geçirijiligi we durnuklylygy oňa MOCVD enjamlarynyň esasy bölegi hökmünde uly artykmaçlyk berýär.

Şeýle-de bolsa, diňe arassa grafit bolsa, käbir problemalar ýüze çykar. Önümçilik prosesinde galyndy poslaýjy gazlar we metal organiki maddalar bolar we grafit duýgurlary poslap, ýykylar, bu grafit duýgurlygynyň hyzmat möhletini ep-esli azaldar. Şol bir wagtyň özünde düşýän grafit tozy, wafli hapalanmagyna sebäp bolar, şonuň üçin bu meseleler bazany taýýarlamak işinde çözülmelidir. Örtük tehnologiýasy ýerüsti tozany berkitmegi üpjün edip biler, ýylylyk geçirijiligini ýokarlandyryp we ýylylygyň paýlanyşyny deňleşdirip biler we bu meseläni çözmegiň esasy tehnologiýasyna öwrüldi.

Programma gurşawyna we grafit bazasynyň ulanylyş talaplaryna laýyklykda ýerüsti örtük aşakdaky aýratynlyklara eýe bolmalydyr:

1. Dokary dykyzlyk we doly gurşaw:Grafit bazasy ýokary temperaturada we poslaýjy iş gurşawynda. Surfaceer ýüzüni doly örtmeli we gowy gorag roluny oýnamak üçin örtük gowy dykyzlyga eýe bolmalydyr.

2. surfaceerüsti tekizlik:Singleeke kristal ösmek üçin ulanylýan grafit bazasy gaty ýokary tekizligi talap edýändigi sebäpli, örtük taýýarlanylandan soň binanyň asyl tekizligi saklanmalydyr, ýagny örtügiň üstü birmeňzeş bolmalydyr.

3. Gowy baglanyşyk güýji:Grafit bazasy bilen örtük materialynyň arasynda ýylylyk giňelme koeffisiýentiniň tapawudyny azaltmak, ikisiniň arasyndaky baglanyşyk güýjüni netijeli gowulaşdyryp biler. Highokary we pes temperaturaly termiki siklleri başdan geçireniňizden soň, örtügi döwmek aňsat däl.

4. termokary ýylylyk geçirijiligi:Qipokary hilli çipiň ösmegi çalt we birmeňzeş ýylylygy üpjün etmek üçin grafit bazasyny talap edýär, şonuň üçin örtük materialy ýokary ýylylyk geçirijiligine eýe bolmalydyr.

5. erokary eriş nokady, ýokary temperatura okislenme garşylygy we poslama garşylyk:Örtük ýokary temperaturada we poslaýjy iş şertlerinde durnukly işlemeli.

Malylylyk durnuklylygy, ýylylyk birmeňzeşligi we beýleki öndürijilik parametrleriSiC örtülen grafit duýgurepitaksial material ösüşiniň hilinde aýgytly rol oýnaýar, şonuň üçin MOCVD enjamlarynyň esasy bölegi bolup durýar.

örtük hökmünde β-SiC (3C-SiC) kristal görnüşi saýlanýar. Beýleki kristal görnüşleri bilen deňeşdirilende, bu kristal görnüş oňat termodinamiki durnuklylyk, okislenme garşylygy we poslama garşylyk ýaly ajaýyp häsiýetlere eýedir. Şol bir wagtyň özünde, grafit bilen esasan gabat gelýän ýylylyk geçirijiligi bar, şeýlelik bilen grafit bazasyna aýratyn aýratynlyklar berýär. Hyzmat wagtynda ýokary temperaturaly okislenme we poslama we poroşok ýitgilerinden dörän grafit bazasynyň şowsuzlygyny netijeli çözüp biler we grafit bazasynyň ýüzüni dykyz, gözenekli däl, ýokary temperatura çydamly, poslama garşy, okislenmä garşy we beýleki aýratynlyklary edip biler, şeýlelik bilen kristal epitaksial hilini ýokarlandyrar we grafit bazasynyň hyzmat möhleti ölçelýär (SiC örtülen grafit bazasynyň hyzmat ömri).

Temperatureokary temperatura we poslama çydamly MOCVD grafit lýuboý / duýgurlygyny nädip saýlamaly?

A saýlanyňyzdaMOCVD üçin grafit lagasy ýa-da duýgurýokary temperatura poslama garşy, aşakdaky esasy faktorlary göz öňünde tutmaly:

1. Maddy arassalygy:Purokary arassa grafit materiallary ýokary temperaturada poslama we okislenmä has gowy garşy durup biler we hapalaryň çökdürme prosesine täsirini azaldyp biler.

2. Dykyzlygy we gözenekliligi:Highokary dykyzlygy we pes gözenekli grafit gaplar has gowy mehaniki güýje we poslama garşylygy bar we gazyň aralaşmagynyň we maddy eroziýanyň öňüni alyp biler.

3. malylylyk geçirijiligi:Termokary ýylylyk geçirijilik grafit lagasy ýylylygy deň paýlamaga, ýylylyk stresini azaltmaga we enjamyň durnuklylygyny we hyzmat möhletini ýokarlandyrmaga kömek edýär.

4. faceerüsti bejermek:Örtük ýa-da örtük ýaly ýörite ýerüsti bejergini başdan geçiren grafit paletler, poslama garşylygy we könelmegine garşylygy hasam güýçlendirip biler.

5. Ölçegi we görnüşi:MOCVD enjamlarynyň aýratyn talaplaryna laýyklykda, tarelkanyň enjamlar bilen sazlaşygyny we işleýiş amatlylygyny üpjün etmek üçin degişli ululygy we görnüşi saýlaň.

6. Öndürijiniň abraýy:Önümiň hiliniň we satuwdan soňky hyzmatyň ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin gowy abraýy we baý tejribesi bolan öndürijini saýlaň.

7. Çykdajylaryň netijeliligi:Tehniki talaplary ýerine ýetirmek şerti bilen, çykdajylaryň netijeliligini göz öňünde tutuň we has ýokary öndürijilikli önümleri saýlaň.

VET Energy ýokary arassalykly grafit duýgur üpjün edijidir, biz dürli kategoriýalary hödürleýäris we dürli markalaryň, modelleriň we spesifikasiýalaryň MOCVD enjamlarynda ulanylyp bilner. TheSiC örtülen grafit duýgurVET Energy tarapyndan öndürilen örtük aragatnaşyk nokatlary we gowşak baglanyşyklary ýok. Hyzmat möhleti taýdan dürli zerurlyklary bolan (hlorly atmosferany ulanmagy goşmak bilen) müşderileriň talaplaryny kanagatlandyryp bilerler we müşderiler maslahat we gözleg üçin hoş geldiňiz.