MOCVD grafit patnisi ​​nima?

Plitaning epitaksial o'sishi metall organik kimyoviy bug' cho'ktirish (MOCVD) texnologiyasi orqali amalga oshiriladi, bunda ultra toza gazlar reaktorga yuboriladi va nozik o'lchanadi, shunda ular yuqori haroratlarda birlashib, kimyoviy o'zaro ta'sirlarni keltirib chiqaradi va juda yupqa atom qatlamlarida yarimo'tkazgich plastinalarga cho'kib, materiallar va aralash yarimo'tkazgichlarning epitaksiyasini hosil qiladi.

CVD uskunalarida substratni to'g'ridan-to'g'ri metallga yoki shunchaki epitaksial cho'ktirish uchun asosga qo'yish mumkin emas, chunki unga ko'plab omillar ta'sir qiladi. Shuning uchun, substratni ushlab turish uchun susseptor yoki patnis kerak bo'ladi va keyin substratda epitaksial cho'ktirishni amalga oshirish uchun CVD texnologiyasidan foydalaniladi. Ushbu susseptor...MOCVD grafit susseptori(shuningdek, deyiladiMOCVD grafit patnisi).

Uning tuzilishi quyidagi rasmda ko'rsatilgan:

Nima uchun grafit susseptori CVD qoplamasiga muhtoj?

Grafit susseptori MOCVD uskunasining asosiy komponentlaridan biridir. U substratning tashuvchisi va isitish elementi hisoblanadi. Uning issiqlik barqarorligi va issiqlik bir xilligi kabi ishlash parametrlari epitaksial material o'sishi sifatida hal qiluvchi rol o'ynaydi va epitaksial yupqa plyonkali materiallarning bir xilligi va sofligini bevosita belgilaydi. Shuning uchun uning sifati epitaksial plastinkalarni tayyorlashga bevosita ta'sir qiladi. Shu bilan birga, foydalanish sonining ko'payishi va ish sharoitlarining o'zgarishi bilan uni aşınma va yirtish juda oson, u sarflanadigan materialdir. Grafitning ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi va barqarorligi unga MOCVD uskunasining asosiy komponenti sifatida katta afzallik beradi.

Biroq, agar u faqat sof grafit bo'lsa, ba'zi muammolar paydo bo'ladi. Ishlab chiqarish jarayonida qoldiq korroziyali gazlar va metall organik moddalar bo'ladi va grafit susseptori zanglaydi va tushadi, bu esa grafit susseptorining xizmat muddatini sezilarli darajada qisqartiradi. Shu bilan birga, grafit kukunining tushishi ham plastinkaning ifloslanishiga olib keladi, shuning uchun bu muammolarni asosni tayyorlash jarayonida hal qilish kerak. Qoplama texnologiyasi sirt kukunini fiksatsiya qilishni ta'minlaydi, issiqlik o'tkazuvchanligini oshiradi va issiqlik taqsimotini muvozanatlashtiradi va bu muammoni hal qilishning asosiy texnologiyasiga aylandi.

Grafit asosining qo'llanilish muhiti va foydalanish talablariga muvofiq, sirt qoplamasi quyidagi xususiyatlarga ega bo'lishi kerak:

1. Yuqori zichlik va to'liq qoplama:Grafit asosi yuqori harorat va korroziyali ish muhitida bo'ladi. Sirt to'liq qoplangan bo'lishi kerak va qoplama yaxshi himoya rolini o'ynashi uchun yaxshi zichlikka ega bo'lishi kerak.

2. Yaxshi sirt tekisligi:Monokristal o'sishi uchun ishlatiladigan grafit asosi juda yuqori sirt tekisligini talab qilganligi sababli, qoplama tayyorlangandan so'ng asosning asl tekisligi saqlanishi kerak, ya'ni qoplama yuzasi bir xil bo'lishi kerak.

3. Yaxshi bog'lanish kuchi:Grafit asosi va qoplama materiali orasidagi issiqlik kengayish koeffitsientidagi farqni kamaytirish ikkalasi orasidagi bog'lanish kuchini samarali ravishda oshirishi mumkin. Yuqori va past haroratli issiqlik sikllarini boshdan kechirgandan so'ng, qoplamaning yorilishi oson emas.

4. Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Yuqori sifatli chip o'sishi tez va bir xil issiqlikni ta'minlash uchun grafit asosini talab qiladi, shuning uchun qoplama materiali yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lishi kerak.

5. Yuqori erish nuqtasi, yuqori haroratli oksidlanishga chidamlilik va korroziyaga chidamlilik:Qoplama yuqori harorat va korroziyali ish muhitida barqaror ishlashi kerak.

Termal barqarorlik, issiqlik bir xilligi va boshqa ishlash parametrlariSiC bilan qoplangan grafit susseptoriepitaksial material o'sishi sifatida hal qiluvchi rol o'ynaydi, shuning uchun u MOCVD uskunasining asosiy tarkibiy qismidir.

Qoplama sifatida β-SiC (3C-SiC) kristall shakli tanlangan. Boshqa kristall shakllari bilan taqqoslaganda, bu kristall shakli yaxshi termodinamik barqarorlik, oksidlanishga chidamlilik va korroziyaga chidamlilik kabi bir qator ajoyib xususiyatlarga ega. Shu bilan birga, u asosan grafitnikiga mos keladigan issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, bu esa grafit asosiga maxsus xususiyatlar beradi. U yuqori haroratli oksidlanish va korroziya hamda xizmat ko'rsatish paytida kukun yo'qotilishi natijasida grafit asosining ishdan chiqishini samarali ravishda hal qilishi va grafit asosining yuzasini zich, g'ovak bo'lmagan, yuqori haroratga chidamli, korroziyaga qarshi, oksidlanishga qarshi va boshqa xususiyatlarga ega qilishi, shu bilan kristall epitaksial sifatini va grafit asosining xizmat muddatini yaxshilashi mumkin (SiC bilan qoplangan grafit asosining xizmat muddati pechlarda o'lchanadi).

Yuqori harorat va korroziyaga chidamli MOCVD grafit patnis/susceptorini qanday tanlash mumkin?

TanlashdaMOCVD uchun grafit laganda yoki susseptorYuqori haroratli korroziyaga chidamli bo'lgan holda, quyidagi asosiy omillarni hisobga olish kerak:

1. Materialning sofligi:Yuqori tozalikdagi grafit materiallari yuqori haroratlarda korroziya va oksidlanishga yaxshiroq qarshilik ko'rsatishi va aralashmalarning cho'ktirish jarayoniga ta'sirini kamaytirishi mumkin.

2. Zichlik va g'ovaklilik:Yuqori zichlik va past g'ovaklilikka ega grafit tagliklari mexanik mustahkamlik va korroziyaga chidamliligi yuqori bo'lib, gazning kirib borishi va material eroziyasini samarali ravishda oldini oladi.

3. Issiqlik o'tkazuvchanligi:Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi grafit patnis issiqlikni teng taqsimlashga, issiqlik stressini kamaytirishga va uskunaning barqarorligi va xizmat muddatini yaxshilashga yordam beradi.

4. Yuzaki ishlov berish:Qoplama yoki qoplama kabi maxsus sirt ishlovidan o'tgan grafit palletlar ularning korroziyaga chidamliligi va aşınmaya bardoshliligini yanada oshirishi mumkin.

5. Hajmi va shakli:MOCVD uskunasining o'ziga xos talablariga muvofiq, patnisning uskunaga mos kelishini va ishlash qulayligini ta'minlash uchun tegishli o'lcham va shaklni tanlang.

6. Ishlab chiqaruvchining obro'si:Mahsulot sifati va sotishdan keyingi xizmat ko'rsatishning ishonchliligini ta'minlash uchun yaxshi obro'ga va boy tajribaga ega ishlab chiqaruvchini tanlang.

7. Xarajatlar samaradorligi:Texnik talablarga javob berish asosida, iqtisodiy samaradorlikni ko'rib chiqing va yuqori narx ko'rsatkichlariga ega mahsulotlarni tanlang.

VET Energy yuqori tozalikdagi grafit susseptorlari yetkazib beruvchisi bo'lib, biz turli xil toifalarni taklif etamiz va turli markalar, modellar va texnik xususiyatlarga ega MOCVD uskunalarida foydalanish mumkin.SiC bilan qoplangan grafit susseptoriVET Energy tomonidan ishlab chiqarilgan qoplamali aloqa nuqtalari va zaif bo'g'inlar yo'q. Xizmat muddati jihatidan ular turli ehtiyojlarga ega mijozlarning talablarini qondira oladi (shu jumladan, xlorli atmosferadan foydalanish) va mijozlar maslahat va so'rov yuborishlari mumkin.