MOCVD grafit patnis nima?

Gofret epitaksial o'sishi metall organik kimyoviy bug'larni cho'ktirish (MOCVD) texnologiyasi orqali amalga oshiriladi, bunda ultra toza gazlar reaktorga yuboriladi va nozik o'lchanadi, shuning uchun ular yuqori haroratlarda kimyoviy o'zaro ta'sirlarni keltirib chiqaradi va yarimo'tkazgichli gofretlarga juda nozik atom qatlamlarida yotqiziladi.

CVD uskunasida substratni to'g'ridan-to'g'ri metallga yoki oddiygina epitaksial cho'kma uchun asosga joylashtirish mumkin emas, chunki unga ko'plab omillar ta'sir qiladi. Shuning uchun substratni ushlab turish uchun susseptor yoki laganda kerak, keyin esa substratda epitaksial cho'kmani amalga oshirish uchun CVD texnologiyasidan foydalaning. Bu susseptor aMOCVD grafit sezgir(shuningdek deyiladiMOCVD grafit laganda).

Uning tuzilishi quyidagi rasmda ko'rsatilgan:

Nima uchun grafit sezgichi CVD qoplamasiga muhtoj?

Grafit ushlagichi MOCVD uskunasining asosiy komponentlaridan biridir. Bu substratning tashuvchisi va isitish elementi. Uning termal barqarorlik va termal bir xillik kabi ishlash parametrlari epitaksial materialning o'sishi sifatida hal qiluvchi rol o'ynaydi va epitaksial yupqa kino materiallarining bir xilligi va tozaligini bevosita aniqlaydi. Shuning uchun uning sifati epitaksial gofretlarni tayyorlashga bevosita ta'sir qiladi. Shu bilan birga, foydalanish sonining ko'payishi va ish sharoitlarining o'zgarishi bilan kiyinish va yirtish juda oson, u sarflanadigan materialdir. Grafitning mukammal issiqlik o'tkazuvchanligi va barqarorligi MOCVD uskunasining asosiy komponenti sifatida unga katta afzallik beradi.

Biroq, agar u faqat sof grafit bo'lsa, ba'zi muammolar bo'ladi. Ishlab chiqarish jarayonida qoldiq korroziyali gazlar va metall organik moddalar bo'ladi va grafit sensori korroziyaga uchraydi va yiqilib tushadi, bu esa grafit sezgirining ishlash muddatini sezilarli darajada qisqartiradi. Shu bilan birga, tushgan grafit kukuni ham gofretning ifloslanishiga olib keladi, shuning uchun bu muammolarni bazani tayyorlash jarayonida hal qilish kerak. Qoplama texnologiyasi sirt kukuni fiksatsiyasini ta'minlashi, issiqlik o'tkazuvchanligini oshirish va issiqlik taqsimotini muvozanatlashi mumkin va bu muammoni hal qilishning asosiy texnologiyasiga aylandi.

Grafit asosini qo'llash muhiti va foydalanish talablariga ko'ra, sirt qoplamasi quyidagi xususiyatlarga ega bo'lishi kerak:

1. Yuqori zichlik va to'liq qamrov:Grafit bazasi yuqori harorat va korroziy ish muhitida. Sirt to'liq qoplangan bo'lishi kerak va qoplama yaxshi himoya rolini o'ynash uchun yaxshi zichlikka ega bo'lishi kerak.

2. Yaxshi sirt tekisligi:Yagona kristall o'sishi uchun ishlatiladigan grafit asosi juda yuqori sirt tekisligini talab qilganligi sababli, qoplama tayyorlangandan keyin taglikning asl tekisligi saqlanishi kerak, ya'ni qoplama yuzasi bir xil bo'lishi kerak.

3. Yaxshi bog'lanish kuchi:Grafit asosi va qoplama materiali o'rtasidagi issiqlik kengayish koeffitsientidagi farqni kamaytirish ikkalasi orasidagi bog'lanish kuchini samarali ravishda yaxshilashi mumkin. Yuqori va past haroratli termal davrlarni boshdan kechirgandan so'ng, qoplamani yorilish oson emas.

4. Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi:Yuqori sifatli chip o'sishi tez va bir xil issiqlikni ta'minlash uchun grafit bazasini talab qiladi, shuning uchun qoplama materiali yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega bo'lishi kerak.

5. Yuqori erish nuqtasi, yuqori haroratli oksidlanish qarshiligi va korroziyaga chidamliligi:Qoplama yuqori harorat va korroziy ish muhitida barqaror ishlashi kerak.

Termal barqarorlik, termal bir xillik va boshqa ishlash parametrlariSiC bilan qoplangan grafitli sezgirepitaksial materialning o'sishi sifatida hal qiluvchi rol o'ynaydi, shuning uchun u MOCVD uskunasining asosiy asosiy komponentidir.

Qoplama sifatida b-SiC (3C-SiC) kristall shakli tanlangan. Boshqa kristall shakllar bilan taqqoslaganda, bu kristall shakli yaxshi termodinamik barqarorlik, oksidlanish qarshiligi va korroziyaga chidamlilik kabi bir qator ajoyib xususiyatlarga ega. Shu bilan birga, u asosan grafit bilan mos keladigan issiqlik o'tkazuvchanligiga ega, shuning uchun grafit asosiga maxsus xususiyatlar beradi. U xizmat paytida yuqori haroratli oksidlanish va korroziya va kukun yo'qotilishi natijasida yuzaga kelgan grafit asosining ishdan chiqishini samarali hal qilishi va grafit asosining sirtini zich, gözenekli bo'lmagan, yuqori haroratga chidamli, korroziyaga qarshi, oksidlanishga qarshi va boshqa xususiyatlarni yaratishi mumkin, shu bilan kristall epitaksial sifatini va xizmat muddatini yaxshilaydi. pechlar).

Yuqori harorat va korroziyaga chidamli MOCVD grafit patnisini/susseptorini qanday tanlash mumkin?

tanlashda aMOCVD uchun grafit laganda yoki susseptoryuqori haroratli korroziyaga chidamli bo'lsa, quyidagi asosiy omillarni hisobga olish kerak:

1. Materialning tozaligi:Yuqori tozalikdagi grafit materiallari yuqori haroratlarda korroziyaga va oksidlanishga yaxshiroq qarshilik ko'rsatishi va cho'kma jarayoniga aralashmalarning ta'sirini kamaytirishi mumkin.

2. Zichlik va porozlik:Yuqori zichlikli va past poroziteli grafit tovoqlar yaxshi mexanik kuch va korroziyaga chidamliligiga ega va gazning kirib borishi va materialning eroziyasini samarali oldini oladi.

3. Issiqlik o'tkazuvchanligi:Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligiga ega grafit patnis issiqlikni teng taqsimlashga, termal stressni kamaytirishga va uskunaning barqarorligi va xizmat muddatini yaxshilashga yordam beradi.

4. Yuzaki ishlov berish:Qoplama yoki qoplama kabi maxsus sirt ishlovidan o'tgan grafit palletlar korroziyaga chidamliligini va aşınma qarshiligini yanada oshirishi mumkin.

5. Hajmi va shakli:MOCVD uskunasining o'ziga xos talablariga muvofiq, tovoqning jihoz bilan mos kelishini va ishlash qulayligini ta'minlash uchun tegishli o'lcham va shaklni tanlang.

6. Ishlab chiqaruvchining obro'si:Mahsulot sifati va sotishdan keyingi xizmat ko'rsatishning ishonchliligini ta'minlash uchun yaxshi obro'ga va boy tajribaga ega bo'lgan ishlab chiqaruvchini tanlang.

7. Iqtisodiy samaradorlik:Texnik talablarga javob beradigan bo'lsak, iqtisodiy samaradorlikni hisobga oling va yuqori narx ko'rsatkichlariga ega mahsulotlarni tanlang.

VET Energy yuqori tozalikdagi grafit qabul qiluvchi yetkazib beruvchi bo‘lib, biz keng toifadagi toifalarni taklif etamiz va turli markalar, modellar va spetsifikatsiyalardagi MOCVD uskunalarida foydalanish mumkin. TheSiC bilan qoplangan grafitli sezgirVET Energy tomonidan ishlab chiqarilgan qoplamali aloqa nuqtalari va zaif aloqalar yo'q. Xizmat muddati bo'yicha ular turli xil ehtiyojlarga ega bo'lgan mijozlarning talablariga javob berishi mumkin (shu jumladan, xlor o'z ichiga olgan atmosferalardan foydalanish) va mijozlar maslahat va so'rovlar uchun xush kelibsiz.