Хэт цэвэр хийг реакторт шахаж нарийн хэмждэг металлын органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) технологиор өрлөгийн эпитаксиаль өсөлтийг бий болгодог бөгөөд ингэснээр тэдгээр нь өндөр температурт нийлж, химийн харилцан үйлчлэлийг үүсгэж, хагас дамжуулагч вафель дээр маш нимгэн атомын давхаргад хуримтлагдаж, нийлмэл хагас дамжуулагч материал үүсгэдэг.
ЗСҮТ-ийн төхөөрөмжид субстратыг шууд металл дээр эсвэл зүгээр л эпитаксиаль хуримтлуулах суурь дээр байрлуулж болохгүй, учир нь энэ нь олон хүчин зүйлээс шалтгаална. Тиймээс субстратыг барихын тулд мэдрэгч эсвэл тавиур хэрэгтэй бөгөөд дараа нь субстрат дээр эпитаксиаль хуримтлалыг гүйцэтгэхийн тулд CVD технологийг ашиглана. Энэ мэдрэгч нь аMOCVD бал чулуу мэдрэгч(мөн гэж нэрлэдэгMOCVD бал чулуун тавиур).
Түүний бүтцийг доорх зурагт үзүүлэв.
Бал чулууны мэдрэгч яагаад CVD бүрэх хэрэгтэй вэ?
Бал чулуу мэдрэгч нь MOCVD төхөөрөмжийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг юм. Энэ нь субстратын зөөвөрлөгч ба халаалтын элемент юм. Түүний дулааны тогтвортой байдал, дулааны жигд байдал зэрэг гүйцэтгэлийн параметрүүд нь эпитаксиаль материалын өсөлтийн чанарт шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд эпитаксиаль нимгэн хальсан материалын жигд байдал, цэвэр байдлыг шууд тодорхойлдог. Тиймээс түүний чанар нь эпитаксиаль хавтанг бэлтгэхэд шууд нөлөөлдөг. Үүний зэрэгцээ ашиглалтын тоо нэмэгдэж, ажлын нөхцөл өөрчлөгдөхийн хэрээр элэгдэх, урагдахад маш хялбар, хэрэглээний материал юм. Бал чулууны маш сайн дулаан дамжуулалт ба тогтвортой байдал нь MOCVD-ийн тоног төхөөрөмжийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болох давуу талыг өгдөг.
Гэсэн хэдий ч, хэрэв энэ нь зөвхөн цэвэр бал чулуу байвал зарим асуудал гарах болно. Үйлдвэрлэлийн явцад идэмхий хий болон металлын органик бодисын үлдэгдэл байх ба бал чулуу мэдрэгч нь зэвэрч унах бөгөөд энэ нь бал чулуу мэдрэгчийн ашиглалтын хугацааг ихээхэн бууруулдаг. Үүний зэрэгцээ унасан бал чулууны нунтаг нь ялтсыг бохирдуулах тул суурийг бэлтгэх явцад эдгээр асуудлыг шийдвэрлэх шаардлагатай байна. Бүрэх технологи нь гадаргуугийн нунтаг бэхэлгээг хангах, дулаан дамжуулалтыг нэмэгдүүлэх, дулааны хуваарилалтыг тэнцвэржүүлэх боломжтой бөгөөд энэ асуудлыг шийдвэрлэх гол технологи болсон.
Бал чулуун суурийн хэрэглээний орчин, ашиглалтын шаардлагын дагуу гадаргуугийн бүрээс нь дараахь шинж чанартай байх ёстой.
1. Өндөр нягтралтай, бүрэн хамрах хүрээ:Бал чулуун суурь нь өндөр температур, идэмхий ажлын орчинд байдаг. Гадаргууг бүрэн бүрхсэн байх ёстой бөгөөд бүрхүүл нь сайн хамгаалалтын үүрэг гүйцэтгэхийн тулд сайн нягтралтай байх ёстой.
2. Гадаргуугийн тэгш байдал сайтай:Нэг талст ургахад ашигладаг бал чулуун суурь нь гадаргуугийн маш өндөр тэгш байдлыг шаарддаг тул бүрээсийг бэлтгэсний дараа суурийн анхны тэгш байдлыг хадгалах ёстой, өөрөөр хэлбэл бүрэх гадаргуу нь жигд байх ёстой.
3. Сайн холбох бат бэх:Бал чулуун суурь ба бүрэх материалын хоорондох дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүүг багасгах нь хоёрын хоорондох холболтын бат бөх чанарыг үр дүнтэйгээр сайжруулж чадна. Өндөр ба бага температурын дулааны мөчлөгийг мэдэрсэний дараа бүрхүүл нь хагарахад хялбар биш юм.
4. Өндөр дулаан дамжуулалт:Өндөр чанартай чипний өсөлт нь хурдан бөгөөд жигд дулааныг хангахын тулд бал чулууны суурийг шаарддаг тул бүрэх материал нь өндөр дулаан дамжуулалттай байх ёстой.
5. Өндөр хайлах цэг, өндөр температурт исэлдэлт, зэврэлтэнд тэсвэртэй:Бүрхүүл нь өндөр температур, идэмхий ажлын орчинд тогтвортой ажиллах чадвартай байх ёстой.
Дулааны тогтвортой байдал, дулааны жигд байдал болон бусад гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүдSiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгчэпитаксиаль материалын өсөлтийн чанарт шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг тул MOCVD-ийн тоног төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм.
β-SiC (3C-SiC) болор хэлбэрийг бүрээс болгон сонгосон. Бусад болор хэлбэрүүдтэй харьцуулахад энэ болор хэлбэр нь сайн термодинамик тогтвортой байдал, исэлдэлтийн эсэргүүцэл, зэврэлтэнд тэсвэртэй зэрэг олон тооны гайхалтай шинж чанартай байдаг. Үүний зэрэгцээ энэ нь графиттай үндсэндээ тохирсон дулаан дамжуулалттай тул бал чулууны суурьт онцгой шинж чанарыг өгдөг. Үйлчилгээний явцад өндөр температурт исэлдэлт, зэврэлт, нунтаг алдагдлаас үүссэн бал чулууны суурийн эвдрэлийг үр дүнтэй шийдэж, бал чулууны суурийн гадаргууг нягт, сүвэрхэг биш, өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалах, исэлдэлтээс хамгаалах болон бусад шинж чанаруудыг бий болгож, улмаар болор эпитаксилийн чанар, ашиглалтын хугацааг сайжруулна. зуух).
Өндөр температур, зэврэлтэнд тэсвэртэй MOCVD бал чулуун тавиур/сусепторыг хэрхэн сонгох вэ?
Сонгохдоо аграфит тавиур эсвэл MOCVD-ийн мэдрэгчөндөр температурт зэврэлтэнд тэсвэртэй тул дараах гол хүчин зүйлсийг анхаарч үзэх хэрэгтэй.
1. Материалын цэвэр байдал:Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун материалууд нь өндөр температурт зэврэлт, исэлдэлтийг илүү сайн эсэргүүцэж, хуримтлуулах үйл явцад хольцын нөлөөллийг бууруулдаг.
2. Нягт ба сүвэрхэг чанар:Өндөр нягтралтай, сүвэрхэг чанар багатай графит тавиурууд нь механик бат бөх, зэврэлтэнд тэсвэртэй бөгөөд хий нэвчих, материалын элэгдэлд орохоос үр дүнтэй сэргийлдэг.
3. Дулаан дамжилтын илтгэлцүүр:Өндөр дулаан дамжилтын графит тавиур нь дулааныг жигд хуваарилах, дулааны даралтыг бууруулах, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, ашиглалтын хугацааг сайжруулахад тусалдаг.
4. Гадаргуугийн боловсруулалт:Бүрэх, бүрэх гэх мэт гадаргуугийн тусгай боловсруулалтанд орсон графит тавиурууд нь зэврэлт, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг улам сайжруулдаг.
5. Хэмжээ ба хэлбэр:MOCVD-ийн тоног төхөөрөмжийн тусгай шаардлагын дагуу тавиур нь тоног төхөөрөмжтэй нийцэж, ажиллахад тохиромжтой байхын тулд тохирох хэмжээ, хэлбэрийг сонго.
6. Үйлдвэрлэгчийн нэр хүнд:Бүтээгдэхүүний чанар, борлуулалтын дараах үйлчилгээний найдвартай байдлыг хангахын тулд сайн нэр хүндтэй, баялаг туршлагатай үйлдвэрлэгчийг сонго.
7. Зардлын үр ашиг:Техникийн шаардлагыг хангахын тулд зардлын үр ашгийг анхаарч, илүү өндөр өртөгтэй бүтээгдэхүүнийг сонгох хэрэгтэй.
VET Energy нь өндөр цэвэршилттэй бал чулуу мэдрэгч нийлүүлэгч бөгөөд бид олон төрлийн категорийг санал болгодог бөгөөд өөр өөр брэнд, загвар, техникийн үзүүлэлт бүхий MOCVD тоног төхөөрөмжид ашиглах боломжтой. TheSiC бүрсэн бал чулуу мэдрэгчVET Energy-ийн үйлдвэрлэсэн нь бүрэх холбоогүй, сул холбоосгүй. Үйлчилгээний амьдралын хувьд тэд өөр өөр хэрэгцээтэй (хлор агуулсан уур амьсгалыг ашиглах гэх мэт) хэрэглэгчдийн шаардлагыг хангаж чаддаг бөгөөд үйлчлүүлэгчид зөвлөгөө, лавлагаа авах боломжтой.
Шуудангийн цаг: 2025-03-01