MOCVD бал чулуун тавиур гэж юу вэ?

Ваферын эпитаксиал өсөлтийг металл органик химийн ууршуулах (MOCVD) технологиор дамжуулан хийдэг бөгөөд энэ технологид хэт цэвэр хийг реакторт шахаж, нарийн хэмжиж, өндөр температурт нэгдэж химийн харилцан үйлчлэл үүсгэж, маш нимгэн атомын давхаргад хагас дамжуулагч вафер дээр тунадасжиж, материал болон нийлмэл хагас дамжуулагчдын эпитакси үүсгэдэг.

Зүрх судасны тоног төхөөрөмжид суурь материалыг шууд металл дээр эсвэл зүгээр л суурь дээр байрлуулж болохгүй, учир нь энэ нь олон хүчин зүйлээс хамаарна. Тиймээс суурь материалыг барихын тулд сусцептор эсвэл тавиур шаардлагатай бөгөөд дараа нь суурь дээр эпитаксиал сусцектор хийхдээ CVD технологийг ашиглана. Энэхүү сусцептор ньMOCVD бал чулуун мэдрэгч(мөн гэж нэрлэдэгMOCVD бал чулуун тавиур).

Түүний бүтцийг доорх зурагт үзүүлэв:

Бал чулуун сусцептор яагаад зүрх судасны бүрхүүлтэй байх шаардлагатай вэ?

Бал чулуун сусцептор нь MOCVD тоног төхөөрөмжийн гол бүрэлдэхүүн хэсгүүдийн нэг юм. Энэ нь суурь материалын тээвэрлэгч ба халаалтын элемент юм. Дулааны тогтвортой байдал, дулааны жигд байдал зэрэг гүйцэтгэлийн параметрүүд нь эпитаксиаль материалын өсөлтийн чанарт шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд эпитаксиаль нимгэн хальсан материалын жигд байдал, цэвэр байдлыг шууд тодорхойлдог. Тиймээс түүний чанар нь эпитаксиаль вафли бэлтгэхэд шууд нөлөөлдөг. Үүний зэрэгцээ хэрэглээний тоо нэмэгдэж, ажлын нөхцөл өөрчлөгдөхийн хэрээр элэгдэлд маш хялбар байдаг тул хэрэглээний материал юм. Бал чулуун маш сайн дулаан дамжуулалт, тогтвортой байдал нь MOCVD тоног төхөөрөмжийн үндсэн бүрэлдэхүүн хэсэг болоход маш их давуу тал олгодог.

Гэсэн хэдий ч хэрэв энэ нь зөвхөн цэвэр бал чулуу бол зарим асуудал гарах болно. Үйлдвэрлэлийн процесст үлдэгдэл зэврэлттэй хий, металлын органик бодис үлдэх бөгөөд бал чулуун суурь нь зэврэлтэнд орж, унах бөгөөд энэ нь бал чулуун суурь нь ашиглалтын хугацааг эрс бууруулдаг. Үүний зэрэгцээ, бал чулуун суурь нь мөн вафлийг бохирдуулах тул эдгээр асуудлыг суурийг бэлтгэх явцад шийдвэрлэх шаардлагатай. Бүрэх технологи нь гадаргуугийн нунтаг бэхэлгээг хангаж, дулаан дамжуулалтыг сайжруулж, дулааны тархалтыг тэнцвэржүүлж чаддаг бөгөөд энэ асуудлыг шийдвэрлэх гол технологи болсон.

Графит суурийн хэрэглээний орчин болон хэрэглээний шаардлагын дагуу гадаргуугийн бүрхүүл нь дараах шинж чанартай байх ёстой.

1. Өндөр нягтралтай ба бүрэн бүрхүүлтэй:Бал чулуун суурь нь өндөр температурт, зэврэлт ихтэй ажлын орчинд байрладаг. Гадаргуу нь бүрэн бүрхэгдсэн байх ёстой бөгөөд бүрхүүл нь сайн нягтралтай байх ёстой бөгөөд ингэснээр хамгаалалтын үүрэг гүйцэтгэнэ.

2. Гадаргуугийн тэгш байдал сайн:Монокристалл ургалтад ашигладаг бал чулуун суурь нь маш өндөр гадаргуугийн тэгш байдлыг шаарддаг тул бүрхүүлийг бэлтгэсний дараа суурийн анхны тэгш байдлыг хадгалах ёстой, өөрөөр хэлбэл бүрхүүлийн гадаргуу жигд байх ёстой.

3. Сайн холболтын бат бөх чанар:Бал чулуун суурь болон бүрэх материалын хоорондох дулааны тэлэлтийн коэффициентийн зөрүүг багасгах нь хоёрын хоорондох холболтын бат бөх чанарыг үр дүнтэй сайжруулж чадна. Өндөр ба нам температурын дулааны мөчлөгийг туулсны дараа бүрэх нь хагарахад хялбар биш юм.

4. Өндөр дулаан дамжуулалт:Өндөр чанартай чипс ургахад бал чулуун суурь нь хурдан бөгөөд жигд дулаан өгөхийг шаарддаг тул бүрэх материал нь өндөр дулаан дамжуулалттай байх ёстой.

5. Өндөр хайлах цэг, өндөр температурын исэлдэлтэд тэсвэртэй ба зэврэлтэд тэсвэртэй:Бүрхүүл нь өндөр температур болон зэврэлт ихтэй ажлын орчинд тогтвортой ажиллах чадвартай байх ёстой.

Дулааны тогтвортой байдал, дулааны жигд байдал болон бусад гүйцэтгэлийн үзүүлэлтүүдSiC бүрсэн бал чулуун сусцепторэпитаксиаль материалын өсөлтийн чанарт шийдвэрлэх үүрэг гүйцэтгэдэг тул MOCVD тоног төхөөрөмжийн гол гол бүрэлдэхүүн хэсэг юм.

β-SiC (3C-SiC) талст хэлбэрийг бүрээс болгон сонгосон. Бусад талст хэлбэрүүдтэй харьцуулахад энэхүү талст хэлбэр нь термодинамикийн сайн тогтвортой байдал, исэлдэлтэд тэсвэртэй байдал, зэврэлтэд тэсвэртэй байдал зэрэг хэд хэдэн маш сайн шинж чанартай байдаг. Үүний зэрэгцээ, энэ нь бал чулуутай үндсэндээ нийцдэг дулаан дамжуулалттай тул бал чулуун суурийн онцгой шинж чанарыг өгдөг. Энэ нь өндөр температурын исэлдэлт, зэврэлт, ашиглалтын явцад нунтаг алдагдахаас үүдэлтэй бал чулуун суурийн эвдрэлийг үр дүнтэй шийдвэрлэж, бал чулуун суурийн гадаргууг нягт, сүвэрхэг бус, өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтээс хамгаалах, исэлдэлтээс хамгаалах болон бусад шинж чанартай болгож, улмаар талстын эпитаксиал чанар болон бал чулуун суурийн ашиглалтын хугацааг сайжруулдаг (SiC бүрсэн бал чулуун суурийн ашиглалтын хугацааг зууханд хэмждэг).

Өндөр температур болон зэврэлтэнд тэсвэртэй MOCVD бал чулуун тавиур/супепторыг хэрхэн сонгох вэ?

Сонгохдоографит тавиур эсвэл MOCVD-ийн мэдрэгчӨндөр температурын зэврэлтэнд тэсвэртэй байхын тулд дараах гол хүчин зүйлсийг анхаарч үзэх хэрэгтэй.

1. Материалын цэвэр байдал:Өндөр цэвэршилттэй бал чулуун материалууд нь өндөр температурт зэврэлт болон исэлдэлтийг илүү сайн тэсвэрлэж, хуримтлалын процесст хольцын нөлөөллийг бууруулдаг.

2. Нягт ба сүвэрхэг чанар:Өндөр нягтралтай, бага сүвэрхэг чанартай графит тавиурууд нь механик бат бөх, зэврэлтээс хамгаалах чадвартай бөгөөд хий нэвчих, материалын элэгдлийг үр дүнтэй урьдчилан сэргийлдэг.

3. Дулаан дамжуулалт:Өндөр дулаан дамжуулалттай бал чулуун тавиур нь дулааныг жигд хуваарилах, дулааны стрессийг бууруулах, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, ашиглалтын хугацааг сайжруулахад тусалдаг.

4. Гадаргуугийн боловсруулалт:Бүрхүүл эсвэл бүрэх гэх мэт тусгай гадаргуугийн боловсруулалтанд орсон графит тавиурууд нь зэврэлт болон элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг улам бүр нэмэгдүүлдэг.

5. Хэмжээ ба хэлбэр:MOCVD тоног төхөөрөмжийн тодорхой шаардлагын дагуу тавиур нь тоног төхөөрөмжтэй нийцэж, ашиглахад хялбар байдлыг хангахын тулд тохирох хэмжээ, хэлбэрийг сонгоно уу.

6. Үйлдвэрлэгчийн нэр хүнд:Бүтээгдэхүүний чанар болон борлуулалтын дараах үйлчилгээний найдвартай байдлыг хангахын тулд сайн нэр хүндтэй, баялаг туршлагатай үйлдвэрлэгчийг сонгоорой.

7. Зардлын үр ашиг:Техникийн шаардлагыг хангахын тулд өртгийн үр ашгийг харгалзан үзэж, өндөр өртөгтэй бүтээгдэхүүнийг сонгох хэрэгтэй.

VET Energy нь өндөр цэвэршилттэй бал чулуун мэдрэгч нийлүүлэгч бөгөөд бид олон төрлийн ангиллыг санал болгодог бөгөөд янз бүрийн брэнд, загвар, техникийн үзүүлэлт бүхий MOCVD тоног төхөөрөмжид ашиглаж болно.SiC бүрсэн бал чулуун сусцепторVET Energy компанийн үйлдвэрлэсэн бүтээгдэхүүнүүд нь бүрхүүлийн холбоо барих цэгүүд болон сул холбоосуудгүй. Үйлчилгээний хугацааны хувьд тэдгээр нь өөр өөр хэрэгцээтэй (хлор агуулсан агаар мандал ашиглах зэрэг) хэрэглэгчдийн шаардлагыг хангаж чаддаг бөгөөд үйлчлүүлэгчид зөвлөгөө, лавлагаа авах боломжтой.