Ìdàgbàsókè epitaxial wafer ni a ń rí nípasẹ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ irin oníná tí a fi irin ṣe (MOCVD), níbi tí a ti ń fi àwọn gáàsì tí ó mọ́ tónítóní sínú reactor tí a sì ń wọ̀n wọ́n dáadáa, kí wọ́n lè para pọ̀ ní iwọ̀n otútù gíga láti fa ìbáṣepọ̀ kẹ́míkà, a sì ń kó wọn sórí àwọn wafer semiconductor nínú àwọn fẹ́lẹ́fẹ́lẹ́ atomiki tín-tín láti ṣẹ̀dá epitaxy ti àwọn ohun èlò àti àwọn semiconductor oníṣọ̀kan.
Nínú àwọn ohun èlò CVD, a kò le fi ohun èlò náà sí orí irin tàbí kí a kàn fi sí orí ìpìlẹ̀ fún ìtújáde epitaxial, nítorí pé ọ̀pọ̀lọpọ̀ nǹkan ló máa ní ipa lórí rẹ̀. Nítorí náà, a nílò ohun èlò ìtújáde tàbí atẹ láti di ohun èlò náà mú, lẹ́yìn náà a lo ìmọ̀-ẹ̀rọ CVD láti ṣe ìtújáde epitaxial lórí ohun èlò náà. Ohun èlò ìtújáde yìí jẹ́Olùfarahan graphite MOCVD(tí a tún ń pè níAtẹ graphite MOCVD).
A fihan eto rẹ ninu aworan ni isalẹ:
Kí ló dé tí afẹ́fẹ́ graphite fi nílò àwọ̀ CVD?
Ààbò graphite jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ohun pàtàkì nínú ẹ̀rọ MOCVD. Ó jẹ́ ohun tí ń gbé àti ohun tí ń gbóná nínú ohun èlò náà. Àwọn ìlànà iṣẹ́ rẹ̀ bíi ìdúróṣinṣin ooru àti ìṣọ̀kan ooru ń kó ipa pàtàkì nínú dídára ìdàgbàsókè ohun èlò epitaxial, wọ́n sì ń pinnu ìṣọ̀kan àti mímọ́ àwọn ohun èlò fiimu tinrin epitaxial. Nítorí náà, dídára rẹ̀ ní ipa taara lórí ìpèsè àwọn wafers epitaxial. Ní àkókò kan náà, pẹ̀lú ìbísí nínú iye àwọn lílò àti àwọn ìyípadà nínú àwọn ipò iṣẹ́, ó rọrùn láti wọ̀ àti láti ya, ó jẹ́ ohun tí a lè lò. Ìgbékalẹ̀ ooru tí ó dára àti ìdúróṣinṣin graphite fún un ní àǹfààní ńlá gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìpìlẹ̀ MOCVD.
Sibẹsibẹ, ti o ba jẹ graphite mimọ nikan, awọn iṣoro diẹ yoo wa. Ninu ilana iṣelọpọ, awọn gaasi ti o ku yoo wa ati nkan adayeba irin, ati suscepter graphite yoo jẹ ibajẹ ati ṣubu, eyiti o dinku igbesi aye iṣẹ ti suscepter graphite pupọ. Ni akoko kanna, lulú graphite ti o ṣubu yoo tun fa idoti si wafer, nitorinaa awọn iṣoro wọnyi nilo lati yanju lakoko igbaradi ti ipilẹ. Imọ-ẹrọ ti a bo le pese fifi lulú dada duro, mu agbara itusilẹ ooru pọ si, ati ṣe iwọntunwọnsi pinpin ooru, o si ti di imọ-ẹrọ akọkọ lati yanju iṣoro yii.
Gẹ́gẹ́ bí àyíká ìlò àti àwọn ìbéèrè gíráfìtì, ìbòrí ojú ilẹ̀ yẹ kí ó ní àwọn ànímọ́ wọ̀nyí:
1. Iwọn giga ati ideri kikun:Ipìlẹ̀ graphite náà wà ní ibi tí ooru àti ìgbóná ara ti ń ṣiṣẹ́. A gbọ́dọ̀ bo ojú ilẹ̀ náà dáadáa, kí ìbòrí náà sì ní ìwọ̀n tó dára láti lè dáàbò bo ara rẹ̀ dáadáa.
2. Ilẹ̀ tó tẹ́jú dáadáa:Nítorí pé ìpìlẹ̀ graphite tí a lò fún ìdàgbàsókè kristali kan nílò ìpìlẹ̀ gíga gan-an, ìpìlẹ̀ náà gbọ́dọ̀ wà ní ìpìlẹ̀ náà lẹ́yìn tí a bá ti pèsè ìbòrí náà, ìyẹn ni pé, ojú ìbòrí náà gbọ́dọ̀ jẹ́ èyí tí ó dọ́gba.
3. Agbára ìsopọ̀ tó dára:Dídín ìyàtọ̀ nínú ìfàsẹ́yìn ooru láàárín ìpìlẹ̀ graphite àti ohun èlò ìbòrí lè mú kí agbára ìsopọ̀ láàrín méjèèjì sunwọ̀n síi. Lẹ́yìn tí a bá ti ní ìrírí àwọn ìyípo ooru gíga àti ìsàlẹ̀, ìbòrí náà kò rọrùn láti fọ́.
4. Ìgbékalẹ̀ ooru gíga:Ìdàgbàsókè ërún tó ga jùlọ nílò ìpìlẹ̀ graphite láti pèsè ooru kíákíá àti déédé, nítorí náà ohun èlò ìbòrí náà gbọ́dọ̀ ní agbára ìgbóná gíga.
5. Oju iwọn otutu giga, resistance ifoyina otutu giga ati resistance ipata:Aṣọ ìbòrí náà yẹ kí ó lè ṣiṣẹ́ dáadáa ní ibi tí ó ní iwọ̀n otútù gíga àti àyíká iṣẹ́ tí ó ń ba nǹkan jẹ́.
Iduroṣinṣin ooru, iṣọkan ooru ati awọn ipilẹ iṣẹ miiran tiÀàbò graphite tí a fi SiC bokó ipa pàtàkì nínú dídára ìdàgbàsókè ohun èlò epitaxial, nítorí náà ó jẹ́ kókó pàtàkì nínú ohun èlò MOCVD.
A yan ìrísí kírísítà β-SiC (3C-SiC) gẹ́gẹ́ bí ìbòrí. Ní ìfiwéra pẹ̀lú àwọn ìrísí kírísítà míràn, ìrísí kírísítà yìí ní àwọn ànímọ́ tó dára jùlọ bíi ìdúróṣinṣin ooru tó dára, ìdènà oxidation àti ìdènà ipata. Ní àkókò kan náà, ó ní ìyípadà ooru tó bá ti graphite mu, èyí tó fún ìpìlẹ̀ graphite ní àwọn ànímọ́ pàtàkì. Ó lè yanjú ìkùnà ìpìlẹ̀ graphite tó jẹ́yọ láti inú oxidation otutu gíga àti ipadanu àti ìpàdánù lulú nígbà iṣẹ́, ó sì mú kí ojú ìpìlẹ̀ graphite náà nípọn, tí kò ní ihò, tí kò ní ìgbóná, tí kò ní ìgbóná, tí kò ní ìbàjẹ́, tí kò ní ìdènà oxidation àti àwọn ànímọ́ mìíràn, nípa bẹ́ẹ̀ ó ń mú kí dídára kírísítà epitaxial àti ìgbésí ayé iṣẹ́ ìpìlẹ̀ graphite sunwọ̀n sí i (a ń wọn ìgbésí ayé iṣẹ́ ìpìlẹ̀ graphite tí a fi SiC bo nínú àwọn ilé ìtura).
Báwo ni a ṣe le yan atẹ/afaramọ MOCVD graphite tí ó le kojú iwọn otutu gíga ati ipata?
Nígbà tí a bá yanlẹẹdi atẹ tabi susceptor fun MOCVDtí ó lè dènà ìbàjẹ́ otutu gíga, ó yẹ kí a gbé àwọn kókó pàtàkì wọ̀nyí yẹ̀ wò:
1. Ìmọ́tótó ohun èlò:Àwọn ohun èlò graphite tó mọ́ tónítóní lè kojú ìbàjẹ́ àti ìfọ́mọ́ ní àwọn iwọ̀n otútù gíga, kí wọ́n sì dín ipa àwọn ohun tí kò ní jẹ́ mọ́ lórí ìlànà ìfipamọ́ kù.
2. Ìwọ̀n àti ìfọ́sí:Àwọn àwo graphite tí ó ní ìwọ̀n gíga àti ihò kékeré ní agbára ẹ̀rọ tí ó dára jù àti agbára ìdènà ìbàjẹ́, wọ́n sì lè dènà wíwọlé gáàsì àti ìfọ́ ohun èlò lọ́nà tí ó dára.
3. Ìgbékalẹ̀ ooru:Àtẹ graphite oníná gíga náà ń ran lọ́wọ́ láti pín ooru káàkiri déédé, láti dín wahala ooru kù, àti láti mú kí ìdúróṣinṣin àti iṣẹ́ àwọn ohun èlò náà sunwọ̀n síi.
4. Ìtọ́jú ojú ilẹ̀:Àwọn páàlì graphite tí a ti ṣe àtúnṣe sí ojú ilẹ̀ pàtàkì, bíi ìbòrí tàbí fífi nǹkan bò ó, lè mú kí wọ́n túbọ̀ lágbára sí i láti dènà ìbàjẹ́ àti láti dènà ìbàjẹ́.
5. Ìwọ̀n àti ìrísí:Gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun èlò MOCVD ṣe béèrè fún, yan ìwọ̀n àti ìrísí tó yẹ láti rí i dájú pé àwo náà bá ohun èlò náà mu àti pé ó rọrùn láti ṣiṣẹ́.
6. Orúkọ olùpèsè:Yan olupese kan ti o ni orukọ rere ati iriri ọlọrọ lati rii daju pe didara ọja ati iṣẹ lẹhin-tita ni igbẹkẹle.
7. Lilo owo ti o munadoko:Nítorí pé o fẹ́ kí ó bá àwọn ohun tí a fẹ́ ní ìmọ̀ ẹ̀rọ mu, ronú nípa bí owó rẹ̀ ṣe ń lọ dáadáa kí o sì yan àwọn ọjà tí owó wọn pọ̀ sí i.
VET Energy jẹ́ olùpèsè ohun èlò ìtọ́jú graphite tó mọ́ tónítóní, a ní onírúurú ẹ̀ka, a sì lè lò ó nínú àwọn ohun èlò MOCVD tó ní oríṣiríṣi orúkọ, àwòṣe àti àwọn ìlànà pàtó.Ààbò graphite tí a fi SiC boÀwọn ilé iṣẹ́ VET Energy kò ní àwọn ibi tí wọ́n lè fi ọwọ́ kan àwọn ilé iṣẹ́ náà, bẹ́ẹ̀ ni wọn kò ní àwọn ìjápọ̀ tí kò lágbára. Ní ti iṣẹ́ wọn, wọ́n lè bá àwọn oníbàárà tí wọ́n ní àìní ọ̀tọ̀ọ̀tọ̀ mu (pẹ̀lú lílo àyíká tí ó ní chlorine), àwọn oníbàárà sì lè bá wọn sọ̀rọ̀ kí wọ́n sì béèrè.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-01-2025