Idagba wafer epitaxial jẹ aṣeyọri nipasẹ imọ-ẹrọ imọ-ẹrọ Organic Organic Organic (MOCVD), ninu eyiti awọn gaasi mimọ ultra-pure ti wa ni itasi sinu riakito ati meter finely, ki wọn darapọ ni awọn iwọn otutu ti o ga lati fa awọn ibaraenisepo kemikali ati pe a fi sii sori awọn wafers semikondokito ni awọn fẹlẹfẹlẹ atomiki tinrin pupọ lati dagba awọn ohun elo apọju ati awọn ohun elo.
Ninu ohun elo CVD, sobusitireti ko le gbe taara sori irin tabi nirọrun lori ipilẹ kan fun ifisilẹ epitaxial, nitori yoo ni ipa nipasẹ ọpọlọpọ awọn ifosiwewe. Nitorinaa, a nilo ifarasi tabi atẹ lati mu sobusitireti mu, lẹhinna lo imọ-ẹrọ CVD lati ṣe ifisilẹ epitaxial lori sobusitireti naa. Alailagbara yii jẹ aMOCVD lẹẹdi susceptor(tun npe niMOCVD lẹẹdi atẹ).
Ilana rẹ jẹ afihan ni aworan ni isalẹ:
Kini idi ti alamọ lẹẹdi nilo ibora CVD?
Awọn susceptor lẹẹdi jẹ ọkan ninu awọn paati mojuto ninu ohun elo MOCVD. O jẹ ohun ti ngbe ati alapapo ti sobusitireti. Awọn ipele iṣẹ rẹ gẹgẹbi iduroṣinṣin gbona ati isokan gbona ṣe ipa ipinnu ni didara idagbasoke ohun elo epitaxial, ati taara pinnu iṣọkan ati mimọ ti awọn ohun elo fiimu tinrin epitaxial. Nitorinaa, didara rẹ taara ni ipa lori igbaradi ti awọn wafers epitaxial. Ni akoko kanna, pẹlu ilosoke ninu nọmba awọn lilo ati awọn iyipada ninu awọn ipo iṣẹ, o rọrun pupọ lati wọ ati yiya, o jẹ ohun elo. Imudara igbona ti o dara julọ ati iduroṣinṣin ti graphite fun ni anfani nla bi paati ipilẹ ti ohun elo MOCVD.
Sibẹsibẹ, ti o ba jẹ graphite mimọ nikan, awọn iṣoro yoo wa. Ninu ilana iṣelọpọ, awọn gaasi ipanilara ti o ku ati ọrọ Organic irin yoo wa, ati ifura graphite yoo bajẹ ati ṣubu, eyiti o dinku igbesi aye iṣẹ ti alamọ graphite pupọ. Ni akoko kanna, lulú graphite lulú yoo tun fa idoti si wafer, nitorinaa awọn iṣoro wọnyi nilo lati yanju ni ilana igbaradi ti ipilẹ. Imọ-ẹrọ ibora le pese imuduro lulú dada, imudara imudara igbona, ati iwọntunwọnsi pinpin ooru, ati pe o ti di imọ-ẹrọ akọkọ lati yanju iṣoro yii.
Gẹgẹbi agbegbe ohun elo ati awọn ibeere lilo ti ipilẹ graphite, ibora dada yẹ ki o ni awọn abuda wọnyi:
1. Iwọn giga ati agbegbe kikun:Ipilẹ lẹẹdi wa ni iwọn otutu giga ati agbegbe iṣẹ ibajẹ. Awọn dada gbọdọ wa ni kikun bo, ati awọn ti a bo gbọdọ ni ti o dara iwuwo lati mu kan ti o dara aabo ipa.
2. Fifẹ dada ti o dara:Niwọn igba ti ipilẹ graphite ti a lo fun idagbasoke kristali ẹyọkan nilo fifẹ dada ti o ga pupọ, fifẹ atilẹba ti ipilẹ gbọdọ wa ni itọju lẹhin ti a ti pese ibora naa, iyẹn ni, dada ti a bo gbọdọ jẹ aṣọ.
3. Agbara imora to dara:Idinku iyatọ ninu olùsọdipúpọ imugboroosi gbona laarin ipilẹ lẹẹdi ati ohun elo ti a bo le mu imunadoko agbara imora dara laarin awọn meji. Lẹhin ti o ni iriri giga ati iwọn kekere awọn iyipo igbona, ti a bo ko rọrun lati kiraki.
4. Imudara igbona giga:Idagba chirún didara ti o ga julọ nilo ipilẹ lẹẹdi lati pese iyara ati ooru aṣọ, nitorinaa ohun elo ti a bo yẹ ki o ni adaṣe igbona giga.
5. Ipele yo to gaju, resistance ifoyina otutu ti o ga ati idena ipata:Iboju yẹ ki o ni anfani lati ṣiṣẹ ni iduroṣinṣin ni iwọn otutu giga ati agbegbe iṣẹ ibajẹ.
Awọn gbona iduroṣinṣin, gbona uniformity ati awọn miiran iṣẹ sile ti awọnSiC ti a bo lẹẹdi susceptorṣe ipa ipinnu ni didara idagbasoke ohun elo epitaxial, nitorinaa o jẹ paati bọtini pataki ti ohun elo MOCVD.
β-SiC (3C-SiC) fọọmu gara ti yan bi ibora. Ti a ṣe afiwe pẹlu awọn fọọmu gara miiran, fọọmu garamu yii ni lẹsẹsẹ awọn ohun-ini ti o dara julọ gẹgẹbi iduroṣinṣin thermodynamic ti o dara, resistance ifoyina ati idena ipata. Ni akoko kanna, o ni imunadoko gbona ti o ni ibamu pẹlu ti graphite, nitorinaa fifun ipilẹ awọn ohun-ini pataki graphite. O le yanju ni imunadoko ikuna ti ipilẹ lẹẹdi ti o ṣẹlẹ nipasẹ ifoyina iwọn otutu giga ati ipata ati pipadanu lulú lakoko iṣẹ, ati jẹ ki dada ti ipilẹ graphite jẹ ipon, ti kii-la kọja, sooro iwọn otutu, egboogi-ibajẹ, egboogi-ifoyina ati awọn abuda miiran, nitorinaa imudarasi didara epitaxial gara ati igbesi aye iṣẹ ti ipilẹ iwọn lẹẹdi ti ipilẹ-iṣẹ ti ipilẹ-giga ti ipilẹ-iṣẹ ni ipilẹ-ipin ti ipilẹ-iṣẹ ni ipilẹ-ipin ti ipilẹ-iṣẹ. ileru).
Bawo ni lati yan MOCVD lẹẹdi atẹ / alailagbara ti o jẹ sooro si iwọn otutu giga ati ipata?
Nigbati o ba yan alẹẹdi atẹ tabi susceptor fun MOCVDti o jẹ sooro si ipata otutu otutu, awọn ifosiwewe bọtini wọnyi yẹ ki o gbero:
1. Ohun elo mimọ:Awọn ohun elo graphite mimọ-giga le dara julọ koju ibajẹ ati ifoyina ni awọn iwọn otutu giga ati dinku ipa ti awọn aimọ lori ilana fifisilẹ.
2. iwuwo ati porosity:Lẹẹdi Trays pẹlu ga iwuwo ati kekere porosity ni dara darí agbara ati ipata resistance, ati ki o le fe ni se gaasi ilaluja ati awọn ohun elo ogbara.
3. Imudara igbona:Atẹ lẹẹdi igbona giga ti o ga julọ ṣe iranlọwọ lati pin kaakiri ooru, dinku aapọn igbona, ati ilọsiwaju iduroṣinṣin ati igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ naa.
4. Itọju oju:Awọn palleti ayaworan ti o ti ṣe itọju dada pataki, gẹgẹ bi ibora tabi didasilẹ, le mu ilọsiwaju ipata wọn pọ si ati wọ resistance.
5. Iwọn ati apẹrẹ:Gẹgẹbi awọn ibeere pataki ti ohun elo MOCVD, yan iwọn ati apẹrẹ ti o yẹ lati rii daju ibamu ti atẹ pẹlu ohun elo ati irọrun ti iṣẹ.
6. Okiki olupese:Yan olupese kan ti o ni orukọ rere ati iriri ọlọrọ lati rii daju igbẹkẹle ti didara ọja ati iṣẹ lẹhin-tita.
7. Iye owo:Lori ipilẹ ti ipade awọn ibeere imọ-ẹrọ, ṣe akiyesi imunadoko iye owo ati yan awọn ọja pẹlu iṣẹ ṣiṣe idiyele giga.
Agbara VET jẹ olutaja olutaja lẹẹdi mimọ-giga, a nfunni ni ọpọlọpọ awọn ẹka, ati pe o le ṣee lo ni ohun elo MOCVD ti awọn burandi oriṣiriṣi, awọn awoṣe ati awọn pato. AwọnSiC ti a bo lẹẹdi susceptorTi iṣelọpọ nipasẹ VET Energy ko ni awọn aaye olubasọrọ ti a bo ati pe ko si awọn ọna asopọ alailagbara. Ni awọn ofin ti igbesi aye iṣẹ, wọn le pade awọn ibeere ti awọn alabara pẹlu awọn iwulo oriṣiriṣi (pẹlu lilo awọn agbegbe ti o ni chlorine), ati pe awọn alabara ṣe itẹwọgba lati kan si alagbawo ati ibeere.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-01-2025