Wafer-epitaksiale groei wurdt berikt troch de metaal-organyske gemyske dampdeposysje (MOCVD) technology, wêrby't ultra-suvere gassen yn 'e reaktor ynjektearre en fyn dosearre wurde, sadat se by ferhege temperatueren kombinearje om gemyske ynteraksjes te feroarsaakjen en yn heul tinne atoomlagen op healgeleiderwafers ôfset wurde om epitaksy fan materialen en gearstalde healgeleiders te foarmjen.
Yn CVD-apparatuer kin it substraat net direkt op metaal of gewoan op in basis pleatst wurde foar epitaksiale ôfsetting, om't it troch in protte faktoaren beynfloede wurdt. Dêrom is in susceptor of tray nedich om it substraat te hâlden, en dan CVD-technology te brûken om epitaksiale ôfsetting op it substraat út te fieren. Dizze susceptor is inMOCVD grafyt susceptor(ek wol neamdMOCVD grafytbakje).
Syn struktuer wurdt werjûn yn 'e ôfbylding hjirûnder:
Wêrom hat de grafytsusceptor in CVD-coating nedich?
De grafytsusceptor is ien fan 'e kearnkomponinten yn MOCVD-apparatuer. It is de drager en it ferwaarmingselemint fan it substraat. Syn prestaasjeparameters lykas termyske stabiliteit en termyske uniformiteit spylje in beslissende rol yn 'e kwaliteit fan' e groei fan epitaksiale materiaal, en bepale direkt de uniformiteit en suverens fan epitaksiale tinne filmmaterialen. Dêrom beynfloedet syn kwaliteit direkt de tarieding fan epitaksiale wafers. Tagelyk, mei de tanimming fan it oantal gebrûk en de feroaringen yn 'e wurkomstannichheden, is it heul maklik te fersliten, it is in ferbrûksartikel. De poerbêste termyske geliedingsfermogen en stabiliteit fan grafyt jouwe it in grut foardiel as basiskomponint fan MOCVD-apparatuer.
As it lykwols allinich suver grafyt is, sille der wat problemen wêze. Yn it produksjeproses sille der korrosive gassen en metaal-organyske matearje oerbliuwe, en de grafytsusceptor sil korrodearje en ôffalle, wat de libbensdoer fan 'e grafytsusceptor sterk ferminderet. Tagelyk sil it fallende grafytpoeier ek fersmoarging feroarsaakje oan 'e wafer, dus dizze problemen moatte wurde oplost yn it tariedingsproses fan 'e basis. Coatingtechnology kin oerflakpoeierfixaasje leverje, termyske gelieding ferbetterje en waarmteferdieling lykwichtich meitsje, en is de wichtichste technology wurden om dit probleem op te lossen.
Neffens de tapassingsomjouwing en gebrûkseasken fan 'e grafytbasis moat de oerflakcoating de folgjende skaaimerken hawwe:
1. Hege tichtens en folsleine dekking:De grafytbasis is yn in hege temperatuer en korrosive wurkomjouwing. It oerflak moat folslein bedekt wêze, en de coating moat in goede tichtheid hawwe om in goede beskermjende rol te spyljen.
2. Goede oerflakflakheid:Omdat de grafytbasis dy't brûkt wurdt foar ienkristalgroei in tige hege oerflakflakheid fereasket, moat de oarspronklike flakheid fan 'e basis behâlden wurde nei't de coating taret is, dat wol sizze, it coatingoerflak moat unifoarm wêze.
3. Goede bondingsterkte:It ferminderjen fan it ferskil yn termyske útwreidingskoëffisjint tusken de grafytbasis en it coatingmateriaal kin de bondingsterkte tusken de twa effektyf ferbetterje. Nei it ûnderfinen fan termyske syklusen by hege en lege temperatueren is de coating net maklik te barsten.
4. Hege termyske geliedingsfermogen:Heechweardige chipgroei fereasket dat de grafytbasis rappe en unifoarme waarmte leveret, dus it coatingmateriaal moat in hege termyske geliedingsfermogen hawwe.
5. Heech smeltpunt, hege temperatuer oksidaasjebestriding en korrosjebestriding:De coating moat stabyl wurkje kinne yn in hege temperatuer en korrosive wurkomjouwing.
De termyske stabiliteit, termyske uniformiteit en oare prestaasjeparameters fan 'eSiC-coated grafytsusceptorspylje in beslissende rol yn 'e kwaliteit fan epitaksiale materiaalgroei, dus it is de kearnkomponint fan MOCVD-apparatuer.
β-SiC (3C-SiC) kristalfoarm is keazen as de coating. Yn ferliking mei oare kristalfoarmen hat dizze kristalfoarm in searje poerbêste eigenskippen lykas goede termodynamyske stabiliteit, oksidaasjebestriding en korrosjebestriding. Tagelyk hat it in termyske geliedingsfermogen dy't yn prinsipe oerienkomt mei dy fan grafyt, wêrtroch't de grafytbasis spesjale eigenskippen krijt. It kin it falen fan 'e grafytbasis feroarsake troch hege-temperatuer oksidaasje en korrosje en poeierferlies tidens tsjinst effektyf oplosse, en it oerflak fan 'e grafytbasis ticht, net-poreus, hege-temperatuerbestindich, anty-korrosje, anty-oksidaasje en oare skaaimerken meitsje, wêrtroch't de epitaksiale kwaliteit fan it kristal en de libbensdoer fan 'e grafytbasis ferbettere wurde (de libbensdoer fan 'e SiC-coated grafytbasis wurdt metten yn ovens).
Hoe kinne jo in MOCVD-grafytbak/susceptor kieze dy't bestand is tsjin hege temperatuer en korrosje?
By it kiezen fan ingrafyt tray of susceptor foar MOCVDdat resistint is tsjin korrosje by hege temperatuer, moatte de folgjende wichtige faktoaren beskôge wurde:
1. Materiaal suverens:Heechsuvere grafytmaterialen kinne better wjerstean tsjin korrosje en oksidaasje by hege temperatueren en de ynfloed fan ûnreinheden op it ôfsettingsproses ferminderje.
2. Dichtheid en porositeit:Grafytbakken mei hege tichtheid en lege porositeit hawwe bettere meganyske sterkte en korrosjebestriding, en kinne effektyf gaspenetraasje en materiaaleroazje foarkomme.
3. Termyske geliedingsfermogen:De grafytbak mei hege termyske geliedingsfermogen helpt om waarmte evenredich te fersprieden, termyske stress te ferminderjen en de stabiliteit en libbensdoer fan 'e apparatuer te ferbetterjen.
4. Oerflakbehanneling:Grafytpallets dy't in spesjale oerflakbehanneling hawwe ûndergien, lykas coating of plating, kinne har korrosjebestriding en wearbestindigens fierder ferbetterje.
5. Grutte en foarm:Neffens de spesifike easken fan 'e MOCVD-apparatuer, selektearje de passende grutte en foarm om de kompatibiliteit fan 'e lade mei de apparatuer en it gemak fan operaasje te garandearjen.
6. Reputaasje fan 'e fabrikant:Kies in fabrikant mei in goede reputaasje en rike ûnderfining om de betrouberens fan produktkwaliteit en tsjinst nei ferkeap te garandearjen.
7. Kosten-effektiviteit:Op it útgongspunt fan it foldwaan oan technyske easken, beskôgje kosten-effektiviteit en kies produkten mei hegere kostenprestaasjes.
VET Energy is in leveransier fan grafytsusceptors mei hege suverens, wy biede in breed oanbod fan kategoryen, en kinne brûkt wurde yn MOCVD-apparatuer fan ferskate merken, modellen en spesifikaasjes.SiC-coated grafytsusceptorprodusearre troch VET Energy hawwe gjin kontaktpunten mei de coating en gjin swakke ferbinings. Wat de libbensdoer oanbelanget, kinne se foldwaan oan 'e easken fan klanten mei ferskate behoeften (ynklusyf it gebrûk fan chloorhâldende atmosfearen), en klanten binne wolkom om te rieplachtsjen en fragen te stellen.
Pleatsingstiid: 1 maart 2025