Baintear fás eipitacsach vaiféir amach tríd an teicneolaíocht taiscthe gaile ceimiceach orgánach miotail (MOCVD), ina ndéantar gáis ultra-íona a instealladh isteach san imoibreoir agus a thomhas go mín, ionas go gcomhcheanglaíonn siad ag teochtaí arda chun idirghníomhaíochtaí ceimiceacha a chur faoi deara agus go ndéantar iad a thaisceadh ar vaiféir leathsheoltóra i sraitheanna adamhacha an-tanaí chun eipitacsach ábhar agus leathsheoltóirí cumaisc a fhoirmiú.
I dtrealamh CVD, ní féidir an tsubstráit a chur go díreach ar mhiotal ná ar bhonn le haghaidh taisceadh eipitacsach, mar go mbeidh tionchar ag go leor fachtóirí air. Dá bhrí sin, tá gá le gabhdóir nó tráidire chun an tsubstráit a shealbhú, agus ansin teicneolaíocht CVD a úsáid chun taisceadh eipitacsach a dhéanamh ar an tsubstráit. Is é an gabhdóir seo...Gabhdóir graifíte MOCVD(ar a dtugtar freisinTráidire graifíte MOCVD).
Taispeántar a struchtúr sa fhigiúr thíos:
Cén fáth a bhfuil sciath CVD ag teastáil ón nglacadóir graifíte?
Tá an gabhdóir graifíte ar cheann de na comhpháirteanna lárnacha i dtrealamh MOCVD. Is é iompróir agus eilimint téimh an tsubstráit é. Tá ról cinntitheach ag a pharaiméadair feidhmíochta amhail cobhsaíocht theirmeach agus aonfhoirmeacht theirmeach i gcáilíocht fhás ábhair eipitacsaigh, agus cinneann siad go díreach aonfhoirmeacht agus íonacht ábhar scannán tanaí eipitacsaigh. Dá bhrí sin, bíonn tionchar díreach ag a cháilíocht ar ullmhú na sliseog eipitacsaigh. Ag an am céanna, leis an méadú ar líon na n-úsáidí agus na hathruithe ar dhálaí oibre, tá sé an-éasca é a chaitheamh agus a stróiceadh, is earra inchaite é. Tugann an seoltacht theirmeach agus an chobhsaíocht den scoth atá ag graifít buntáiste mór dó mar chomhpháirt bhunúsach de threalamh MOCVD.
Mar sin féin, mura bhfuil ann ach graifít íon, beidh roinnt fadhbanna ann. Sa phróiseas táirgthe, beidh gáis chreimneacha agus ábhar orgánach miotail iarmharach ann, agus creimfidh an gabhdóir graifíte agus titfidh sé de, rud a laghdóidh saol seirbhíse an ghabhdóra graifíte go mór. Ag an am céanna, cuirfidh an púdar graifíte atá ag titim truailliú ar an vaiféar freisin, mar sin ní mór na fadhbanna seo a réiteach i bpróiseas ullmhúcháin an bhoinn. Is féidir le teicneolaíocht sciath socrú dromchla an phúdair a sholáthar, seoltacht theirmeach a fheabhsú, agus dáileadh teasa a chothromú, agus tá sí anois ar an bpríomhtheicneolaíocht chun an fhadhb seo a réiteach.
De réir thimpeallacht an iarratais agus riachtanais úsáide an bhoinn graifíte, ba cheart go mbeadh na tréithe seo a leanas ag an sciath dromchla:
1. Dlús ard agus clúdach iomlán:Bíonn an bonn graifíte i dtimpeallacht oibre ardteochta agus creimneach. Ní mór an dromchla a chlúdach go hiomlán, agus ní mór dlús maith a bheith ag an sciath chun ról cosanta maith a imirt.
2. Dea-chothromaíocht dhromchla:Ós rud é go n-éilíonn an bonn graifíte a úsáidtear le haghaidh fás criostail aonair cothromaíocht dhromchla an-ard, ní mór cothromaíocht bhunaidh an bhoinn a choinneáil tar éis an sciath a ullmhú, is é sin, ní mór dromchla an sciath a bheith aonfhoirmeach.
3. Neart nasctha maith:Is féidir le laghdú a dhéanamh ar an difríocht i gcomhéifeacht leathnú teirmeach idir an bonn graifíte agus an t-ábhar sciath an neart nasctha eatarthu a fheabhsú go héifeachtach. Tar éis timthriallta teirmeacha ardteochta agus ísealteochta, ní bhíonn sé éasca an sciath a scoilteadh.
4. Seoltacht theirmeach ard:Éilíonn fás sceallóga ardchaighdeáin go soláthraíonn an bonn graifíte teas tapa agus aonfhoirmeach, mar sin ba cheart go mbeadh seoltacht theirmeach ard ag an ábhar sciath.
5. Pointe leá ard, friotaíocht ocsaídiúcháin ardteochta agus friotaíocht creimeadh:Ba chóir go mbeadh an sciath in ann oibriú go cobhsaí i dtimpeallacht oibre ardteochta agus creimneach.
Cobhsaíocht theirmeach, aonfhoirmeacht theirmeach agus paraiméadair feidhmíochta eile anGabhdóir graifíte brataithe SiCtá ról cinntitheach aige i gcáilíocht fhás ábhair eipitacsaigh, mar sin is í an phríomhghné de threalamh MOCVD í.
Roghnaítear foirm chriostail β-SiC (3C-SiC) mar sciath. I gcomparáid le foirmeacha criostail eile, tá sraith airíonna den scoth ag an bhfoirm chriostail seo amhail dea-chobhsaíocht theirmidinimiciúil, friotaíocht ocsaídiúcháin agus friotaíocht creimeadh. Ag an am céanna, tá seoltacht theirmeach aici atá comhsheasmhach go bunúsach le seoltacht theirmeach graifíte, rud a thugann airíonna speisialta don bhonn graifíte. Is féidir leis teip an bhoinn graifíte de bharr ocsaídiúcháin ardteochta agus creimeadh agus caillteanas púdair le linn seirbhíse a réiteach go héifeachtach, agus dromchla an bhoinn graifíte a dhéanamh dlúth, neamh-scagach, frithsheasmhach in aghaidh ardteochta, frith-chreimeadh, frith-ocsaídiú agus tréithe eile, rud a fheabhsaíonn cáilíocht eipitacsach an chriostail agus saolré seirbhíse an bhoinn graifíte (tomhaistear saolré seirbhíse an bhoinn graifíte atá brataithe le SiC i bhfoirnéisí).
Conas tráidire/gabhdóir graifíte MOCVD a roghnú atá frithsheasmhach in aghaidh teocht ard agus creimeadh?
Agus tú ag roghnútráidire graifíte nó susceptor do MOCVDatá frithsheasmhach in aghaidh creimeadh ardteochta, ba cheart na príomhfhachtóirí seo a leanas a chur san áireamh:
1. Íonacht ábhair:Is féidir le hábhair ghraifíte ard-íonachta creimeadh agus ocsaídiú a sheasamh níos fearr ag teochtaí arda agus tionchar eisíontais ar an bpróiseas taiscthe a laghdú.
2. Dlús agus tréscaoilteacht:Tá neart meicniúil agus friotaíocht creimeadh níos fearr ag tráidirí graifíte a bhfuil dlús ard agus porosity íseal acu, agus is féidir leo cosc a chur go héifeachtach ar threá gáis agus ar chreimeadh ábhair.
3. Seoltacht theirmeach:Cuidíonn an tráidire graifíte seoltachta teirmeach ard le teas a dháileadh go cothrom, strus teirmeach a laghdú, agus cobhsaíocht agus saolré seirbhíse an trealaimh a fheabhsú.
4. Cóireáil dromchla:Is féidir le pailléid graifíte a ndearnadh cóireáil speisialta dromchla orthu, amhail sciath nó plátáil, a bhfriotaíocht creimeadh agus a bhfriotaíocht caitheamh a fheabhsú tuilleadh.
5. Méid agus cruth:De réir riachtanais shonracha an trealaimh MOCVD, roghnaigh an méid agus an cruth cuí chun comhoiriúnacht an tráidire leis an trealamh agus áisiúlacht na hoibríochta a chinntiú.
6. Clú an mhonaróra:Roghnaigh monaróir a bhfuil dea-cháil agus taithí shaibhir aige chun iontaofacht cháilíocht an táirge agus na seirbhíse iar-díolacháin a chinntiú.
7. Éifeachtúlacht costais:Ar an mbonn go gcomhlíontar ceanglais theicniúla, smaoinigh ar chostéifeachtúlacht agus roghnaigh táirgí a bhfuil feidhmíocht costais níos airde acu.
Is soláthraí gabhdóirí graifíte ard-íonachta é VET Energy, cuirimid réimse leathan catagóirí ar fáil, agus is féidir iad a úsáid i dtrealamh MOCVD de bhrandaí, samhlacha agus sonraíochtaí éagsúla.Gabhdóir graifíte brataithe SiCNíl aon phointí teagmhála sciath ná aon naisc laga ag na táirgí a tháirgeann VET Energy. Maidir le saolré na dtáirgí, is féidir leo freastal ar riachtanais chustaiméirí a bhfuil riachtanais éagsúla acu (lena n-áirítear úsáid atmaisféir ina bhfuil clóirín), agus tá fáilte roimh chustaiméirí dul i gcomhairle agus fiosrúcháin a dhéanamh.
Am an phoist: 1 Márta 2025