ഒരു MOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേ എന്താണ്?

ലോഹ ജൈവ രാസ നീരാവി നിക്ഷേപം (MOCVD) സാങ്കേതികവിദ്യയിലൂടെയാണ് വേഫർ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വളർച്ച കൈവരിക്കുന്നത്. ഇതിൽ അൾട്രാ-പ്യുവർ വാതകങ്ങൾ റിയാക്ടറിലേക്ക് കുത്തിവയ്ക്കുകയും സൂക്ഷ്മമായി അളക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. അങ്ങനെ അവ ഉയർന്ന താപനിലയിൽ സംയോജിച്ച് രാസപ്രവർത്തനങ്ങൾക്ക് കാരണമാകുന്നു. വളരെ നേർത്ത ആറ്റോമിക് പാളികളിലെ അർദ്ധചാലക വേഫറുകളിൽ നിക്ഷേപിച്ച് വസ്തുക്കളുടെയും സംയുക്ത അർദ്ധചാലകങ്ങളുടെയും എപ്പിറ്റാക്സി രൂപപ്പെടുന്നു.

സിവിഡി ഉപകരണങ്ങളിൽ, എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിപ്പോസിഷനായി സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് നേരിട്ട് ലോഹത്തിലോ ലളിതമായി ഒരു ബേസിലോ സ്ഥാപിക്കാൻ കഴിയില്ല, കാരണം ഇത് പല ഘടകങ്ങളാലും ബാധിക്കപ്പെടും. അതിനാൽ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് പിടിക്കാൻ ഒരു സസെപ്റ്ററോ ട്രേയോ ആവശ്യമാണ്, തുടർന്ന് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ ഡിപ്പോസിഷൻ നടത്താൻ സിവിഡി സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗിക്കുക. ഈ സസെപ്റ്റർ ഒരുMOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർ(എന്നും വിളിക്കുന്നുMOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേ).

അതിന്റെ ഘടന ചുവടെയുള്ള ചിത്രത്തിൽ കാണിച്ചിരിക്കുന്നു:

ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററിന് സിവിഡി കോട്ടിംഗ് ആവശ്യമായി വരുന്നത് എന്തുകൊണ്ട്?

MOCVD ഉപകരണങ്ങളിലെ പ്രധാന ഘടകങ്ങളിലൊന്നാണ് ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർ. ഇത് അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ കാരിയറും ചൂടാക്കൽ ഘടകവുമാണ്. താപ സ്ഥിരത, താപ ഏകീകൃതത തുടങ്ങിയ അതിന്റെ പ്രകടന പാരാമീറ്ററുകൾ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ മെറ്റീരിയൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരത്തിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, കൂടാതെ എപ്പിറ്റാക്സിയൽ നേർത്ത ഫിലിം മെറ്റീരിയലുകളുടെ ഏകീകൃതതയും പരിശുദ്ധിയും നേരിട്ട് നിർണ്ണയിക്കുന്നു. അതിനാൽ, അതിന്റെ ഗുണനിലവാരം എപ്പിറ്റാക്സിയൽ വേഫറുകളുടെ തയ്യാറെടുപ്പിനെ നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു. അതേസമയം, ഉപയോഗങ്ങളുടെ എണ്ണത്തിലെ വർദ്ധനവും ജോലി സാഹചര്യങ്ങളിലെ മാറ്റങ്ങളും അനുസരിച്ച്, ഇത് ധരിക്കാനും കീറാനും വളരെ എളുപ്പമാണ്, ഇത് ഒരു ഉപഭോഗവസ്തുവാണ്. ഗ്രാഫൈറ്റിന്റെ മികച്ച താപ ചാലകതയും സ്ഥിരതയും MOCVD ഉപകരണങ്ങളുടെ അടിസ്ഥാന ഘടകമെന്ന നിലയിൽ ഇതിന് വലിയ നേട്ടം നൽകുന്നു.

എന്നിരുന്നാലും, അത് ശുദ്ധമായ ഗ്രാഫൈറ്റ് മാത്രമാണെങ്കിൽ, ചില പ്രശ്നങ്ങൾ ഉണ്ടാകും. ഉൽ‌പാദന പ്രക്രിയയിൽ, അവശിഷ്ടമായ ദ്രവീകരണ വാതകങ്ങളും ലോഹ ജൈവവസ്തുക്കളും ഉണ്ടാകും, കൂടാതെ ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർ തുരുമ്പെടുത്ത് വീഴും, ഇത് ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്ററിന്റെ സേവനജീവിതത്തെ വളരെയധികം കുറയ്ക്കുന്നു. അതേസമയം, വീഴുന്ന ഗ്രാഫൈറ്റ് പൊടി വേഫറിന് മലിനീകരണം ഉണ്ടാക്കും, അതിനാൽ അടിത്തറയുടെ തയ്യാറെടുപ്പ് പ്രക്രിയയിൽ ഈ പ്രശ്നങ്ങൾ പരിഹരിക്കേണ്ടതുണ്ട്. കോട്ടിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് ഉപരിതല പൊടി ഫിക്സേഷൻ നൽകാനും താപ ചാലകത വർദ്ധിപ്പിക്കാനും താപ വിതരണം സന്തുലിതമാക്കാനും കഴിയും, കൂടാതെ ഈ പ്രശ്നം പരിഹരിക്കുന്നതിനുള്ള പ്രധാന സാങ്കേതികവിദ്യയായി ഇത് മാറിയിരിക്കുന്നു.

ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസിന്റെ പ്രയോഗ പരിതസ്ഥിതിയും ഉപയോഗ ആവശ്യകതകളും അനുസരിച്ച്, ഉപരിതല കോട്ടിംഗിന് ഇനിപ്പറയുന്ന സവിശേഷതകൾ ഉണ്ടായിരിക്കണം:

1. ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും പൂർണ്ണ കവറേജും:ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസ് ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിലുമാണ് സ്ഥിതി ചെയ്യുന്നത്. ഉപരിതലം പൂർണ്ണമായും മൂടിയിരിക്കണം, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിന് നല്ല സംരക്ഷണ പങ്ക് വഹിക്കാൻ നല്ല സാന്ദ്രത ഉണ്ടായിരിക്കണം.

2. നല്ല ഉപരിതല പരന്നത:ഒറ്റ ക്രിസ്റ്റൽ വളർച്ചയ്ക്ക് ഉപയോഗിക്കുന്ന ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസിന് വളരെ ഉയർന്ന ഉപരിതല പരപ്പ് ആവശ്യമുള്ളതിനാൽ, കോട്ടിംഗ് തയ്യാറാക്കിയതിനുശേഷം അടിത്തറയുടെ യഥാർത്ഥ പരപ്പ് നിലനിർത്തണം, അതായത്, കോട്ടിംഗ് ഉപരിതലം ഏകതാനമായിരിക്കണം.

3. നല്ല ബോണ്ടിംഗ് ശക്തി:ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസും കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലും തമ്മിലുള്ള താപ വികാസ ഗുണകത്തിലെ വ്യത്യാസം കുറയ്ക്കുന്നത് രണ്ടും തമ്മിലുള്ള ബോണ്ടിംഗ് ശക്തി ഫലപ്രദമായി മെച്ചപ്പെടുത്തും. ഉയർന്നതും താഴ്ന്നതുമായ താപനില താപ ചക്രങ്ങൾ അനുഭവിച്ചതിന് ശേഷം, കോട്ടിംഗ് പൊട്ടുന്നത് എളുപ്പമല്ല.

4. ഉയർന്ന താപ ചാലകത:ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ചിപ്പ് വളർച്ചയ്ക്ക് ഗ്രാഫൈറ്റ് ബേസ് വേഗത്തിലും ഏകീകൃതമായും താപം നൽകേണ്ടതുണ്ട്, അതിനാൽ കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലിന് ഉയർന്ന താപ ചാലകത ഉണ്ടായിരിക്കണം.

5. ഉയർന്ന ദ്രവണാങ്കം, ഉയർന്ന താപനില ഓക്സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം:ഉയർന്ന താപനിലയിലും നശിപ്പിക്കുന്ന പ്രവർത്തന അന്തരീക്ഷത്തിലും കോട്ടിംഗിന് സ്ഥിരതയോടെ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയണം.

താപ സ്ഥിരത, താപ ഏകീകൃതത, മറ്റ് പ്രകടന പാരാമീറ്ററുകൾ എന്നിവSiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർഎപ്പിറ്റാക്സിയൽ മെറ്റീരിയൽ വളർച്ചയുടെ ഗുണനിലവാരത്തിൽ നിർണായക പങ്ക് വഹിക്കുന്നു, അതിനാൽ ഇത് MOCVD ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രധാന ഘടകമാണ്.

β-SiC (3C-SiC) ക്രിസ്റ്റൽ രൂപമാണ് കോട്ടിംഗായി തിരഞ്ഞെടുത്തിരിക്കുന്നത്. മറ്റ് ക്രിസ്റ്റൽ രൂപങ്ങളുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഈ ക്രിസ്റ്റൽ രൂപത്തിന് നല്ല തെർമോഡൈനാമിക് സ്ഥിരത, ഓക്‌സിഡേഷൻ പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം തുടങ്ങിയ മികച്ച ഗുണങ്ങളുണ്ട്. അതേസമയം, ഗ്രാഫൈറ്റുമായി അടിസ്ഥാനപരമായി പൊരുത്തപ്പെടുന്ന താപ ചാലകത ഇതിനുണ്ട്, അങ്ങനെ ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയ്ക്ക് പ്രത്യേക ഗുണങ്ങൾ നൽകുന്നു. ഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള ഓക്‌സിഡേഷനും നാശവും പൊടി നഷ്ടവും മൂലമുണ്ടാകുന്ന ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ പരാജയം ഫലപ്രദമായി പരിഹരിക്കാനും ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ ഉപരിതലത്തെ സാന്ദ്രവും, സുഷിരങ്ങളില്ലാത്തതും, ഉയർന്ന താപനിലയെ പ്രതിരോധിക്കുന്നതും, നാശന വിരുദ്ധവും, ഓക്‌സിഡേഷൻ വിരുദ്ധവും മറ്റ് സവിശേഷതകളുമാക്കി മാറ്റാനും അതുവഴി ക്രിസ്റ്റൽ എപ്പിറ്റാക്‌സിയൽ ഗുണനിലവാരവും ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ സേവന ജീവിതവും മെച്ചപ്പെടുത്താനും ഇതിന് കഴിയും (SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് അടിത്തറയുടെ സേവന ജീവിതം ചൂളകളിലാണ് അളക്കുന്നത്).

ഉയർന്ന താപനിലയെയും നാശത്തെയും പ്രതിരോധിക്കുന്ന MOCVD ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേ/സസെപ്റ്റർ എങ്ങനെ തിരഞ്ഞെടുക്കാം?

തിരഞ്ഞെടുക്കുമ്പോൾ ഒരുMOCVD-യ്ക്കുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേ അല്ലെങ്കിൽ സസെപ്റ്റർഉയർന്ന താപനിലയിലുള്ള നാശത്തെ പ്രതിരോധിക്കുന്ന ഒന്ന്, ഇനിപ്പറയുന്ന പ്രധാന ഘടകങ്ങൾ പരിഗണിക്കണം:

1. മെറ്റീരിയൽ ശുദ്ധി:ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് വസ്തുക്കൾക്ക് ഉയർന്ന താപനിലയിൽ നാശത്തെയും ഓക്സീകരണത്തെയും നന്നായി പ്രതിരോധിക്കാനും നിക്ഷേപ പ്രക്രിയയിൽ മാലിന്യങ്ങളുടെ ആഘാതം കുറയ്ക്കാനും കഴിയും.

2. സാന്ദ്രതയും സുഷിരവും:ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയും കുറഞ്ഞ സുഷിരവുമുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേകൾക്ക് മികച്ച മെക്കാനിക്കൽ ശക്തിയും നാശന പ്രതിരോധവുമുണ്ട്, കൂടാതെ വാതക തുളച്ചുകയറലും വസ്തുക്കളുടെ മണ്ണൊലിപ്പും ഫലപ്രദമായി തടയാൻ കഴിയും.

3. താപ ചാലകത:ഉയർന്ന താപ ചാലകതയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് ട്രേ താപം തുല്യമായി വിതരണം ചെയ്യുന്നതിനും താപ സമ്മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്നതിനും ഉപകരണങ്ങളുടെ സ്ഥിരതയും സേവന ജീവിതവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും സഹായിക്കുന്നു.

4. ഉപരിതല ചികിത്സ:കോട്ടിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ പ്ലേറ്റിംഗ് പോലുള്ള പ്രത്യേക ഉപരിതല ചികിത്സയ്ക്ക് വിധേയമായ ഗ്രാഫൈറ്റ് പാലറ്റുകൾക്ക് അവയുടെ നാശന പ്രതിരോധവും വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും കൂടുതൽ വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയും.

5. വലിപ്പവും ആകൃതിയും:MOCVD ഉപകരണങ്ങളുടെ പ്രത്യേക ആവശ്യകതകൾ അനുസരിച്ച്, ഉപകരണങ്ങളുമായി ട്രേയുടെ അനുയോജ്യതയും പ്രവർത്തന സൗകര്യവും ഉറപ്പാക്കാൻ ഉചിതമായ വലുപ്പവും ആകൃതിയും തിരഞ്ഞെടുക്കുക.

6. നിർമ്മാതാവിന്റെ പ്രശസ്തി:ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരത്തിന്റെയും വിൽപ്പനാനന്തര സേവനത്തിന്റെയും വിശ്വാസ്യത ഉറപ്പാക്കാൻ നല്ല പ്രശസ്തിയും സമ്പന്നമായ അനുഭവപരിചയവുമുള്ള ഒരു നിർമ്മാതാവിനെ തിരഞ്ഞെടുക്കുക.

7. ചെലവ്-ഫലപ്രാപ്തി:സാങ്കേതിക ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിന്റെ അടിസ്ഥാനത്തിൽ, ചെലവ്-ഫലപ്രാപ്തി പരിഗണിച്ച് ഉയർന്ന ചെലവ് പ്രകടനമുള്ള ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ തിരഞ്ഞെടുക്കുക.

VET എനർജി ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയുള്ള ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർ വിതരണക്കാരനാണ്, ഞങ്ങൾ വൈവിധ്യമാർന്ന വിഭാഗങ്ങൾ വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ വ്യത്യസ്ത ബ്രാൻഡുകൾ, മോഡലുകൾ, സ്പെസിഫിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയുടെ MOCVD ഉപകരണങ്ങളിൽ ഇത് ഉപയോഗിക്കാൻ കഴിയും.SiC പൂശിയ ഗ്രാഫൈറ്റ് സസെപ്റ്റർVET എനർജി നിർമ്മിക്കുന്നവയ്ക്ക് കോട്ടിംഗ് കോൺടാക്റ്റ് പോയിന്റുകളോ ദുർബലമായ ലിങ്കുകളോ ഇല്ല.സേവന ജീവിതത്തിന്റെ കാര്യത്തിൽ, വ്യത്യസ്ത ആവശ്യങ്ങളുള്ള (ക്ലോറിൻ അടങ്ങിയ അന്തരീക്ഷത്തിന്റെ ഉപയോഗം ഉൾപ്പെടെ) ഉപഭോക്താക്കളുടെ ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റാൻ അവർക്ക് കഴിയും, കൂടാതെ ഉപഭോക്താക്കളെ കൂടിയാലോചിക്കാനും അന്വേഷിക്കാനും സ്വാഗതം ചെയ്യുന്നു.