Epitaksia kresko de oblatetoj estas atingita per la metal-organika kemia vapora deponado (MOCVD) teknologio, en kiu ultra-puraj gasoj estas injektitaj en la reaktoron kaj fajne mezuritaj, tiel ke ili kombiniĝas je levitaj temperaturoj por kaŭzi kemiajn interagojn kaj estas deponitaj sur duonkonduktaĵaj oblatoj en tre maldikaj atomtavoloj por formi epitaksion de materialoj kaj kunmetitaj duonkonduktaĵoj.
En CVD-ekipaĵo, la substrato ne povas esti metita rekte sur metalon aŭ simple sur bazon por epitaksia deponado, ĉar ĝi estos influita de multaj faktoroj. Tial, susceptoro aŭ pleto estas necesa por teni la substraton, kaj poste uzi CVD-teknologion por plenumi epitaksian deponadon sur la substrato. Ĉi tiu susceptoro estasMOCVD-grafita susceptoro(ankaŭ nomataMOCVD-grafita pleto).
Ĝia strukturo estas montrita en la suba figuro:
Kial la grafita susceptoro bezonas CVD-tegaĵon?
La grafita susceptoro estas unu el la kernaj komponantoj en MOCVD-ekipaĵo. Ĝi estas la portanto kaj hejtelemento de la substrato. Ĝiaj funkciaj parametroj, kiel termika stabileco kaj termika homogeneco, ludas decidan rolon en la kvalito de la kresko de epitaksiaj materialoj, kaj rekte determinas la homogenecon kaj purecon de epitaksiaj maldikaj filmmaterialoj. Tial, ĝia kvalito rekte influas la preparadon de epitaksiaj obleoj. Samtempe, kun la kresko de la nombro da uzoj kaj la ŝanĝoj en la laborkondiĉoj, ĝi estas tre facile eluzebla kaj ŝirebla, kaj ĝi estas konsumeblaĵo. La bonega termika konduktiveco kaj stabileco de grafito donas al ĝi grandan avantaĝon kiel baza komponanto de MOCVD-ekipaĵo.
Tamen, se temas nur pri pura grafito, estos kelkaj problemoj. En la produktada procezo, restos korodaj gasoj kaj metala organika materio, kaj la grafita susceptoro korodos kaj defalos, kio multe reduktas la servodaŭron de la grafita susceptoro. Samtempe, la falanta grafita pulvoro ankaŭ kaŭzos poluadon al la sigelo, do ĉi tiuj problemoj devas esti solvitaj en la preparoprocezo de la bazo. Tega teknologio povas provizi surfacan pulvoran fiksadon, plibonigi varmokonduktecon kaj ekvilibrigi varmodistribuon, kaj fariĝis la ĉefa teknologio por solvi ĉi tiun problemon.
Laŭ la aplika medio kaj uzpostuloj de la grafita bazo, la surfaca tegaĵo devus havi la jenajn karakterizaĵojn:
1. Alta denseco kaj plena kovro:La grafita bazo estas en alttemperatura kaj koroda labormedio. La surfaco devas esti plene kovrita, kaj la tegaĵo devas havi bonan densecon por ludi bonan protektan rolon.
2. Bona surfaco-ebeneco:Ĉar la grafita bazo uzata por kresko de unu-kristaloj postulas tre altan surfacan platecon, la originala plateco de la bazo devas esti konservita post kiam la tegaĵo estas preparita, tio estas, la tegaĵa surfaco devas esti uniforma.
3. Bona ligforto:Redukti la diferencon en termika ekspansia koeficiento inter la grafita bazo kaj la tegaĵa materialo povas efike plibonigi la ligforton inter la du. Post spertado de termikaj cikloj de alta kaj malalta temperaturo, la tegaĵo ne facile fendiĝas.
4. Alta varmokondukteco:Altkvalita icokresko postulas, ke la grafita bazo provizu rapidan kaj unuforman varmon, do la tegaĵa materialo devus havi altan varmokonduktecon.
5. Alta fandopunkto, alta temperaturo oksidiĝrezisto kaj korodrezisto:La tegaĵo devus povi funkcii stabile en alta temperaturo kaj koroda labormedio.
La termika stabileco, termika homogeneco kaj aliaj funkciaj parametroj de laSiC-kovrita grafita susceptoroludas decidan rolon en la kvalito de epitaksia materialkresko, do ĝi estas la kerna ŝlosila komponanto de MOCVD-ekipaĵo.
Kristala formo β-SiC (3C-SiC) estas elektita kiel la tegaĵo. Kompare kun aliaj kristalaj formoj, ĉi tiu kristala formo havas serion da bonegaj ecoj kiel bona termodinamika stabileco, oksidiĝa rezisto kaj koroda rezisto. Samtempe, ĝi havas varmokonduktecon, kiu estas baze kongrua kun tiu de grafito, tiel donante al la grafita bazo specialajn ecojn. Ĝi povas efike solvi la difekton de la grafita bazo kaŭzitan de alttemperatura oksidiĝo kaj korodo kaj pulvorperdo dum funkciado, kaj igi la surfacon de la grafita bazo densa, ne-pora, alttemperatura rezistema, kontraŭkoroda, kontraŭoksida kaj aliaj karakterizaĵoj, tiel plibonigante la kristalan epitaksian kvaliton kaj la funkcidaŭron de la grafita bazo (la funkcidaŭro de la SiC-kovrita grafita bazo estas mezurata en fornoj).
Kiel elekti MOCVD-grafitan pleton/susceptoron, kiu estas rezistema al alta temperaturo kaj korodo?
Kiam oni elektasgrafita pleto aŭ susceptor por MOCVDkiu estas rezistema al alta temperaturo korodo, oni devas konsideri la jenajn ŝlosilajn faktorojn:
1. Materiala pureco:Altpurecaj grafitaj materialoj povas pli bone rezisti korodon kaj oksidiĝon je altaj temperaturoj kaj redukti la efikon de malpuraĵoj sur la deponadprocezo.
2. Denseco kaj poreco:Grafitaj pletoj kun alta denseco kaj malalta poreco havas pli bonan mekanikan forton kaj korodreziston, kaj povas efike malhelpi gaspenetron kaj materialan erozion.
3. Varmokondukteco:La alt-termokonduktiva grafita pleto helpas egale distribui varmon, redukti termikan streson, kaj plibonigi la stabilecon kaj servodaŭron de la ekipaĵo.
4. Surfaca traktado:Grafitaj paledoj, kiuj spertis specialan surfacan traktadon, kiel ekzemple tegaĵon aŭ tegaĵon, povas plue plibonigi sian korodreziston kaj eluziĝreziston.
5. Grandeco kaj formo:Laŭ la specifaj postuloj de la MOCVD-ekipaĵo, elektu la taŭgan grandecon kaj formon por certigi la kongruecon de la pleto kun la ekipaĵo kaj la komforton de funkciigo.
6. Reputacio de la fabrikanto:Elektu fabrikanton kun bona reputacio kaj riĉa sperto por certigi la fidindecon de la produktokvalito kaj postvendan servon.
7. Kostefikeco:Sur la premiso de plenumo de teknikaj postuloj, konsideru kostefikecon kaj elektu produktojn kun pli alta kostefikeco.
VET Energy estas provizanto de altpurecaj grafitaj susceptoroj, ni ofertas vastan gamon da kategorioj, kaj povas esti uzataj en MOCVD-ekipaĵo de malsamaj markoj, modeloj kaj specifoj. LaSiC-kovrita grafita susceptoroproduktitaj de VET Energy ne havas tegaĵajn kontaktopunktojn kaj neniujn malfortajn ligojn. Rilate al funkcidaŭro, ili povas plenumi la postulojn de klientoj kun malsamaj bezonoj (inkluzive de la uzo de klor-entenantaj atmosferoj), kaj klientoj estas bonvenaj konsulti kaj demandi.
Afiŝtempo: 1-a de marto 2025